TH23942B - Plastic optical device with anti-reflective film And mechanism for making the anti-reflective film has a uniform thickness - Google Patents

Plastic optical device with anti-reflective film And mechanism for making the anti-reflective film has a uniform thickness

Info

Publication number
TH23942B
TH23942B TH9801001777A TH9801001777A TH23942B TH 23942 B TH23942 B TH 23942B TH 9801001777 A TH9801001777 A TH 9801001777A TH 9801001777 A TH9801001777 A TH 9801001777A TH 23942 B TH23942 B TH 23942B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
film
base material
plastic
reflective film
optical lens
Prior art date
Application number
TH9801001777A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH35073A (en
Inventor
มาซาอากิ นายโยชิฮารา
ฮิโตชิ นายคามูระ
ฮาจิเมะ นายคามิยะ
Original Assignee
นายชาญชัย ศุภดิลกลักษณ์
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง
นางสาวสุพัตรา โพธิ์สินสมวงศ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายชาญชัย ศุภดิลกลักษณ์, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง, นางสาวสุพัตรา โพธิ์สินสมวงศ์ filed Critical นายชาญชัย ศุภดิลกลักษณ์
Publication of TH35073A publication Critical patent/TH35073A/en
Publication of TH23942B publication Critical patent/TH23942B/en

Links

Abstract

DC60 อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกซึ่งฟิล์มกันสะท้อน (13) ถูกเคลือบไว้บนพื้นผิวของวัสดุฐานที่ เป็นพลาสติก (10) ฟิล์มกันสะท้อน (13) เป็นฟิล์มหลายชั้นซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมชั้นที่หนึ่ง (131) ไว้บนด้านข้างของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกอย่างแท้จริง โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และชั้นต่อมา (132) โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำ และในอีกทางหนึ่ง โดยการวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้นๆ พื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) มีส่วนโค้ง และ จำนวนที่มากกว่าหนึ่งของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) ได้ถูดจัดวางไว้ในแนวนอนที่ตำแหน่งของวงกลม ร่วมศูนย์กลาง ในตัวยึดแผ่นวงกลม (26) ซึ่งถูกจัดวางไว้ในแนวนอน และสามารถหมุนได้ ระบบการ สะสมฟิล์มสปัตเตอร์ ประกอบด้วย เป้าหมาย (31) ที่หันหน้าไปทางพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) แผ่นปรับความหนาทำหน้าที่เป็นชิ้นส่วนหน้ากาก (51,52) สำหรับการควบคุมความแตกต่างของ ความหนาของฟิล์มซึ่งถูกจัดวางไว้ในทิศทางที่สัมผัสส่วนขอบ และส่วนกึ่งกลางในตัวยึดนั้น และ ระหว่างเป้าหมาย (31) และตัวยึด (26) อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกซึ่งฟิล์มกันสะท้อน (13) ถูกเคลือบไว้บนพื้นผิวของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติก (10) ฟิล์มกันสะท้อน (13) เป็นฟิล์มหลายชั้นซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมชั้นหนึ่ง (131) ไว้บนด้านข้างของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกอย่างแท้จริง โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และชั้นต่อมา (132) โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำ และในอีกทางหนึ่ง โดยการวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากและวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้น ๆ พื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) มีส่วนโค้ง และจำนวนที่มากกว่าหนึ่งของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) ได้ถูดจัดวางไว้ในแนวนอนทีตำแหน่งของวงกลมร่วมศูนย์กลาง ในตัวยึดแผ่นวงกลม (26) ซึ่งถูกจัดวางไว้ในแนวนนอน และสามารถหมุนได้ ระบบการสะสมฟิล์มสปัตเตอร์ ประกอบด้วย เป้าหมาย (31) ที่หันหน้าไปทางพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง(10) แผ่นปรับความหนาทำหน้าที่เป็นชิ้นส่วนหน้ากาก (51,52) สำหรับการควบคุมความแตกต่างของความหนาของฟิล์มซึ่งถูกจัดวางไว้ในทิศทางที่สัมผัสกับขอบ และส่วนกึ่งกลางในตัวยึดนั้น ระหว่างเป้าหมาย (31) และตัวยึด (26) DC60 plastic optical device in which the anti-reflective film (13) is coated on the surface of the plastic base material (10) .The anti-reflective film (13) is a multi-layer film, which is formed by a first layer of deposition ( 131) placed on the sides of the truly plastic base material. The highly refractive material and the later layer (132) by the low refractive material. And on the other hand By placing materials that are highly refractive And those low-refractive materials are layered The surface of the optical lens base material (10) has an arc, and more than one number of the optical lens base material (10) has been placed horizontally at the location of the circle. Concentric In a circular plate holder (26), which is placed horizontally. The sputtering film deposition system consists of a target (31) facing the surface of the optical lens base material (10). The thickness adjustment plate acts as a mask piece (51,52) for the Differentiate control of The film thickness, which is positioned in the direction of contact with the edges. And the center part in that holder and between target (31) and holder (26) plastic optical device in which an anti-reflective film (13) is coated on the surface of the plastic base material (10). (13) It is a multilayer film which is formed by depositing one layer (131) on the sides of the truly plastic base material. The highly refractive material and the later layer (132) by the low refractive material. And on the other hand By placing those highly refractive materials and those low refractive materials in layers, the surface of the optical lens base material (10) has a greater than one arc and number of the optical lens base material. (10) has been placed horizontally at the location of the concentric circle. In a circular plate holder (26), which is placed horizontally. And can be rotated The sputtering film deposition system consists of a target (31) facing the surface of the optical lens base material (10), the thickness adjustment plate acts as a mask piece (51,52) for contrast control. Of film thickness, which is positioned in the direction of contact with the edge And the center part in that bracket Between target (31) and placeholder (26)

Claims (1)

1.อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกซึ่งฟิล์มกันสะท้อนถูกเคลือบอย่างน้อยบนพื้นผิวหนึ่งของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติก มีลักษณะเฉพาะคือ ฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวเป็นฟิล์มหลายชั้นที่ถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมขั้นที่หนึ่งบนด้านของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวอย่างแท้จริงโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และขชั้นต่อมาโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำ และโดยอีกทางหนึ่งการวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้น ๆ ฟิล์มกันสะท้อนถูกสร้างขึ้นเพื่อที่จะให้มีช่วงความยาวคลื่นหลักของ 480 ถึง 550 นาโนเมตร,ช่วงความบริสุทธิ์ในการกระตุ้นคือ 10 ถึง 30% และการสะท้อนแสง 0.7 ถึง 1.8% และซึ่งมีสีแทรกสอดที่เป็นสีเขียว 2. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกของข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ ความหนาของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวถูกจัดตำแหน่งให้อยู่ในบริเวณกลางของฟิล์มหลายชั้นดังกล่าวถูกทำให้หนาขึ้นอย่างสัมพันธ์กันเพื่อที่ว่าความแข็ง และความทนทานที่ต้องการสามารถถูกทำให้ได้มา 3. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 1 มีลักษณะเฉพาะคือวัสดุที่มีการหักเหสแงได้มากดังกล่าวคือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการสปัตเตอริ่งโดยการใช้เป้าหมายที่ถูกทำขึ้นจากสิ่งใดสิ่งหนึ่งของ Zr,Tiและ Ta หรือ จากอัลลอยของสอง หรือ มากกว่าสองชนิดของสิ่งเหล่านั้น และวัสดุที่มีกาหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าว คือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการสปัตเตอริงดดยการใช้เป้าหมายที่เป็น Si 4 อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 3 มีลักษณะพเฉพาะคือเป้ามหายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหสแงได้มากดังกล่าวประกอบด้วย si 5. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 3 มีลักษณะเฉพาะคือเป้าหมายที่เป็น Si ได้ถุกจัดไว้นอกจาก เป้าหมายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวเมื่อทำการสะสมวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวเพื่อที่จะสะสมที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวในฐานะฟิล์มผสมโดยการสปัตเตอริ่งกสองชนิดของเป้าหมายดังกล่าวในเวลาเดียวกัน 6. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 1 มีลักษณะเฉพาะคือความหนารวามของฟิล์ม กันสะท้อนดังกล่าวถูกรวมอยู่ภายในช่วงของ 4800 ถึง 5800 อัสตรอง และ ความหนารวมของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวซึ่งอยู่ในนั้นคือ 3500 อังสตรอง หรือมากกว่านั้น 7. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 1 มีลักษณะเฉพาะคือเมื่อวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวมีส่วนโค้ง ฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวได้ถูกสร้างขึ้นเป็นฟิล์มแถบกว้างเพื่อลดความไม่สม่ำเสมอของสีแทรกสอดซึ่งมีสาเหตุมาจากความแตกต่างของการกระจายตัวของความหนาซึ่งขึ้นอยู่กับส่วนโค้งในการสะสมผิล์มนั้นโดยวิธีการสปัตเตอริ่ง และการเปลี่ยนแปลงของสีแทรกสอดที่มีสาเหตุมาจากการตกกระทบทำมุมเอียง 8. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่1 มีลักษณะเฉพาะคือวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวคือวัสดุฐานของเลนส์พลาสติกแว่นตา และฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวถูกสร้างขึ้นบนด้านทั้งสองของวัสดุฐานที่เป็นพลาติกดังกล่าว 9. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่1 มีลักษณะเฉพาะคือฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวประกอบด้วย 10 ชั้น และความหนาของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวที่ชั้นที่หกซึ่งถูกจัดตำแหน่งไว้ตรงกลางถูทำให้เพิ่มขึ้น 1 0. เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนซึ่งฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวถูกเคลือบไว้บนวัสดุฐานที่เป้นพลาสติกโดยใช้วิธีการสปัตเตอริ่ง มีลักษณะเฉพาะคือ ฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวคือฟิล์มหลายชั้นซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมชั้นที่หนึ่งบนด้านข้างของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และชั้นต่อไปโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำและโดยอีกทางหนึ่ง การวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้น ๆ และ ฟิล์มที่มีความหนามาของ SiO(2-x) ได้ถูกทำให้สะสมเป็นชั้นก่อนบำบัดบนวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวความหนาของฟิล์มที่มีความบางมากที่ค่าอยู่ภายในช่วง 15 ถึง 50 อังสตรอง 1 1. เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 10 มีลักษณะเฉพาะคือวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวคือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวีการสปัตเตอริ่งโดยการใช้เป้าหมายที่ถูกทำขึ้นจากสิ่งใดสิ่งหนึ่ง ของ Zr,Ti และ Ta หรือ จากอัลลอยของสอง หรือมากกว่าสองชนิดเของสิ่งเหล่านั้น และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวคือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการสปัตเตอริ่งโดยการใช้เป้าหมายที่เป็น Si 1 2.เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 11 มีลักษณะเฉพาะคือเป้าหมายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวประกบอด้วย Si 1 3.เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 11 มีลักษณะเฉพาะคือเป้าหมายที่เป็น Si ได้ถูกจัดไว้นอกจาก เป้าหมายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าว เมื่อทำการสะสมวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดักงล่าวเพื่อที่จะสะสมที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวในฐานฟิล์มผสมโดยการสปัตเตอริงสองชนิดของเป้าหมายดังกล่าวในเวลาเดียวกัน 1 4. เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 10 มีลักษณะเฉพาะคือฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวประกอบด้วย 10 ชั้น และความหนาของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวที่ชั้นที่หกที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ตรงกลางถูกทำให้เพิ่มขึ้น 1 5. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งซึ่งถูกใช้ในระบบการสะสมฟิล์มสำหรับการสะสมฟิล์มบางบนพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงโดยวิธีการสปรัตเตอริ่ง มีลักษณะเฉพาะคือมันประกอบด้วยแผ่นปรับความหนาสำหรับการปรับความแตกต่างของความหนาของฟิล์มบางดังกล่าว 1 6. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 15 มีลักษณะเฉพาะคือ พื้นผิวของวัสดุเลนส์เชิงแสงมีส่วนโค้ง และจำนวนที่มากกว่าหนึ่งของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่าวถูกจัดวางไว้ในแนวนอนที่ตำแหน่งของวงกลมศูนย์กลางร่วมในตัวยึดแผ่นวงกลม ซึ่งถูกวางไว้ในแนวนอนและสามารถหมุนได้ ระบบการสะสมฟิล์มประกอบด้วยเป้าหมายที่หันเข้าหาพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่าว และ แผ่นปรับความหนาดังกล่าวคือชิ้นส่วนหน้ากาก สำหรับการควบคุมความแตกต่างของความหนาของฟิล์มซึ่งถูกจัดวางไว้ในทิศทางที่สัมผัสส่วนเส้นรอบวง และส่วนกึ่งกลางในตัวยึดดังกล่าว และระหว่างเป้าหมายดังกล่าว และตัวยึดดัวกล่าว 1 7. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 16 มีลักษณะเฉพาะคือ เป้าหมายดังกล่าวถูกประกอบด้วยเป้าหมายด้านบน และด้านล่างที่หันตามลำดับไปยังด้านทั้งสองของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่าว และ ชิ้นส่วนหน้ากากดังกล่าวถูกประกอบด้วยชิ้นส่วนหน้ากากสำหรับพื้นผิวเว้าซึ่งถูกจัดไว้ระหว่างเป้าหมายด้านบนดังกล่าว และตัวยึดดังกล่าว และชิ้นส่วนหน้ากากสำหรับ พื้นผิวนูนซึ่งถูกจัดไว้ระหว่างเป้าหมายด้านล่างดังกล่าว และตัวยึดดังกล่าว 1 8.กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 17 มีลักษณะเฉพาะคือชิ้นส่วนหน้ากากดังกล่าวสำหรับพื้นผิวเว้านั้น ขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่สอดคล้องกับตำแหน่งที่วัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่างคงอยู่มีค่ามากกว่าขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่เหลือ และคือที่ในชิ้นส่วนหน้ากากสำหรับพื้นผิวนูนนั้น ขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่ สอดคล้องกับตำแหน่งที่ขอบระหว่างวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงมีค่ามากกว่าขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่เหลือ 1 9. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 16 มีลักษณะเฉพาะคือชิ้นส่วนหน้ากากดังกล่าวรบกวนอนุภาคที่ฟุ้งออกมาจากส่วนที่ไม่กัดกร่อนซึ่งถูกสร้างขึ้นในเป้าหมายดังกล่าว1. a plastic optical device in which an anti-reflective film is coated at least on one surface of the plastic base material. There is a unique The anti-reflective film is a multi-layer film created by a first layer of deposition on the side of the truly plastic base material, with a highly refractive material. And b later by materials with low refractivity And, on the other hand, laying highly refractive materials. And those low-refractive materials are layered, an anti-reflective film is made to provide a primary wavelength range of 480 to 550 nm, excitation purity range is 10 to 30%, and reflectivity. 2. The plastic optical device of claim 1, where the thickness of the low-refractive material is positioned in the region of claim 1. The middle of the multilayer film was thicker relative to each other so that the stiffness 3. Plastic optical devices with anti-reflective films according to claim 1 are characterized by a highly refractive material, metal oxide, which is It is created by the sputtering method using targets made up of either Zr, Ti and Ta or from alloys of two or more of them. And materials that have low light refraction Is a metal oxide, which was created by sputtering method using Si 4. optical devices, plastic with a reflective film according to claim 3, are characterized by a unique target. This highly refractive material consists of si 5. Plastic optical devices with anti-reflective films according to claim 3 are unique: Si targets are arranged. Aside from The target is such a highly refractive material, when the highly refracted material is accumulated in order to accumulate such highly refractive material as a composite film by spinning. Two types of such targets at the same time. 6. Plastic optical devices with anti-reflective films according to claim 1 are characterized by the total thickness of the film. Such reflectors are included within the range of 4800 to 5800 Astrias, and the total thickness of such low refractive material, which is in it, is 3500 angst or greater. 7. Plastic Optical Devices. The anti-reflective film according to claim 1 is unique, when the plastic base material has a arc. The anti-reflection film has been created as a wide-banded film to reduce the color interpolation unevenness caused by differences in thickness distribution depending on the curves in the film deposition. By sputtering method And color interpolation caused by slanting impact 8. Plastic optical device with anti-reflective film according to claim 1. Unique is that the plastic base material is the base material of the eyeglass plastic lenses. And such an anti-reflective film is built on both sides of the plastic base material. 9. Plastic optical device with anti-reflective film as per claim 1. Unique is that the anti-reflective film consists of 10 layers, and the thickness of such low-refractive material at the sixth layer, which is positioned in the middle of the rub, increases the 1 0. plastic lenses, glasses with film. The anti-reflective film is coated on the plastic base material using sputtering method. There is a unique The anti-reflective film is a multi-layer film created by a first layer of deposition on the side of the plastic base material, with a highly refractive material. And the next layer by low refractive materials, and by the other way Placing highly refractive materials And those low-refractive materials are layers, and the SiO (2-x) thick film is deposited into a pre-treatment layer on the plastic base material. Very thin at values within the range 15 to 50 AUG 1 1. Plastic lenses Eyeglasses with an anti-reflective film according to claim 10 are characterized by a highly refractive material, the metal oxide, which is It is built by sputtering using targets made up of either Zr, Ti and Ta or from two alloys. Or more than two of them. And such a low-refractive material is metal oxide, which was created by sputtering using Si 1 targets. 2. Plastic lenses, glasses with anti-reflective films according to the claim. The 11th is unique, the target is such a highly refractive material, coupled with Si 1 3. Plastic lenses, glasses with anti-reflective films according to claim 11, are characterized as a Si target. Has been provided in addition to The target is such a highly refractive material. When the highly refractive material is accumulated, so that such highly refractive material is deposited in the composite film base by sputtering two such targets at the same time 1 4.Plastic lenses, eyeglasses with anti-reflective film according to claim 10, are characterized by such an anti-reflective film consisting of 10 layers and a thickness of such low-refractive material at the sixth layer aligned. The sputtering thickness adjustment mechanism is used in the film deposition system for the thin film deposition on the surface of the optical lens base material. By sprattering method Its characteristic is that it consists of a thickness adjustment plate for adjusting the thickness differences of such thin films. 1 6. Thickness adjustment mechanism for sputtering film deposition according to the claim that 15 has the characteristics The surface of the optical lens material has an arc. And a greater number of such optical lens base material is positioned horizontally at the location of the concentric circle in the circular plate holder. Which is placed horizontally and can be rotated The film deposition system consists of a target facing the surface of the optical lens base material, and the aforementioned thickness adjustment plate is a mask component. For controlling the difference in film thickness, which is positioned in the direction in contact with the circumference. And the center part in the aforementioned bracket And between those goals And so on. 1 7. Thickness adjustment mechanism for sputtering skin deposition according to claim 16 is unique. The goals were composed of the above goals. And the bottom, respectively facing to both sides of the optical lens base material, and the mask part is composed of a concave-surface mask component arranged between the above targets. And such fasteners And mask parts for The convex surface, which is arranged between the targets below it. 1 8. The thickness adjustment mechanism for the sputtering film deposition according to claim 17 is unique to that part of the mask for that concave surface. The size in the circumferential direction of the part corresponding to the position at which the optical lens base material remains is greater than the size in the circumferential direction of the rest. And that's where in the mask piece for that convex surface Size in the circumference direction of the part Corresponding to the position where the edge between the optical lens base material is greater than the magnitude in the circumferential direction of the rest 1 9. The thickness adjustment mechanism for sputtering according to claim 16 is characterized by a piece. The mask interferes with the particles that are emitted by the non-corrosive portion that is created in the target.
TH9801001777A 1998-05-18 Plastic optical device with anti-reflective film And mechanism for making the anti-reflective film has a uniform thickness TH23942B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH35073A TH35073A (en) 1999-09-21
TH23942B true TH23942B (en) 2008-06-26

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6783253B2 (en) First surface mirror with DLC coating
KR100938772B1 (en) Method for making optical lenses having an anti-reflection coating and the optical article produced thereby
US2519722A (en) Metallic mirror and method of making same
EP1170602B1 (en) Optical element comprising a superficial mirror coating and method for forming said coating
AU2001267564A1 (en) Optical element comprising a superficial mirror coating and method for forming said coating
JPH02109003A (en) Reflection mirror
JP3068252B2 (en) Optical member having antireflection film
TH23942B (en) Plastic optical device with anti-reflective film And mechanism for making the anti-reflective film has a uniform thickness
TH35073A (en) Plastic optical device with anti-reflective film And mechanism for making the anti-reflective film has a uniform thickness
JP2537773B2 (en) Plastic mirror lenses
JP3012712B2 (en) Optical member having antireflection film
JPH06273601A (en) Antireflection film of optical parts made of synthetic resin
JPH03242319A (en) Transparent film having intermediate refractive index
JP3610777B2 (en) Infrared antireflection film and transmission window
JPS60130704A (en) Antireflection film for plastic substrate
JP2590924B2 (en) Anti-reflective coating
JP3179191B2 (en) Optical member having antireflection film, method for forming vapor deposition film, and vapor deposition composition
CN112867945B (en) Optical article with interference coating having improved abrasion resistance
JP3068243B2 (en) Optical member having antireflection film
JPH1130704A (en) Spectacle plastic lens
JPH1130705A (en) Spectacle plastic lens with reflection preventive film
JPH05107402A (en) Optical member having antireflection film
JP2624827B2 (en) Half mirror
JP3502150B2 (en) Anti-reflective coating
JPS5818604A (en) Synthetic resin lens