TH2201008494A - การใช้งานกล้องจุลทรรศน์การส่องสว่างแบบมีโครงสร้างบนซับสเตรตที่มีแพทเทิร์น - Google Patents

Abstract

ระบบกล้องจุลทรรศน์การส่องสว่างแบบมีโครงสร้าง (SIM) ประกอบด้วย: แหล่งกำเนิดแสง; องค์ประกอบ โครงสร้างแสงเพื่อให้แสงจากแหล่งกำเนิดแสงที่มีแพทเทิร์น SIM สำหรับการส่องสว่าง ของตัวอย่างที่ซับสเตรตที่มีแพทเหิร์นซับสเตรต, ที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM ขึ้นอยู่กับ ลักษณะเฉพาะของแพทเทิร์นซับสเตรต และเซนเซอร์รูปภาพเพื่อตรวจจับการปล่อยที่ตัวอย่างสร้างขึ้น เพื่อตอบสนองต่อการส่องสว่าง

Claims (1)

1. ระบบกล้องจุลทรรศน์การส่องสว่างแบบมีโครงสร้าง (SIM) ซึ่งประกอบรวมด้วย: แหล่งกำเนิดแสง; องค์ประกอบโครงสร้างแสงเพื่อให้แสงจากแหล่งกำเนิดแสงที่มีแพทเทิร์น SIM สำหรับการส่อง สว่างของตัวอย่างที่ซับสเตรตที่มีแพทเทิร์นซับสเตรต, ที่ซึ่งระดับพิตย์ของแพทเทิร์น SIM ขึ้นอยู่กับ ลักษณะเฉพาะของแพทเทิร์นซับสเตรต และ เซนเซอร์รูปภาพเพื่อตรวจจับการปล่อยที่ตัวอย่างสร้างขึ้นเพื่อตอบสบองต่อการส่องสว่าง 2.ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งแพทเทิร็นซับสเตรตประกอบด้วยแพทเทิร์นพีริออ ดิก และที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM ขึ้นอยู่กับระดับพิตษ์ของแพทเทิร์นพืริออคิก 3. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 2 ที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM มีค่ามากกว่า ระดับพิตช์ของแพทเทิร์นพีริออคิก 4.ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM อยู่ระหว่างประมาณ 1.5 และประมาณ 2 เท่าของแพทเทิร์นพีริออคิก 5. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 2-4 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งองค์ประกอบโครงสร้างแสง ประกอบด้วยเกรตติงสำหรับการสร้างแพทเทิร์น SIM, เกรตติงที่สอดคล้องกับระดับพิตช์ของแพทเทิร์u พืริออดิก 6.ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้ ที่ซึ่งแพทเทิร์นชับสเตรต ประกอบด้วยช่องขนาคนาโนที่เกิดขึ้นที่ชับสเตรต 7. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 6 ที่ซึ่งแพทเทิร์นซับสเตรตประกอบด้วยช่องขนาดนาโนที่ จัดเรียงเป็นการจัดเรียงตามลำดับสี่เหลี่ยม 8.ระบบ รเM ตามข้อถือสิทธิ ที่ซึ่ง การจัดเรียงตามลำดับสี่เหลี่ยมมีช่องขนาคนาโนที่ จัดเรียงเป็นแถวเชิงส้นและคอลัมน์เชิงเส้น ที่ซึ่งแถวเชิงเส้นตั้งฉากกับคอลัมบ์เชิงเส้นอย่างมาก 9.ระบบ SเM ตามข้อถือสิทธิ 8 ที่ซึ่ง แถวเชิงเส้นหรือคอลัมน์เชิงเส้นที่หนึ่งจะส่องสว่าง ด้วยแพทเทิร์น SIM, ที่ซึ่งแถวเชิงเส้นหรือคอลัมน์เชิงเส้นที่สองขนานกับและอยู่ติดกับแถวเชิงเส้นหรือ คอลัมน์เชิงเส้นที่หนึ่ง, และที่ซึ่งแถวเชิงเส้นที่สองหรือคอลัมน์เชิงเส้นไม่ส่องสว่างด้วยแพทเทิร์น SIM เมื่อแถวเชิงเส้นหรือคอลัมน์เชิงเส้นที่หนึ่งส่องสว่างด้วยแพทเทิร์น SIM 10. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้ ที่ซึ่งแหล่งกำเนิดแสงประกอบด้วย เลเซอร์หรือไดโอดเปล่งแสงอย่างน้อยหนึ่งตัว 1 1. ระบบ รเM ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้ ที่ซึ่งตัวอย่างประกอบด้วยสารชีวภาพ และที่ซึ่งเซนเซอร์รูปภาพจะตรวจจับการเรื่องแสงที่ปล่อยออกมาจากตัวอย่างเพื่อตอบสนองต่อการส่องสว่าง 12. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้านี้ ที่ซึ่งระบบ SIM ได้รับการ กำหนดค่าให้หมุนแพทเทิร์น SIM เกี่ยวกับแกนเชิงแสงเป็นมุมโมคูเลชัน โดยจะมีการส่องสว่างอย่าง น้อยหนึ่งดวงในแต่ละมุมโมคูเลชันของแพทเทิร์น SIM 13. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 12 ที่ซึ่ง แพทเทิร์นซับสเตรตเป็นแพทเทิร็นพืริออดิก, และที่ ซึ่งระบบ SIM ได้รับการกำหนดค่เพื่อให้มีออฟเซตมฺมไมดูเลชันแต่ละมุมของแพทเทิร์น SIM เพื่อสร้าง มุมโมดูเลชันออฟเซต, ไม่มีมุมโมดูเลชันออฟเซตที่สอดคล้องกับมุมของแกนสมมาตรของแพทเทิร์นพีริ ออคิก, ที่ซึ่งมีการส่องสว่างอย่างน้อยหนึ่งครั้งในมุมโมคูเลชันออฟเซดแต่ละมุมของแพทเทิร์นชิม SIM 14. ระบบ SเM ตามข้อถือสิทธิ 1.6. หรือ 10-12 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งแพทเทิร์นชับสเตรต ประกอบด้วยแพทเทิร์นสุ่ม และที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM ขึ้นอยู่กับความละเอียคของแพทเทิร์นสุ่ม 15. ระบบ SIMตามข้อถือสิทธิ 14 ที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM จะมีลำดับ ความสำคัญเท่ากันกับความละเอียดเกี่ยวข้องกับแพทเทิร์นสุ่ม 16. วิธีการซึ่งประกอบรวมด้วย: การกำหนดค่าระบบกล้องจุลทรรศน์การส่องสว่างแบบมีโครงสร้าง (SIM) สำหรับการส่อง สว่างของตัวอย่างที่ซับสเตรตที่มีแพทเทิร์นซับสเตรต: การเลือกระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM ของระบบ SIM ตามลักษณะเฉพาะของแพทเทิร์นซับส เตรต; การส่องสว่างของตัวอย่างที่ซับสเตรดที่มีแพทเทิร์น SIM; และ การตรวจจับการปล่อยที่ตัวอย่างสร้างขึ้นเพื่อตอบสนองต่อการส่องสว่าง 17. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 16 ที่ซึ่งแพทเทิร์นซับสเตรตรวมถึงแพทเทิร์นพืริออคิก 18. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 17 ที่ซึ่งระดับพิตช์ของแพทเทิร์น SIM ถูกเลือกตามระดับพิตช์ ของแพทเทิร์นพืริออดิก 19. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 18 ที่ซึ่งการเลือกระดับพิตษ์ของแพทเทิร์น SIM ประกอบด้วย การกำหนดค่าระ บบ SIM ที่มีเกรตติงสำหรับการสร้างแพทเทิร์น SIM, เกรตติงที่สอดคล้องกับ ระดับพิตช์ของแพทเทิร์นพีริออคิก 20. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 19 ที่ซึ่งเกรตดิงมีระดับพิตย์อยู่ระหว่างประมาณ 1.5 และ ประมาณ 2 เท่าของแพทเทิร์นพืริออดึก 2 1. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 16-20 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งตัวอย่างประกอบด้วยสารชีวภาพ และที่ ซึ่งการตรวจจับการปล่อยประกอบด้วยการตรวจจับการเรืองแสงที่ปล่อยออกมาจากตัวอย่างเพื่อ ตอบสนองต่อการส่องสว่าง 22. ระบบกล้องจุลทรรศน์การส่องสว่างแบบมีโครงสร้าง (SIM) ซึ่งประกอบรวมด้วย: แหล่งกำเนิดแสง องค์ประกอบ โครงสร้างแสงเพื่อให้แสงจากแหล่งกำเนิดแสงที่มีแพทเทิร์น SIM สำหรับการ ส่องสว่างของตัวอย่างที่ซับสเตรตที่มีแพทเทิร์นพีริออดิก, องค์ประกอบโครงสร้างแสงที่กำหนดค่า สำหรับการหมุนแพทเทิร์น รIM เกี่ยวกับแกนเชิงแสงเป็นมุมโมดูเลชัน, และสำหรับการให้ออฟเซตแก่ มุมโมดูเลชันแต่ละมุมของระบบ SIM เพื่อสร้งมุมโมดูเลชันออฟเซด, ไม่มีมุมโมดูเลชันออฟเซตที่ สอดคล้องกับมุมของแกนสมมาตรของเพทเทิร์นพืริออคิก; และ เซนเซอร์รูปภาพเพื่อตรวจจับการปล่อยที่ตัวอย่างสร้างขึ้นเพื่อตอบสบองต่อการส่องสว่าง 23. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 22 ที่ซึ่งออฟเซตจัดให้มีไว้ในลักษณะที่มุมโมคูเลชัน ออฟเซตแต่ละมุมมีขนาดน้อยกว่ามุมโมดูเลชันที่สอดคล้องกัน 24. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 22 ที่ซึ่ง ออฟเซตจัดให้มีไว้ในลักษณะที่มุมโมคูเลชัน ออฟเซตแต่ละมุมมีขนาดมากกว่ามุมโมคูเลชันที่สอดคล้องกัน 25. ระบบ รเM ดามข้อถือสิทธิ 22-24 ข้อใจข้อหนึ่ง ที่ซึ่งออฟเซตประมาณ 10-30 องศา 26. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 25 ที่ซึ่งออฟเซตประมาณ 20 องศา 27. ระบบ รIM ตามข้อถือสิทธิ 2 ที่ซึ่งมุมโมคูเลชันมุมหนึ่งอยู่ที่ประมาณ 45 องศา และที่ ซึ่งมุมโมคูเลชันออฟเซตที่สอดคล้องกับมุมโมคูเลชันมุมหนึ่งอยู่ที่ประมาณ 25 องศา 28. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 22-27 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งแพทเทิร์นพืริออคิกประกอบด้วย ช่องขนาคนาโนที่เกิดขึ้นที่ขับสเตรต 29. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 28 ที่ซึ่งแพทเทิร์นพืริออคิกประกอบด้วยช่องขนาดนาโนที่ จัดเรียงเป็นการจัดเรียงตามลำดับสี่เหลี่ยม ระบบ รุเM ตามข้อถือสิทธิ 29 ที่ซึ่ง การจัดเรียงตามลำดับสี่เหลี่ยมมีช่องขนาดนาโนที่ จัดเรียงเป็นแถวเชิงส้นและคลัมน์เชิงเส้น ที่ซึ่งแถวเชิงเส้นตั้งฉากกับคอลัมน์เชิงเส้นอย่างมาก 3 1. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 28-30 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งช่องขนาดนาโนที่หนึ่งส่องสว่าง ด้วยแพทเทิร์น SIM, ที่ซึ่งช่องขนาดนาโนที่สองอยู่ติดกับช่องขนาคนาโนที่หนึ่ง, และที่ซึ่งช่องขนาดนา โนที่สองไม่ได้ส่องสว่างด้วยแพทเทิร์น SIM เมื่อช่องขนาคนาโนที่หนึ่งส่องสว่างด้วยแพทเทิร็น SIM ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 22-31 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งแหล่งกำเนิดแสงประกอบด้วย เลเซอร์หรือไดโอดเปล่งแสงอย่างน้อยหนึ่งตัว 33. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 22-32 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งระดับพิตย์ของแพทเทิร์น SIM อ้างอิงตามระดับพิตช์ของแพทเทิร์นพืริออคิก 34. ระบบ SIM ตามข้อถือสิทธิ 33 ที่ซึ่งระดับพิตษ์ของแพทเทิร์น SIM อยู่ระหว่างประมาณ 1.5 และประมาณ 2 เท่าของแพทเทิร์นพืริออดิก 35. วิธีการซึ่งประกอบรวมด้วย: การกำหนดค่าระบบกล้องจุลทร รศน์การส่องสว่างแบบมี โครงสร้าง (SIM) สำหรับการหมุน ของแพทเทิร์น รIM เกี่ยวกับแกนเชิงแสงเป็นมุมโมดูเลชัน, ระบบ SIM ที่กำหนดค่สำหรับการส่อง สว่างของตัวอย่างที่ซับสเตรตที่มีแพทเทิร์นพืริออคิก การให้ออฟเซตแก่มุมโมดูเลชันแต่ละมุมของระบบ SIM เพื่อสร้างมุมโมคูเลชันออฟเซต, ไม่มี มุมโมดูเลชันออฟเซตที่สอดคล้องกับมุมของแกนสมมาตรของแพทเทิร์นพีริออดิก; การส่องสว่างของตัวอย่างที่ซับสเตรตที่มีแพทเทิร์น SIM ที่มุมโมคูเลชันออฟเซต และ การตรวจจับการปล่อยที่ตัวอย่างสร้างขึ้นเพื่อตอบสนองต่อการส่องสว่าง