TH29893A - Methods of manufacturing semiconductors - Google Patents

Methods of manufacturing semiconductors

Info

Publication number
TH29893A
TH29893A TH9701004682A TH9701004682A TH29893A TH 29893 A TH29893 A TH 29893A TH 9701004682 A TH9701004682 A TH 9701004682A TH 9701004682 A TH9701004682 A TH 9701004682A TH 29893 A TH29893 A TH 29893A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
silicon layer
layer
porous
diffusion area
porous silicon
Prior art date
Application number
TH9701004682A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH29893B (en
Inventor
ซาคากูชิ นายคิโยฟูมิ
โยเนฮารา นายทาคาโอะ
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH29893B publication Critical patent/TH29893B/en
Publication of TH29893A publication Critical patent/TH29893A/en

Links

Abstract

DC60 (16/03/41) วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของการทำให้เกิดบริเวณการแพร่ อย่างน้อยบนผิวของด้านหนึ่งของวัสดุรองรับ ซิลิคอน โดยการแพร่ธาตุที่สามารถควบคุมชนิดการนำ, การทำให้เกิดชั้น ซิลิคอน รูพรุน ในบริเวณที่รวมถึงบริเวณการแพร่นั้น, การเตรียมวัสดุรองรับแรก โดยการทำให้เกิดชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุน บนชั้น ซิลิคอน รูพรุนนั้น , การยึดติดวัสดุรองรับ แรก และวัสดุรองรับที่สอง เพื่อผลิตโครงสร้างหลายชั้นด้วยชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุนที่อยู่ด้าน ใน, การแยกโครงสร้างหลายชั้น ตามชั้น ซิลิคอน รูพรุน แต่ไม่ตามบริเวณการแพร่ และการแยก ชั้น ซิลิคอน รูพรุน ที่เหลือบนวัสดุรองรับที่สองที่แยกแล้วนั้น วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของการทำให้เกิดบริเวณการแพร่อย่างน้อยบนผิวของด้านหนึ่ง ของวัสดุรองรับ ซิลิคอน โดยการแพร่ธาตุที่สามารถควบคุมชนิด การนำ, การทำให้เกิดชั้น ซิลิคอน รูพรุน ในบริเวณที่รวมถึง บริเวณการแพร่นั้น, การเตรียมวัสดุรองรับแรกโดยการทำให้ เกิดชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็นรูพรุน บนชั้น ซิลิคอน รู พรุนนั้น , การยึดติดวัสดุรองรับแรก และวัสดุรองรับที่สอง เพื่อผลิตโครงสร้างหลายชั้นด้วยชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่เป็น รูพรุนที่อยู่ด้านใน, การแยกโครงสร้างหลายชั้น ตามชั้น ซิลิคอน รูพรุน แต่ไม่ตามบริเวณการแพร่ และการแยกชั้น ซิลิคอน รูพรุน ที่เหลือบบนวัสดุรองรับที่สองที่แยก แล้วนั้น DC60 (16/03/41) Method of manufacturing semiconductors. That includes the process of causing the diffusion area At least on the surface of one side of the silicon backing by a controlled diffusion type conductivity, inducing a porous silicon layer in the region including the diffusion area, the preparation of the first support. By inducing a non-porous semiconductor layer on that porous silicon layer, bonding of the first and second supports. To produce a multi-layer structure with a non-porous semiconductor layer inside, a multi-layer structure separation based on the porous silicon layer but not by the diffusion area, and the separation of the remaining pore silicon layer on the second support. That separated Methods of manufacturing semiconductors That consists of the process of causing the diffusion area at least on the surface of one side. Of silicon support material by controlled diffusion type conductivity, making porous silicon layer in areas including The diffusion area, first preparation of support material by making A non-porous semiconductor layer is formed on that porous silicon layer, the first substrate adhesion. And the second support material To produce multilayer structures with non-semiconductor layers Inner porosity, multilayer separation according to the pore silicon layer, but not by the diffusion area. And the separation of the porous silicon layer on the split second support

Claims (1)

1. วิธีการของการผลิตชิ้นวัตถุกึ่งตัวนำ ที่มีลักษณะเฉพาะที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ : การทำให้เกิดบริเวณการแพร่อย่างน้อยบนผิวของหนึ่งของด้าน ของวัสดุรองรับ ซิลิคอน โดยการแพร่ธาตุที่สามารถควบคุมชนิด การควบคุม; การทำให้เกิดชั้น ซิลิคอน รูพรุน ในบริเวณที่รวมบริเวณการ แพร่ที่กล่าวแล้วนั้น; การเตรียมวัสดุรองรับแรกโดยการทำให้เกิดชั้นสารกึ่งตัวนำ ที่ไม่เป้นรูพรุนบนชั้น ซิลิคอน รูพรุนที่กล่าวแล้วนั้น; การยึดติดวัสดุรองรับแขกที่กล่าวแล้วนั้น และวัสดุรองรับ ที่สอง เพื่อผลิตโครงสร้างหลายชั้นด้วยชั้นสารแท็ก :1.Methods of manufacturing semiconductors Characteristic that consists of a process of: causing diffusion areas at least on the surface of one side. Of silicon support material by diffusion elements can be controlled, control type; Creating a porous silicon layer in the area including the Spread that already mentioned; Preparation of the first support by inducing a semiconductor layer. Non-porous on the previously mentioned porous silicon layer; Adhesion of the already mentioned guest support material And a second support material to produce a multi-layer structure with a tag substance layer:
TH9701004682A 1997-11-14 Methods of manufacturing semiconductors TH29893A (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH29893B TH29893B (en) 1998-09-04
TH29893A true TH29893A (en) 1998-09-04

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW373330B (en) Method of manufacturing semiconductor articles
CA2182442A1 (en) Semiconductor Substrate and Fabrication Method for the Same
EP0926709A3 (en) Method of manufacturing an SOI structure
TW376585B (en) Semiconductor substrate and process for producing same
CA2233096A1 (en) Substrate and production method thereof
SG59963A1 (en) Semiconductor member and process for preparing semiconductor member
TW372366B (en) Method of manufacturing semiconductor article
CA2061264A1 (en) Etching solution for etching porous silicon, etching method using the etching solution and method of preparing semiconductor member using the etching solution
CA2019474A1 (en) Drapable, water vapor permeable, wind and water resistant composite fabric and method of manufacturing same
CA2237591A1 (en) Method for delivering a molten silicon composition into porous substrates
CA2075020A1 (en) Method for preparing semiconductor member
EP1246238A3 (en) Method of fabricating a bonded substrate
TH29893A (en) Methods of manufacturing semiconductors
TH29893B (en) Methods of manufacturing semiconductors
TH29894A (en) Methods of manufacturing semiconductors
TH32186A (en) Methods for manufacturing semiconductors
TH36084A (en) Manufacturing process of semiconductor support material
JPS62120374U (en)
JPS59208856A (en) Multilayer interconnection
JPH01152638A (en) Manufacture of semiconductor device substrate
TH32284A (en) Semiconductor manufacturing process
TH33509A (en)
TH33514A (en) Base plate and manufacturing methodology for base plate
JPS62197870U (en)
JPS61176208U (en)