TH32822A - เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอ - Google Patents
เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอInfo
- Publication number
- TH32822A TH32822A TH9801000321A TH9801000321A TH32822A TH 32822 A TH32822 A TH 32822A TH 9801000321 A TH9801000321 A TH 9801000321A TH 9801000321 A TH9801000321 A TH 9801000321A TH 32822 A TH32822 A TH 32822A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- wafer
- bath
- wafer processing
- rotated
- ultrasonic
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (27/03/41) แผ่นเวเฟอร์จะได้รับการรองรับไว้ในขณะที่ได้รับการทำให้หมุนไปโดยก้านหมุนแผ่นเวเฟอร์ จำนวนสี่ก้านที่มีร่อง ก้าน หมุนแผ่นเวเฟอร์จะได้รับการทำให้หมุนไปโดยแรงขับที่ส่งมา จากมอเตอร์ ที่ได้รับการติดตั้งไว้ภายนอกอ่างการดำเนินการ กับแผ่นเวเฟอร์ อ่างคลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับการ จัดไว้ข้าง ใต้อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ และคลื่นอัลทราโซนิกที่ ก่อเกิดขึ้นมาโดยแหล่งคลื่น อัลทราโซนิกจะได้รับการส่งไปยัง อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ คลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับ การส่งไปยังแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเพราะว่า แผ่นเวเฟอร์นั้นได้รับรองรับไว้โดยก้าน หมุนแผ่นเวเฟอร์ เพียงเท่านั้น แผ่นเวเฟอร์จะได้รับการรองรับไว้ในขณะที่ได้รับการทำให้หมุนไปโดยก้านหมุนแผ่นเวเฟอร์จำนวนสี่ก้านที่มีร่อง ก้าน หมุนแผ่นเวเฟอร์จะได้รับการทำให้หมุนไปโดยแรงขับที่ส่งมา จากมอเตอร์ที่ได้รับการติดตั้งไว้ภายนอกอ่างการดำเนินการ กับแผ่นเวเฟอร์ อ่างคลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับการจัดไว้ข้าง ใต้อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ และคลื่นอัลทราโซนิกที่ ก่อเกิดขึ้นมาโดยแหล่งคลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับการส่งไปยัง อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ คลื่นอัลทราโซนิกจะได้รับ การส่งไปยังแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเพราะว่า แผ่นเวเฟอร์นั้นได้รับรองรับไว้โดยก้านหมุนแผ่นเวเฟอร์ เพียงเท่านั้น
Claims (3)
1. เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์สำหรับการดำเนินการแผ่นเวเฟอร์โดยการจุ่มแผ่นเวเฟอร์ลงในสารละลาย ปฏิบัติการประกอบด้วย: อ่างการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ ; และ กลไกรองรับแบบหมุนสำหรับการรองรับแผ่นเวเฟอร์ไว้ในขณะที่ หมุนแผ่นเวเฟอร์ไปโดยอาศัยชิ้นประกอบก้านจำนวนหลาย ๆ ชิ้น ที่ได้รับการจัดไว้อย่างขนานกัน
2. เครื่องสำเร็จที่สอดคล้องกันกับข้อถือสิทธิข้อ 1 จะ ประกอบต่อไปอีกด้วยอุปกรณ์ก่อเกิดคลื่นอัลทราโซนิกสำหรับ การก่อเกิดคลื่นอัลทราโซนิกขึ้นมาในอ่างการดำเนินการที่ กล่าวมาแล้ว
3. เครื่องสำเร็แท็ก :
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH32822A true TH32822A (th) | 1999-03-20 |
| TH32822B TH32822B (th) | 1999-03-20 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2228571A1 (en) | Wafer processing apparatus, wafer processing method, and soi wafer fabrication method | |
| US4819460A (en) | Washing machine with direct drive system | |
| ATE249543T1 (de) | Antriebsvorrichtung für eine waschmaschine | |
| DE60124389D1 (de) | Wellenenergie-maschine | |
| TH32822A (th) | เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์, และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอ | |
| TH32822B (th) | เครื่องสำเร็จเพื่อการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,ระเบียบวิธีการดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์,และระเบียบวิธีการสร้างแผ่นเวเฟอร์แบบเอสโอไอ | |
| CN105855233A (zh) | 一种基于物联网的医用超声波清洗机 | |
| CN209811914U (zh) | 一种用于墙板生产的打磨机 | |
| CN207971157U (zh) | 一种用于硅片的多重超声清洗装置 | |
| CN109701956A (zh) | 一种燃料电池单极板清洗定位传输链 | |
| CN220092346U (zh) | 一种钟表配件清洗装置 | |
| CN218251888U (zh) | 一种高效超声波清洗装置 | |
| RU2177375C2 (ru) | Устройство для очистки изделий | |
| CN218692064U (zh) | 一种单晶硅棒清洗装置 | |
| CN219385382U (zh) | 一种电镀件清洗装置 | |
| CN221781106U (zh) | 砷化镓晶圆用甩干装置 | |
| CN214718940U (zh) | 超声波清洗架提篮 | |
| WO1997030832A1 (en) | Apparatus for quickly ageing building and furnishing materials such as stones, granite, marble, bricks, floorings, mosaics | |
| JP3234495B2 (ja) | 全自動洗濯機 | |
| KR200182889Y1 (ko) | 세탁기의 모터 고정장치 | |
| PE42697A1 (es) | Equipo y proceso para el beneficio ecologico del cafe y de los subproductos | |
| KR200141019Y1 (ko) | 세탁기 | |
| KR910010643A (ko) | 웨이퍼 세정방법 및 그 장치 | |
| CN102327881A (zh) | 声波振动洗涤盘 | |
| JP2001078910A (ja) | 発波機の波とジェット水流で洗浄する浴槽の洗浄機 |