TH32822B - เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอ - Google Patents
เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอInfo
- Publication number
- TH32822B TH32822B TH9801000321A TH9801000321A TH32822B TH 32822 B TH32822 B TH 32822B TH 9801000321 A TH9801000321 A TH 9801000321A TH 9801000321 A TH9801000321 A TH 9801000321A TH 32822 B TH32822 B TH 32822B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- wafer
- wafer processing
- methods
- bath
- prefabricated
- Prior art date
Links
Abstract
แผ่นเวเฟอร์จะได้รับการรองรับไว้ในขณะที่ได้รับการทำให้หมุนไปโดยก้านหมุนแผ่นเวเฟอร์จำนวนสี่ก้านที่มีร่อง ก้าน หมุนแผ่นเวเฟอร์จะได้รับการทำให้หมุนไปโดยแรงขับที่ส่งมา จากมอเตอร์ที่ได้รับการติดตั้งไว้ภายนอกอ่างการดำเนินการ กับแผ่นเวเฟอร์ อ่างคลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับการจัดไว้ข้าง ใต้อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ และคลื่นอัลทราโซนิกที่ ก่อเกิดขึ้นมาโดยแหล่งคลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับการส่งไปยัง อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ คลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับ การส่งไปยังแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเพราะว่า แผ่นเวเฟอร์นั้นได้รับรองรับไว้โดยก้านหมุนแผ่นเวเฟอร์ เพียงเท่านั้น
Claims (3)
1. เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์สำหรับการดำเนินการแผ่นเวเฟอร์โดยการจุ่มแผ่นเวเฟอร์ลงในสารละลาย ปฏิบัติการประกอบด้วย อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ ; และ กลไกรองรับแบบหมุนสำหรับการรองรับแผ่นเวเฟอร์ไว้ในขณะที่ หมุนแผ่นเวเฟอร์ไปโดยอาศัยชิ้นประกอบก้านจำนวนหลาย ๆ ชิ้น ที่ได้รับการจัดไว้อย่างขนานกัน
2. เครื่องสำเร็จที่สอดคล้องกันกับข้อถือสิทธิข้อ 1 จะ ประกอบต่อไปอีกด้วยอุปกรณ์ก่อเกิดคลื่นอัลทราโซนิกสำหรับ การก่อเกิดคลื่นอัลทราโซนิกขึ้นมาในอ่างการดำเนินการที่ กล่าวมาแล้ว
3. เครื่องสำเร็:
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH32822A TH32822A (th) | 1999-03-20 |
| TH32822B true TH32822B (th) | 1999-03-20 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0856873A3 (en) | Wafer processing apparatus, wafer processing method, and SOI wafer fabrication method | |
| DE50003654D1 (de) | Antriebsvorrichtung für eine waschmaschine | |
| CN211660620U (zh) | 双金属球碗生产用清洗装置 | |
| TH32822B (th) | เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอ | |
| CN114769212A (zh) | 一种螺钉清洗装置 | |
| TH32822A (th) | เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอ | |
| CN211464101U (zh) | 一种用于机械零件的清洗设备 | |
| CN205550985U (zh) | 一种超声波清洗装置 | |
| CN219043521U (zh) | 竹制品加工用的节水型清洗机 | |
| CN206854240U (zh) | 用于光电零部件的交替振荡兆声波清洗仪 | |
| CN208527455U (zh) | 工件板自动清洗装置 | |
| CN217860621U (zh) | 一种水利施工用管道表面除锈设备 | |
| CN218309679U (zh) | 一种具有翻转结构的清洗设备 | |
| CN220426142U (zh) | 一种批量轴承套圈清理装置 | |
| CN220092346U (zh) | 一种钟表配件清洗装置 | |
| CN212303618U (zh) | 一种用于石英晶片的表面除污装置 | |
| CN220346615U (zh) | 一种用于diy玩具清洗装置 | |
| CN215786884U (zh) | 一种齿轮加工用钻孔设备 | |
| CN219503039U (zh) | 一种喷涂机械臂 | |
| CN2551148Y (zh) | 高频波蔬菜洗洁机 | |
| CN217845809U (zh) | 一种洗油机 | |
| CN220444490U (zh) | 一种铝模板清洗装置 | |
| CN220476022U (zh) | 一种pcb板刻蚀清洗机构 | |
| CN213967951U (zh) | 一种医疗器械循环清洗装置 | |
| CN213701011U (zh) | 一种五金加工清洁装置 |