TH27295B - วิธีสำหรับการเพิ่มผลผลิตในกระบวนการพอกพูนชั้นบางบนซับสเตรต - Google Patents

Abstract

DC60 ได้มีการอธิบายถึงวิธีสำหรับการเพิ่มผลผลิตในกระบวนการพอกพูนชั้นบางลงบนซับสเตรต โดยการทำให้อุปกรณ์เก็ตเตอร์ที่ผ่าน การทำให้เริ่มทำงานแล้ว มาสัมผัสกับบรรยากาศของห้อง สำหรับ กระบวนการเมื่อกำลังไม่มีการนำซับสเตรตมาผ่านกระบวนการอยู่ และเมื่อความดันของแก๊ส ไวปฏิกิริยาในห้องดังกล่าว ต่ำกว่าประมาณ 10-3 มิลลิบาร์, โดยการใช้ขั้นตอนการทำงานและ อุปกรณ์ที่มี อยู่แล้วในห้องที่ใช้สำหรับการเคลื่อนย้ายและให้ความร้อน ซับสเตรตที่ผลิต โดยเฉพาะวิธี นี้จะเป็นประโยชน์เมื่อนำมา ใช้เป็นลำดับของการทำงาน (1; 2; 3; 4) ที่ประกอบรวมด้วยระหว่าง การเปิดห้องสำหรับกระบวนการ และเมื่อเริ่มกระบวนการผลิต นอก จากนี้ยังได้มีการอธิบายถึง อุปกรณ์เก็ตเตอร์ (50; 60 ; 70) ซึ่งเหมาะสมที่จะนำมาใช้ในวิธีดังกล่าวนี้ ได้มีการอธิบายถึงวิธีสำหรับการเพิ่มผลผลิตในกระบวนการพอกพูนชั้นบางลงบนซับสเตรต โดยการทำให้อุปกรณ์เก็ตเตอร์ที่ผ่าน การทำให้เริ่มทำงานแล้ว มาสัมผัสกับบรรยากาศของห้อง สำหรับ กระบวนการเมื่อกำลังไม่มีการนำซับสเตรตมาผ่านกระบวนการอยู่ และเมื่อความดันของแก๊ส ไวปฏิกิริยาในห้องดังกล่าว ต่ำกว่าประมาณ 10-3 มิลลิบาร์ โดยการใช้ขั้นตอนการทำงานและ อุปกรณ์ที่มี อยู่แล้วในห้องที่ใช้สำหรับการเคลื่อนย้ายและให้ความร้อน ซับสเตรตที่ผลิต โดยเฉพาะวิธี นี้จะเป็นประโยชน์เมื่อนำมา ใช้เป็นลำดับของการทำงาน (1; 2; 3; 4) ที่ประกอบรวมด้วยระหว่าง การเปิดห้องสำหรับกระบวนการ และเมื่อเริ่มกระบวนการผลิต นอก จากนี้ยังได้มีการอธิบายถึง อุปกรณ์เก็ตเตอร์ (50; 60 ; 70) ซึ่งเหมาะสมที่จะนำมาใช้ในวิธีดังกล่าวนี้

Claims (11)

1. วิธีสำหรับการเพิ่มผลผลิตของกระบวนการพอกพูนชั้นบางลงบนซับสเตรต, ประกอบรวมด้วย การทำให้อุปกรณ์เก็ตเตอร์ในรูปแบบที่ทำให้เริ่มทำงาน สัมผัสกับรรยากาศการ ทำงานภายในห้องกระบวนการ เมื่อผลรวมของความดันย่อยของแก๊สไวปฏิกิริยาในห้องต่ำกว่า ประมาณ 10-3 มิลลิบาร์ และเมื่อไม่มีซับสเตรตของการผลิตที่แท้จริงได้รับการดำเนินงาน, โดยใช้ อุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และขั้นตอนการทำงานที่ใช้ในขั้นตอนการผลิตอย่างน้อยที่สุด สำหรับการนำอุปกรณ์เก็ตเตอร์ออกจากห้องกระบวนการ ในขณะที่อุปกรณ์เก็ตเตอร์ได้รับการคง รักษาอยู่ภายใต้สุญญากาศ หรือที่ความดันที่ต้องการสำหรับกระบวนการดังกล่าวของการพอกพูน

2. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1, ที่ซึ่งเก็ตเตอร์ได้รับการเปิดสู่บรรยากาศของห้องกระบวน การ เมื่อความดันรวมในห้องดังกล่าวสุงกว่า 10-3 มิลลิบาร์ และบรรยากาศดังกล่าวประกอบรวม ด้วย แก๊สมีสกุลอย่างเป็นหลัก

3. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 2, ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ: - การเริ่มการดูดอากาศออกของห้องกระบวนการ; - เมื่อความดันถึงค่าประมาณ 10-3 หรือต่ำกว่านั้น, การนำอุปกรณ์เก็ตเตอร์ในรูปแบบ ก่อนเริ่มทำงานเข้ามาในห้องหรือ, ในทางเลือกอื่น, การทำให้อุปกรณ์เก็ตเตอร์ที่นำเข้ามาในห้อง ก่อนหน้านี้ เริ่มทำงานด้วยความร้อน; - การชะล้างห้องด้วยแก๊สมีสกุลชนิดเดียวกันที่จะใช้งานเป็นบรรยากาศของกระบวนการ; - เมื่อระดับของสารปนเปี้อนในบรรยากาศของกระบวนการต่ำกว่าค่าที่กำหนด, การเริ่ม ขั้นตอนทำงานของการพอกพูน

4. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1, ที่ซึ่งอุปกรณ์เก็ตเตอร์ได้รับการนำเข้าไปใหม่ในห้องกระบวน การ และได้รับการทำให้ปฏิบัติหน้าที่เก็ตเตอร์ที่เวลาคงที่ในระหว่างการปฏิบัติกระบวนการ

5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 4, ที่ซึ่งอุปกรณ์เก็ตเตอร์ได้รับการนำเข้าไปใหม่ในห้องกระบวน การ ภายหลังจากซับสเตรตทั้งหมดในกล่องได้รับการดำเนินการ และก่อนเริ่มการดำเนินการ ซับสเตรตของกล่องใหม่

6. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 1, ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ: - การนำอุปกรณ์เก็ตเตอร์เข้าไปในห้องกระบวนการ (2; 6; 8) ภายหลังจากการเปิด ห้อง, ก่อนหน้าหรือในระหว่างการดูดอากาศออก (1; 5; 9), ในขณะที่ทำงานในลักษณะที่อุปกรณ์ เก็ตเตอร์จะอยู่ในรูปแบบที่ทำให้เริ่มทำงานอยู่ในห้อง เมื่อความดันภายในถึงค่า 10-3 มิลลิบาร์ หรือ น้อยกว่าเพียงเท่านั้น; - การดำเนินการดูดอากาศออกในห้องดังกล่าวต่อเนื่องไป, ในขณะที่ยังคงรักษาอุปกรณ์ เก็ตเตอร์ที่ทำให้เริ่มทำงานอยู่ภายใน; และ - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-7 มิลลิบาร์ หรือต่ำกว่า, การนำอุปกรณ์ เก็ตเตอร์ออกจากห้องดังกล่าว (4; 7; 11) โดยใช้อุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และ ขั้นตอนการทำงานที่ใช้ในขั้นตอนการผลิต

7. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 6, ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ: - การเริ่มการดูดอากาศออก (1) ของห้องกระบวนการ; - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-3 มิลลิบาร์ หรือน้อยกว่า, การนำ (2)อุปกรณ์ เก็ตเตอร์ในรูปแบบยังไม่เริ่มทำงานเข้ามา โดยอาศัยอุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และ ขั้นตอนการทำงานที่ใช้ในระหว่างขั้นตอนการผลิต; - การทำให้อุปกรณ์เก็ตเตอร์ในห้องดังกล่าวเริ่มทำงาน (3) โดยอาศัยอุปกรณ์และ ขั้นตอนการทำงานที่ใช้สำหรับการทำให้ซับสเตรตร้อนในระหว่างขั้นตอนการผลิต; - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-7 มิลลิบาร์ หรือต่ำกว่า, การนำอุปกรณ์เก็ตเตอร์ ออกจากห้อง (4) โดยอาศัยอุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และขั้นตอนการทำงานที่ใช้ สำหรับการเคลื่อนย้ายซับสเตรตในระหว่างขั้นตอนการผลิต

8. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 6, ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ: - การเริ่มการดูดอากาศออก (5) ของห้องกระบวนการ; - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-3 มิลลิบาร์ หรือน้อยกว่า, การนำอุปกรณ์ เก็ตเตอร์, ในรูปแบบก่อนเริ่มทำงานอยู่ในห้องที่แตกต่างกันของระบบ, เข้าไปในห้องดังกล่าว (6), โดยอาศัยอุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และขั้นตอนการทำงานที่ใช้สำหรับการเคลื่อนย้าย ซับสเตรตในระหว่างขั้นตอนการผลิต; - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-7 มิลลิบาร์ หรือต่ำกว่า, การนำอุปกรณ์เก็ตเตอร์ ออกจากห้องดังกล่าว (7) โดยอาศัยอุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และขั้นตอนการทำงานที่ ใช้สำหรับการเคลื่อนย้ายซับสเตรตในระหว่างขั้นตอนการผลิต

9. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 6, ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ: - การนำ (8) อุปกรณ์เก็ตเตอร์ในรูปแบบยังไม่เริ่มทำงานเข้าไปในห้องกระบวนการ; - การเริ่มการดูดอากาศออก (9) ของห้องดังกล่าว; - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-3 มิลลิบาร์ หรือน้อยกว่า, การทำให้อุปกรณ์เก็ต เตอร์เริ่มทำงานด้วยความร้อน (10) ด้วยวิถีทางและขั้นตอนการทำงานที่ใช้ในระหว่างการผลิต สำหรับการทำให้ซับสเตรตร้อน; - เมื่อความดันในห้องดังกล่าวถึงค่า 10-7 มิลลิบาร์ หรือต่ำกว่า, การนำอุปกรณ์เก็ตเตอร์ ออกจากห้อง (11) โดยอาศัยอุปกรณ์เคลื่อนย้ายซับสเตรตอัตโนมัติ และขั้นตอนการทำงานที่ใช้ สำหรับการเคลื่อนย้ายซับสเตรตในระหว่างขั้นตอนการผลิต

10. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่ง, เมื่อถึงความดัน 10-7 มิลลิบาร์ หรือต่ำกว่า, อุปกรณ์ เก็ตเตอร์ได้รับการนำออกจากห้องดังกล่าว (13) ภายหลังจากการปฏิบัติขั้นตอนเบี้องต้นของการ พอกพูนชั้นบางเพียงเท่านั้น (12)

11. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 10, ที่ซึ่ง กระบวนการพอกพูนสำหรับชั้นบางเป็นชนิด PVD และขั้นตอนเบื้องต้นดังกล่าวประกอบรวมด้วยขั้นตอนของการทำความสะอาดเป้าหมาย