TH2001007286A

TH2001007286A - The patent has not yet been advertised.

Info

Publication number: TH2001007286A
Application number: TH2001007286A
Authority: TH
Inventors: นายเททสึจิอาเบะ; นายยูจิมาซาโมโตะ; นายยูตะโนกูชิ; นายฮิโรยูคิชิบะ
Original assignee: อาเดกะคอร์ปอเรชั่น
Filing date: 2019-05-28
Publication date: 2022-02-07

Abstract

บทสรุปการประดิษฐ์ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณาReadFile:สิ่งที่ถูกจัดให้ไว้คือองค์ประกอบที่เป็นประโยชน์สำหรับการกัดผิวชั้นโลหะ,เช่นชั้นที่มีพื้นฐานเป็นทองแดง,องค์ประกอบที่ทำให้สามารถสร้างลวดลายที่ละเอียดที่มีสภาพเชิงเส้นสูงและที่เป็นเลิศในด้านความแม่นยำของขนาดในขณะที่ระงับการเกิดฟิล์มตกค้างองค์ประกอบนั้นเป็นสารละลายที่เป็นน้ำที่ประกอบด้วย:(A)0.1ถึง25%โดยมวลของอย่างน้อยหนึ่งส่วนประกอบซึ่งถูกเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยคิวปริกไอออนและเฟอร์ริกไอออน;(B)0.1ถึง30%โดยมวลของคลอไรด์ไอออน;(C)0.01ถึง10%โดยมวลของสารประกอบซึ่งถูกแสดงโดยสูตรต่อไปนี้(1)(R1แทนพันธะเดี่ยว,หรือที่คล้ายกันนั้น,R2และR3แต่ละตัวแทนหมู่C1-4แอลคิลีนโซ่ตรงหรือโซ่กิ่ง,R4และR5แต่ละตัวแทนอะตอมไฮโดรเจน,หรือที่คล้ายกันนั้น,และnแทนจำนวนที่ทำให้นํ้าหนักโมเลกุลเฉลี่ยตามจำนวน550ถึง1,400)ที่มีนํ้าหนักโมเลกุลเฉลี่ยตามจำนวนของ550ถึง1,400;(D)0.01ถึง10%โดยมวลของสารประกอบซึ่งถูกแสดงโดยสูตรต่อไปนี้(2)(R6แทนหมู่n-บิวทิล,R7แทนหมู่C2-4แอลคิลีน,และmแทนจำนวนเต็ม1ถึง3);และนํ้า(สูตรเคมี)(1)(สูตรเคมี)(2) The fabrication summary which appears on the ReadFile advertisement page: It is provided as a useful element for surface milling of metal layers, such as copper-based layers, elements that allow for the formation of fine textures. Highly linear and excellent in size accuracy while suppressing residual film formation, the composition is an aqueous solution containing:(A)0.1 to 25% by mass of at least one of the selected components. From the group composed of cupric ions and ferric ions;(B)0.1 to 30% by mass of chloride ions;(C)0.01 to 10% by mass of compound, which is represented by the following formula (1)( R1 represents a single bond, or similar, R2 and R3 each represent a C1-4 alkylene chain or branched chain, R4 and R5 each represent a hydrogen atom, or the like, and n represents a number. (D) 0.01 to 10% by mass of the compound, which is represented by the following formula (2) (R6 represents the group n-butyl, R7 represents group C2-4 alkylene, and m represents integers 1 to 3); and water (chemical formula)(1) (chemical formula) (2).

Claims

Claims (item one) which will appear on the advertisement page:

1. Aqueous solubility constituents consisting of: (A)0.1 to 25% by mass of at least one component chosen from a group consisting of cupric ions and ferric ions; (B)0.1 to 30% by mass of chloride ions; (C) 0.01 to 10% by mass of compound, which is represented by the following formula (1), compounds with a mean molecular weight of 550 to 1,400; (D) 0.01 to 10% by mass of the compound, which is represented by the following formula (2):(chemical formula)(1) where R1 represents thousands.