TH37746A - พาหะเพื่อขนส่งแบบประกอบ - Google Patents
พาหะเพื่อขนส่งแบบประกอบInfo
- Publication number
- TH37746A TH37746A TH9801001324A TH9801001324A TH37746A TH 37746 A TH37746 A TH 37746A TH 9801001324 A TH9801001324 A TH 9801001324A TH 9801001324 A TH9801001324 A TH 9801001324A TH 37746 A TH37746 A TH 37746A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- wafers
- piece
- rear end
- Prior art date
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title abstract 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract 4
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 16
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 4
- 230000000712 assembly Effects 0.000 abstract 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 abstract 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 (25/06/41) พาหะสำหรับเวเฟอร์แบบประกอบเพื่อการยึดจับและเพื่อการยึดจาน เวเฟอร์ที่เป็นวัสดุกึ่งตัวนำ รูปวงกลม ในขณะ การขนส่ง การจัดเก็บ และการ ดำเนินการของ เวเฟอร์นั้น โดยทั่วไปพาหะสำหรับ เวเฟอร์แบบประกอบจะประกอบรวมอยู่ด้วย ด้านบน และ ด้านล่างที่เปิดออก เพื่อการสอดเข้าและการนำ ออกของจานเวเฟอร์ โดยชิ้นประกอบส่วน ปลายด้าน หน้าแบบตั้งตรงจะมีส่วนเชื่อมต่อเช่น แกนรูปคล้าย H ชิ้นประกอบส่วนปลายด้าน หลังแบบตั้งตรง และ ชิ้นประกอบผนังด้านข้างหนึ่งคู่พร้อมด้วยช่องเสียบ สำหรับผนังด้านข้าง ตามแนวดิ่งที่ยื่นไปทางด้านหลัง ออกจากชิ้นประกอบส่วนปลายด้านหน้าไปสู่ชิ้น ประกอบส่วน ปลายด้านหลังที่ได้กล่าวมาแล้ว อย่าง น้อยที่สุดชิ้นหนึ่งของชิ้นประกอบที่ได้กล่าวมาแล้ว จะ ได้รับการหล่อแบบแยกชิ้นและเชื่อมต่อกับชิ้น ประกอบชิ้นอื่นๆ ของพาหะสำหรับเวเฟอร์ โดยส่วน เพื่อการยึดเกี่ยวแบบปฏิบัติการร่วมโดยปราศจาก การใช้อุปกรณ์เพื่อการยึดแน่นภาย นอก พาหะ สำหรับเวเฟอร์อาจได้รับการทำให้งับเข้าด้วยกัน ส่วนเชื่อมต่อชิ้นที่สองแบบแยก ชิ้นที่ชิ้นประกอบ ส่วนปลายด้านหลังอาจได้รับการจัดเตรียมไว้เพื่อ จะยอมให้พาหะนั้นเชื่อมต่อ กับอุปกรณ์ในแบบที่ เวเฟอร์หันด้านบนขึ้นหรือกลับด้าน ชิ้นประกอบ ที่ได้รับการหล่อแบบ แยกชิ้นจะยอมให้วัสดุที่แตก ต่างกันได้รับการนำมาใช้ หรือมีวัสดุพื้นฐาน เหมือนกันโดยมีรูป แบบแตกต่างกัน เป็นต้น เพื่อ ความแตกต่างของลักษณะเฉพาะของการสลายตัว เชิงสถิตย์ พาหะสำหรับเวเฟอร์แบบประกอบเพื่อการยึดจับและเพื่อการยึดจานเวเฟอร์ที่เป็นวัสดุกึ่งตัวนำ รูปวงกลม ในขณะ การขนส่ง การจัดเก็บ และการ ดำเนินการของเวเฟอร์นั้น โดยทั่วไปพาหะสำหรับ เวเฟอร์แบบประกอบจะประกอบรวมอยู่ด้วย ด้านบน และด้านล่างที่เปิดออก เพื่อการสอดเข้าและการนำ ออกของจานเวเฟอร์ โดยชิ้นประกอบส่วนปลายด้าน หน้าแบบตั้งตรงจะมีส่วนเชื่อมต่อเช่น แกนรูปคล้าย H ชิ้นประกอบส่วนปลายด้านหลังแบบตั้งตรง และ ชิ้นประกอบผนังด้านข้างหนึ่งคู่พร้อมด้วยช่องเสียบ สำหรับผนังด้านข้างตามแนวดิ่งที่ยื่นไปทางด้านหลัง ออกจากชิ้นประกอบส่วนปลายด้านหน้าไปสู่ชิ้น ประกอบส่วนปลายด้านหลังที่ได้กล่าวมาแล้ว อย่าง น้อยที่สุดชิ้นหนึ่งของชิ้นประกอบที่ได้กล่าวมาแล้ว จะได้รับการหล่อแบบแยกชิ้นและเชื่อมต่อกับชิ้น ประกอบชิ้นอื่นๆ ของพาหะสำหรับเวเฟอร์โดยส่วน เพื่อการยึดเกี่ยวแบบปฏิบัติการร่วมโดยปราศจาก การใช้อุปกรณ์เพื่อการยึดแน่นภายนอก พาหะ สำหรับเวเฟอร์อาจได้รับการทำให้งับเข้าด้วยกัน ส่วนเชื่อมต่อชิ้นที่สองแบบแยกชิ้นที่ชิ้นประกอบ ส่วนปลายด้านหลังอาจได้รับการจัดเตรียมไว้เพื่อ จะยอมให้พาหะนั้นเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ในแบบที่ เวเฟอร์หันด้านบนขึ้นหรือกลับด้าน ชิ้นประกอบ ที่ได้รับการหล่อแบบแยกชิ้นจะยอมให้วัสดุที่แตก ต่างกันได้รับการนำมาใช้ หรือมีวัสดุพื้นฐาน เหมือนกันโดยมีรูปแบบแตกต่างกัน เป็นต้น เพื่อ ความแตกต่างของลักษณะเฉพาะของการสลายตัว เชิงสถิตย์
Claims (1)
1. พาหะสำหรับเวเฟอร์เพื่อการยึดเกี่ยวกับอุปกรณ์และเพื่อการบรรทุกเวเฟอร์รูปวงกลม ที่ได้รับการจัดตามแนวแกนจำนวนมาก โดยที่ แกนของเวเฟอร์นั้นจะอยู่ในแนวระดับอย่างแท้ จริง ซึ่งพาหะสำหรับเวเฟอร์ที่อยู่ในแนวตรงนั้น จะมีด้านบนที่เปิดออกและด้านล่างที่เปิดออก และประกอบรวมอยู่ด้วย ชิ้นประกอบส่วนปลายด้านหน้าแบบ ตั้งตรงที่มีส่วนด้านหน้าด้านซ้าย ส่วนด้านหน้า ด้านขวา และส่วนเชื่อมต่ออุปกรณ์ชิ้นแรก ส่วน เชื่อมต่ออุปกรณ์ชิ้นแรก จะมีโครงแบบที่ซึ่งพาหะ นั้นจะสามารถได้รับการทำให้หมุนไปทางด้าน หน้าได้ เพื่อค้ำยันส่วแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH37746A true TH37746A (th) | 2000-03-20 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY126575A (en) | Composite transport carrier | |
| KR100849276B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 운송용 캐리어 | |
| FR2768135A1 (fr) | Support pour le transport de tranches de semi-conducteur | |
| WO2003019630A3 (en) | Unified frame for semiconductor material handling system | |
| IL148872A0 (en) | Module containing controlled mini-environment for atmospheric wafer transport | |
| EP0848413A3 (en) | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers | |
| CA1123086A (en) | Circuit board holder | |
| KR970003770A (ko) | 반도체 제조장치 및 이 반도체 제조장치에서 웨이퍼 카세트 내에 있는 웨이퍼의 위치 수정 방법과 웨이퍼 카세트의 이송방법 | |
| EP1339622A2 (en) | Wafer carrier with stacking adaptor plate | |
| TH37746A (th) | พาหะเพื่อขนส่งแบบประกอบ | |
| US6981594B1 (en) | Method and apparatus to facilitate transport of semiconductor wafers | |
| EP1205248A3 (en) | Storage unit | |
| JP3940265B2 (ja) | 半導体ウエハのメッキ治具及び半導体ウエハのメッキ装置 | |
| US20030066810A1 (en) | Frame cassette | |
| US3337062A (en) | Storage racks | |
| JP3295002B2 (ja) | ブラウン管取り付け方法と装置 | |
| JP2872895B2 (ja) | 基板保持カセット | |
| JP2887935B2 (ja) | プリント基板の搬送装置 | |
| KR20000005957U (ko) | 파렛트용 지지틀 | |
| JPH10284586A (ja) | 半導体ウェハ用キャリア | |
| RU2053175C1 (ru) | Устройство для крепления листов сегментов сердечника статора электрической машины | |
| DE58902959D1 (de) | Werkzeugaufnahmesystem. | |
| JPH07232787A (ja) | Ｂｇａファンネル | |
| JPH0440303Y2 (th) | ||
| KR920010431B1 (ko) | 반도체 이물질 제거장치 |