TH18554A - ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้น - Google Patents

ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้น

Info

Publication number
TH18554A
TH18554A TH9401001969A TH9401001969A TH18554A TH 18554 A TH18554 A TH 18554A TH 9401001969 A TH9401001969 A TH 9401001969A TH 9401001969 A TH9401001969 A TH 9401001969A TH 18554 A TH18554 A TH 18554A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
magnetic
layer
ferromagnetic
nickel
iron
Prior art date
Application number
TH9401001969A
Other languages
English (en)
Other versions
TH6376B (th
Inventor
โรเบิร์ต คอฟฟีย์ นายเควิน
เอ็ดเวิร์ด ฟอนตานา นายโรเบิร์ต
เค็นท์ โฮเวิร์ด นายเจมส์
ลาเนียร์ ฮิลตัน นายท็อดด์
แอนดูรว์ ปาร์คเกอร์ นายไมเคิล
หัว ซาง นายชิง
ชิงหัว ซาง นาย
ไมเคิลแอนดูรว์ ปาร์คเกอร์ นาย
ท็อดด์ลาเนียร์ ฮิลตัน นาย
เจมส์เค็นท์ โฮเวิร์ด นาย
โรเบิร์ตเอ็ดเวิร์ด ฟอนตานา นาย
เควินโรเบิร์ต คอฟฟีย์ นาย
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นาย ดำเนินการเด่น
นาย วิรัชศรีเอนกราธา
นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นาย ดำเนินการเด่น, นาย วิรัชศรีเอนกราธา, นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH18554A publication Critical patent/TH18554A/th
Publication of TH6376B publication Critical patent/TH6376B/th

Links

Abstract

ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กรวมส่วนประกอบตรวจวัดหลายชั้นที่สร้างด้วยส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กหนึ่งหรือมากกว่าในแถวลำดับระนาบ แต่ละส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กที่มีโครงสร้างหลายชั้นของอย่างน้อยที่สุดสองชั้นเฟอร์โรแมกเนติก ที่แยกจากกันโดยชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กถูกเชื่อมต่ออย่างแอนตี้เฟอร์โรแมกเนติก โดยการเชื่อมต่อแม่เหล็กสถิตย์ ที่ปลายตรงข้ามของชั้นเฟอร์โรแมกเนติก ชั้นไบแอสที่แยกจากส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กโดยชั้นคั่นให้มีสนามแม่เหล็ก เพื่อไบแอสวนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กที่จุดไม่มีสัญญาณที่ต้องการสำหรับการตอบสนองเชิงเส้น ส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็ก ถูกสร้างโดยชั้นที่พอกอย่างสลับกันของสารเฟอร์โรแมกเนติก และชั้นของสารที่ไม่เป็นแม่เหล็กบนซับสเตรตและต่อไป ทำรูปแบบโครงสร้างที่เป็นผลโดยใช้เทคนิคโฟโตลิโธกราฟฟิค เพื่อให้มีแถวลำดับระนาบของส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็ก ชั้นนำถูกพอกบนแถวลำดับที่เติมช่องว่างที่แยกส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กเพื่อให้มีการนำไฟฟ้าระหว่างส่วนประกอบในระนาบของโครงสร้าง

Claims (9)

1. ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้น ซึ่งประกอบด้วยชั้นที่หนึ่งและที่สองที่เป็นวัสดุเฟโรแมกเนติก ซึ่งถูกคั่นแยกจากกันโดยชั้นของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ทำให้เกิดเป็นโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้น โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับระนาบหลายสมาชิก แต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวถูกคั่นแยกจากสมาชิกข้างเคียงด้วยที่ว่าง, ชั้นการนำที่เป็นวัสดุนำไฟฟ้าถูกสร้างขึ้นบนแถวลำดับดังกล่าว วัสดุนำไฟฟ้าดังกล่าวที่บรรจุในที่ว่างระหว่างสมาชิกดังกล่าวเพื่อจัดให้มีสภาพนำไฟฟ้าระหว่างสมาชิกดังกล่าวในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ชั้นเฟโรแมกเนติกที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวของสมาชิกดังกล่าวแต่ละตัวถูกเชื่อมโยงในเชิงแอนติเฟโรแมกเนติกโดยคัปปลิง แมกนีโตสแตติกที่ขอบตรงข้ามของมัน สนามกระทำร่วมซึ่งประกอบด้วยส่วนประกอบของคัปปลิงแมกนีโตสแตติก และคัปปลิงแลกเปลี่ยนที่มีอยู่ระหว่างชั้นเฟโรเมกเนติกที่หนึ่งและที่สองของ สมาชิกดังกล่าวแต่ละตัว สนามกระทำร่วมสมาชิกระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวเป็นแอนติเฟโรแมกเนติก การทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่หนึ่งดังกล่าวถูกจัดวางไม่ให้ขนานกับการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่สองดังกล่าว ทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นซึ่งหมุนตามการตอบสนองต่อสนามแม่เหล็กที่ป้อน ความต้านทานของตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กแปรเปลี่ยนเป็นฟังก์ชันของการเปลี่ยนแปลงของมุมระหว่างทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเพโรแมกเนิติกที่อยู่ถัดกัน 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวมีรูปทรงตามต้องการ โดยมีมิติที่ใหญ่ที่สุดในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวมีค่าน้อยกว่า 10.0 um. 3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 2 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละตัวมีรูปทรงโดยทั่วไปเป็นวงกลม 4. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 2 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละตัวมีรูปทรงโดยทั่วไปเป็นสี่เหลี่ยมมุมฉาก 5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับที่ไม่ต่อเนื่องกันซึ่งตั้งฉากกับชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวและดักจับทิศทางแอนิโซโทรปีทางแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวแต่ละชั้น 6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 5 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับของช่องเปิดผ่านโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 6 โดยที่แถวลำดับของช่องเปิดดังกล่าวประกอบเป็นแถวลำดับของรูที่มีลักษณะทั่วไปเป็นวงกลมผ่านโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 5 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นอย่างน้อยที่สุดหนึ่งแถบที่มีความกว้างซึ่งถูกมอดูเลต 9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 8 โดยที่แถบดังกล่าวที่มีความกว้างซึ่งถูกมอดูเลต ประกอบด้วยแถวลำดับของสมาชิกที่มีลักษณะเป็นวงกลมซึ่งถูกต่อเข้าด้วยกัน 1 0. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละตัวของแถวลำดับดังกล่าวประกอบด้วยสมาชิกที่มีลักษณะเป็นวงกลมซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางสูงสุดเป็น 10.0 um. 1 1. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละตัวของแถวลำดับดังกล่าวมีรูปทรงตัวไปเป็นสี่เหลี่ยมมุมฉาก ซึ่งมีมิติใหญ่ที่สุดน้อยกว่า 10 um. 1 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเหล็ก โคบอลต์ นิเกิล นิเกิล-เหล็ก และโลหะผสมของเฟโรแมกเนติกที่มีพื้นฐานเป็นเหล็ก โคบอลต์ นิเกิล หรือ นิเกิล-เหล็ก 1 3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 12 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยนิเกิล-เหล็ก 1 4. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าว ประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ 1 5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 14 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวเป็นวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเงิน ทอง ทอง แดง และรูทีเนียม และโลหะผสมที่เป็นตัวนำของ เงิน ทอง ทองแดง และรูทีเนียม 1 6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 15 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวคือเงิน 1 7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 15 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวคือทองแดง 1 8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ชั้นการนำดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ซึ่งเลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย โครเมียม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม 1 9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 18 โดยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าว ประกอบด้วยโครเมียม 2 0. ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้น ซึ่งประกอบด้วยชั้นคู่ N คู่ โดยที่แต่ละชั้นคู่ประกอบด้วยชั้นของวัสดุเฟโรแมกเนติกที่สร้างบนชั้นของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ชั้นคู่ N คู่ดังกล่าวถูกสร้างบนชั้นฐานของวัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าว ทำให้เกิดเป็นโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นที่เป็นชั้นสลับกันของวัสดุเฟโรแมกเนติกกับวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ชั้นบนและชั้นฐานเป็นวัสดุเฟโรแมกเนติก ชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นถูกเชื่อมโยงในเชิงแอนติเฟโรแมกเนติกเข้ากับชั้นเฟโรแมกเนติกข้างเคียงโดยคัปปลิงแมกนีโตสแตติกที่ขอบตรงกันของมัน สนามกระทำร่วมซึ่งประกอบด้วยส่วนประกอบย่อยของคัปปลิงแมกนีโตสแตติก และคัปปลิงแลกเปลี่ยนที่มีอยู่ระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน สนามกระทำร่วมสุทธิระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกันเป็นแอนติเฟโรแมกเนติก การทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมทเนติกถูกจัดวางให้ไม่ขนานกับการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟ โรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน ทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นที่หมุนตามการตอบสนองต่อสนามแม่เหล็กที่ป้อนให้ ความต้านทานของตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กแปรเปลี่ยนเป็นฟังก์ชันของการเปลี่ยนแปลงของมุมระหว่างทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน 2 1. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 20 โดยมีส่วนประกอบเพิ่มเติมคือชั้นครอบซึ่งสร้างขึ้นบนชั้นบนของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 2 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 21 โดยที่ชั้นครอบดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุความต้านทานสูงที่ไม่เป็นแม่เหล็กซึ่งเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยแทนทาลัม ซิลิคอน ไดออกไซด์และอะลูมินัมออกไซด์ 2 3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 21 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับระนาบหลายสมาชิก แต่ละสมาชิกของแถวลำดับถูกแยกจากสมาชิกข้างเคียงโดยช่องว่าง แต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวมีโครงสร้างชั้นเหมือนกันกับโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ชั้นการนำของวัสดุตัวนำไฟฟ้าถูกสร้างขึ้นบนแถวลำดับดังกล่าว วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวบรรจุอยู่ในช่องว่างระหว่างสมาชิกดัง กล่าวเพื่อให้เกิดการนำไฟฟ้าระหว่างสมาชิกดังกล่าวในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 2 4. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 23 โดยที่สมาชิกดังกล่าวของแถวลำดับดังกล่าวมีรูปทรงตามที่ต้องการโดยมีมิติที่ใหญ่ที่สุดในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวน้อยกว่า 10 um. 2 5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 24 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละสมาชิก ประกอบด้วยสมาชิกที่มีลักษณะเป็นวงกลมซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางสูงสุดเป็น 10.0 um. 2 6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 24 โดยที่สมาชิกดังกล่าวแต่ละสมาชิกมีรูปทรงในลักษณะของสี่เหลี่ยมมุมฉาก 2 7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 20 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นลำดับที่ไม่ต่อเนื่องตั้งฉากกับชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าว และดักจับทิศทางแอนนิโซไทรปีทางแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวแต่ละชั้น 2 8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 27 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับของช่องเปิดผ่านโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 2 9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 28 โดยที่แถวลำดับของช่องเปิดดังกล่าวประกอบเป็นแถวลำดับของรูที่มีลักษณะกลมผ่านโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 3 0. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 27 โดยที่โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นอย่างน้อยที่สุดหนึ่งแถบที่มีความกว้างถูกมอดูเลต 3 1. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 30 โดยที่แถบที่ความกว้างถูกมอดูเลตดังกล่าวประกอบด้วยแถวลำดับของสมาชิกที่มีลักษณะกลมซึ่งต่อเข้าด้วยกัน 3 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 21 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยแม่เหล็ก โคบอลท์ นิเกิล นิเกิล-เหล็ก และโลหะผสมของเฟโรแมกเนติก ซึ่งมีพื้นฐานเป็นเหล็ก โคบอลท์ นิเกิล หรือนิเกิล-เหล็ก 3 3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 32 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยนิเกิล-เหล็ก 3 4. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 21 โดยที่วัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้า 3 5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 34 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวเป็นวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย เงิน ทอง ทองแดงและรูทีเนียม และโลหะผสมตัวนำของเงิน ทอง ทองแดงหรือ รูทีเนียม 3 6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 35 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวคือเงิน 3 7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 35 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวคือทองแดง 3 8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 23 โดยที่ชั้นการนำดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ซึ่งเลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโครเมี่ยม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม และโลหะผสมตัวนำของโครเมียม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม 3 9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 38 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยโครเมียม 4 0. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 38 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยแทนทาลัม 4 1. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 21 โดยที่ N ถูกเลือกจากพิสัย 2 ถึง 1C 4 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 21 โดยที่ผลบวกของความหนาของชั้นเฟดรแมกเนติกที่เป็นเลขคี่มีค่าเท่ากับผลบวกของความหนาของชั้นเฟโรแมกเนติกที่เป็นเลขคู่ 4 3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 42 โดยที่ความหนาของชั้นบนและชั้นฐานดังกล่าวของวัสดุเฟโรแมกเนติกมีค่าเป็นครึ่งหนึ่งของชั้นเฟโรแมกเนติกภายในโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้น 4 4. ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นซึ่งประกอบด้วย : ชั้นฐาน ; ชั้นการแยกซึ่งพอกอยู่บนพื้นผิวหลักของชั้นฐานดังกล่าว; ชั้นไบเอสของวัสดุแม่เหล็กที่พอกอยู่บนชั้นแยกดังกล่าว ; ส่วนประกอบตรวจวัดต้านแม่เหล็กที่พอกอยู่บนชั้นไบแอสดังกล่าว และซึ่งประกอบด้วยชั้นคู่ N คู่ โดยที่แต่ละชั้นคู่ประกอบด้วยชั้นของวัสดุเฟโรแมกเนติก ที่ทำไว้บนชั้นของวัสดุไม่เป็นแม่เหล็ก N ชั้นคู่ดังกล่าวที่ทำไว้บนชั้นฐานของวัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวจะ ทำให้เกิดเป็นโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้น ของชั้นสลับกันของวัสดุเฟโรแมกเนติกและวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ชั้นบนและชั้นฐานเป็นวัสดุเฟโรแมกเนติกชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นถูกเชื่อมโยงในเชิงแอนติเฟโรแมกเนติกเข้ากับชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน โดยคัปปลิงแมกนีโตสแตติกที่ขอบตรงกันของมัน สนามกระทำร่วมซึ่งประกอบด้วยส่วนประกอบย่อยของคัปปลิงแมกนีโตสแตติก และคัปปลิง แลกเปลี่ยนที่ปรากฎอยู่ระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน สนามกระทำร่วมสุทธิระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกันเป็นแอนติเฟโรแมกเนติก การทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมทเนติกถูกจัดวางให้ไม่ขนานกับการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน ทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นที่หมุนตามการตอบสนองต่อสนามแม่เหล็กที่ป้อนให้ ความต้านทานของตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กแปรเปลี่ยนเป็นฟังก์ชันของการเปลี่ยนแปลงของมุมระหว่างทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติก ที่อยู่ถัดกัน โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับระนาบหลายสมาชิก โดยที่สมาชิกแต่ละตัวของแถวลำดับดังกล่าวถูกคั่นแยกจากสมาชกข้างเคียงด้วยเนื้อที่ว่า แต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวมีโครงสร้างเป็นฐานที่เหมือนกันกับโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ชั้นการนำของวัสดุตัวนำไฟฟ้าถูกทำไว้บนแถวลำดับดังกล่าว วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวบรรจุในเนื้อที่ว่างระหว่างสมาชิกดังกล่าว เพื่อให้เป็นตัวนำไฟฟ้าระหว่างสมาชิกดังกล่าวในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ชั้นครอบที่ทำไว้บนชั้นบนของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว, และ ชั้นแทรกของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็กที่พอกไว้บนชั้นไบแอสดังกล่าวและถูกจัดวางไว้ระหว่างชั้นไบแอสดังกล่าว กับส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว เพื่อปลดการเชื่อมโยงในเชิงแม่เหล็กชั้นไบเอสดังกล่าวออกจากตัวประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว 4 5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่จำนวน N ของชั้นคู่ถูกเลือกจากพิสัย 1 ถึง 10 4 6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ส่วนประกอบดังกล่าวแต่ละตัวประกอบด้วยส่วนประกอบที่มีลักษณะกลมซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางสูงสุดเป็น 10.0 um. 4 7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ส่วนประกอบดังกล่าวแต่ละตัว ประกอบด้วยส่วนประกอบที่มีลักษณะเป็นสี่เหลี่ยมมุมฉากซึ่งมีมิติสูงสุดน้อยกว่า 10 um. 4 8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเหล็ก โคบอลท์ นิเกิล นิเกิล-เหล็ก และโลหะผสมของเฟโรแมกเนติก ซึ่งมีพื้นฐานเป็นเหล็ก โคบอลท์ นิเกิล หรือ นิเกิล-เหล็ก 4 9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 48 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยนิเกิล-เหล็ก 5 0. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าว ประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย เงิน ทอง ทองแดงและรูทีเนียม และโลหะผสมตัวนำของเงิน ทอง ทองแดงหรือรูทีเนียม 5 1. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 50 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวคือเงิน 5 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นแทรกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยแทนทาลัมเซอร์โคเนียม ไทเทเนียม อิตเทรียม และแฮฟเนียม 5 3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 52 โดยที่ชั้นแทรกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยแทนทาลัม 5 4. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นไบแอสดังกล่าวประกอบด้วยชั้นของวัสดุอ่อนเชิงแม่เหล็กเพื่อทำให้เกิดสนามไบแอสแม่เหล็กดังกล่าว 5 5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 54 โดยที่วัสดุอ่อนเชิงแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยนิเกิล-เหล็ก และนิเกิล-เหล็ก-โรเดียม 5 6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นไบแอสดังกล่าวประกอบด้วยชั้นของวัสดุแข็งเชิงแม่เหล็กสำหรับทำให้เกิดสนามไบแอสเชิงแม่เหล็กดังกล่าว 5 7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 56 โดยที่วัสดุแข็งเชิงแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโคบอลต์-แพลตินัม และโคบอลต์-แพลตินัม, โครเมียม 5 8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวมีความหนาภายในช่วงประมาณ 10 อังสตรอม ถึงประมาณ100 อังสตรอม 5 9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวมีความหนาภายในช่วงประมาณ 10 อังสตอรม ถึงประมาณ 400 อังสตรอม 6 0. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ชั้นการนำดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็กที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโครเมียม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม และโลหะตัวนำผสมของโครเมียม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม 6 1. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 60 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยแทนทาลัม 6 2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 44 โดยที่ผลรวมของความหนาของชั้นเฟโรแมกเนติกที่เป็นเลขคี่ เท่ากับผลรวมของความหนาของชั้นเฟโรแมกเนติกที่เป็นเลขคู่ภายในโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 6 3. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็ก ซึ่งประกอบด้วย : ตัวกลางเก็บแม่เหล็กที่มีกลุ่มของแทร็กที่กำหนดขึ้นบนพื้นผิวนั้นสำหรับบันทึกข้อมูล ทรานสดิวเซอร์แม่เหล็กซึ่งถูกรักษาให้อยู่แยกห่างอย่างใกล้ชิดเทียบกับตัวกลางเก็บแม่เหล็กดังกล่าวในระหว่างการเคลื่อนที่สัมพัทธ์ระหว่างทรานสดิวเซอร์แม่เหล็กดังกล่าวกับตัวกลางเก็บแม่เหล็กดังกล่าว ทรานสดิวเซอร์แม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้น ซึ่งประกอบด้วยส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็ก ซึ่งประกอบด้วยกลุ่มของ N ชั้นคู่ โดยที่แต่ละชั้นคู่ประกอบด้วยชั้น ของวัสดุเฟโรแมกเนติก ที่ทำไว้บนชั้นของวัสดุไม่เป็นแม่เหล็ก N ชั้นคู่ดังกล่าวที่ทำไว้บนชั้นฐานของวัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวจะ ทำให้เกิดโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้น ของชั้นสลับกันของวัสดุเฟโรแมกเนติกและวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็กชั้นบนและชั้นฐานเป็นวัสดุเฟโรแมกเนติก ชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นถูกเชื่อมโยงในเชิงแอนติเฟโรแมกเนติกเข้ากับชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน โดยคัปปลิงแมกนีโตสแตติกที่ขอบตรงข้ามกันนั้น สนามกระทำร่วมซึ่งประกอบด้วยส่วนประกอบย่อยของคัปปลิงแมกนีโตสแตติกดังกล่าว และคัปปลิงแลกเปลี่ยนที่ปรากฎอยู่ระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน สนามกระทำร่วมสุทธิระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกันเป็นแอนติเฟโรแมกเนติก การทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมทเนติกถูกจัดวางให้ไม่ขนานกับการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน ทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นที่หมุนตามการตอบสนองต่อสนามแม่เหล็กที่ป้อนให้ ความต้านทานของตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กแปรเปลี่ยนเป็นฟังก์ชันของการเปลี่ยนแปลงของมุมระหว่างทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นแถวลำดับระนาบหลายสมาชิก โดยที่สมาชิกแต่ละตัวของแถวลำดับดังกล่าวถูกแยกจากสมาชิกที่อยู่ถัดกันด้วยเนื้อที่ว่าแต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวมีโครงสร้างชั้นเหมือนกันกับโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ชั้นการนำของวัสดุตัวนำไฟฟ้าถูกทำไว้บนแถวลำดับดังกล่าว วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวบรรจุในเนื้อที่ว่างระหว่างสมาชิกดังกล่าว เพื่อให้เป็นตัวนำไฟฟ้าระหว่างสมาชิกดังกล่าวในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว ชั้นไบแอสของวัสดุแม่เหล็กสำหรับทำให้เกิดสนามไบแอสแม่เหล็กสำหรับส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว ชั้นแทรกของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็กซึ่งถูดจัดให้อยู่ระหว่างชั้นไบแอสดังกล่าวกับชั้นฐานดังกล่าวของส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าวที่ปลดการเชื่อมโยงเชิงแม่เหล็กชั้นไบแอสดังกล่าวออกจากส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว และสายตัวนำ ที่ต่อเข้ากับ ปลายตรงข้ามกันของส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว ตามลำดับ เพื่อต่อตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวเข้ากับวงจรภายนอก และสำหรับเชื่อมโยงกระแสตรวจวัดเข้ากับส่วนประกอบตรวจ วัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว อุปกรณ์ขับเร้าซึ่งเชื่อมโยงเข้ากับทรานสดิวเซอร์แม่เหล็กดังกล่าวเพื่อเคลื่อนทรานสดิวเซอร์ (แม่เหล็กดังกล่าว ให้เลือกแทรกข้อมูลบนตัวกลางเก็บแม่เหล็กดังกล่าวและ)อุปกรณ์ตรวจจับที่ถูกเชื่อมโยงเข้ากับตัวตรวจวัด ต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว เพื่อลดการเปลี่ยแปลงความต้านทานในส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าวในทางที่ตอบสนองต่อสนามแม่เหล็กที่ป้อนให้ ซึ่งเป็นตัวแทนของบิตข้อมูล ที่บันทึกอยู่ในตัวกลางเก็บแม่เหล็กดังกล่าวที่ถูกดักจับโดยตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว 6 4. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่จำนวน N ชั้นคู่นั้นถูกเลือกจากพิสัย 1 ถึง 10 6 5. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ส่วนประกอบดังกล่าว ประกอบด้วยส่วนประกอบที่มีลักษณะกลมซึ่งมีเส้นผ่าศูนย์กลางสูงสุดเป็น 10.0 um. 6 6. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ส่วนประกอบดังกล่าวแต่ละตัว ประกอบด้วยส่วนประกอบที่มีลักษณะเป็นสี่เหลี่ยมมุมฉากซึ่งมีมิติสูงสุดน้อยกว่า 10 um. 6 7. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเหล็ก โคบอลท์ นิเกิล นิเกิล-เหล็ก และโลหะผสมของเฟโรแมกเนติก ซึ่งมีพื้นฐานเป็นเหล็ก โคบอลท์ นิเกิลหรือนิเกิล-เหล็ก 6 8. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเหล็ก โคบอลต์ นิเกิล นิเกิล-เหล็ก และโลหะผสมเฟโรแมกเนติซึ่งมีพื้นฐานเป็นเหล็ก โคบอลต์ นิเกิล หรือนิเกิล-เหล็ก 6 9. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 68 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยนิเกิล-เหล็ก 7 0. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุนำไฟฟ้าที่เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย เงิน ทอง ทองแดงและรูทีเนียม และโลหะผสมตัวนำของเงิน ทอง ทองแดงหรือรูทีเนียม 7 1. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 70 โดยที่วัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวคือเงิน 7 2. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นแทรกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยแทนทาลัม เซอร์โคเนียม ไทเทเนียม อิตเทรียม และแฮฟเนียม 7 3. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นไบเอสดังกล่าวประกอบด้วยชั้นของวัสดุอ่อนในเชิงแม่เหล็กสำหรับทำให้เกิดสนามไบแอสทางแม่เหล็ก วัสดุอ่อนในเชิงแม่เหล็กดังกล่าว เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยนิเกิล-เหล็ก-โครเมียม นิเกิล-เหล็ก-นิโอเบียม นิเกิล-เหล็ก และนิเกิล-เหล็ก-โรเดียม 7 4. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นไบแอสดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุแข็งในเชิงแม่เหล็กสำหรับทำให้เกิดสนามไบแอสทางแม่เหล็กดังกล่าว วัสดุเชิงแม่เหล็กดังกล่าวถูกเลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโคบอลต์-แพลตินัม และโคบอลต์-แพลตินัม, โครเมียม 7 5. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวมีความหนาภายในช่วงประมาณ 10 อังสตรอม ถึงประมาณ 100 อังสตรอม 7 6. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวมีความหนาภายในพิสัยประมาณ 10 อังสตอรม ถึงประมาณ 400 อังสตรอม 7 7. ระบบเก็บด้วยแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิ 63 โดยที่ชั้นการนำดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่ไม่เป็นแม่เหล็กซึ่งเลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโครเมียม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม และโลหะตัวนำผสมของโครเมียม แทนทาลัม เงิน ทอง ทองแดง อะลูมินัม และรูทีเนียม 7 8. วิธีการในการผลิตโครงสร้างต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นสำหรับใช้ในตัวตรวจวัดต้านแม่เหล็ก โครงสร้างต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวประกอบด้วยแถวลำดับรำนาบของส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็ก ส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กดังกล่าวแต่ละตัวมีกลุ่มของชั้นเฟโรแมกเนติก ชั้นโฟโรแมกเนติกดังกล่าวแต่ละชั้นถูกแยกจากกันด้วยชั้นแทรกของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กดังกล่าวแต่ละตัวในแถวลำดับดังกล่าวถูกแยกจากส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กที่อยู่ข้างเคียงด้วยเนื้อที่ว่าง ชั้นของวัสดุตัวนำที่ทำไว้บนและอยู่ระหว่างส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว วัสดุตัวนำดังกล่าวบรรจุในเนื้อที่ว่างระหว่างส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็ก วิธีการดังกล่าวประกอบด้วยขั้นตอนของ การทำชั้นฐานของวัสดุเฟโรแมกเนติกบนแผ่นฐาน (substrate) การสร้างกลุ่มของชั้นคู่ แต่ละชั้นคู่ดังกล่าวประกอบด้วยชั้นที่หนึ่งของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็กและชั้นที่สองของวัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าว ซึ่งทำไว้บนชั้นที่หนึ่งดังกล่าวกลุ่มของชั้นคู่ดังกล่าวถูกทำไว้บนชั้นฐานดังกล่าวของวัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าว การจัดกระสวนโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นที่ได้ซึ่งทำให้เกิดเป็นแถวลำดับระนาบหลายสมาชิก แต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวถูกแยกจากสมาชิกข้างเคียงด้วยเนื้อที่ว่าง แต่ละสมาชิกของแถวลำดับดังกล่าวมีโครงสร้างชั้นเหมือนกันกับโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว และ การทำชั้นการนำที่เป็นวัสดุตัวนำไฟฟ้าบนแถวลำดับดังกล่าววัสดุตัวนำไฟฟ้าดังกล่าวบรรจุเนื้อที่ว่างระหว่างสมาชิกดังกล่าวเพื่อทำให้เกิดการนำไฟฟ้าระหว่างสมาชิกดังกล่าวในระนาบของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้น 7 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 78 โดยที่ชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวมีความหนาอยู่ภายในพิสัยประมาณ 10 อังสตอรม ถึงประมาณ100 อังสตรอม 8 0. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 78 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวมีความหนาอยู่ภายในพิสัยประมาณ 10 อังสตอรม ถึงประมาณ 400 อังสตรอม 8
1. แผ่นตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้นซึ่งประกอบด้วยแผ่นฐาน (substrate); ชั้นแบ่งแยกซึ่งพอกอยู่บนพื้นผิวหลักของแผ่นฐานดังกล่าว ชั้นไบแอสของวัสดุแม่เหล็กซึ่งถูกพอกอยู่บนชั้นแบ่งแยกดังกล่าว ส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็ก ซึ่งถูกพอกอยู่บนชั้นไบแอสดังกล่าวและประกอบด้วยกลุ่มของ N ชั้นคู่ โดยที่แต่ละชั้นคู่ประกอบด้วยชั้นของเฟโรแมกเนติกที่ทำไว้บนชั้นของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก N ชั้นคู่ดังกล่าวถูกทำไว้บนชั้นฐานของวัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าว ทำให้เกิดเป็นโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นของชั้นที่สลับกันของวัสดุเฟโรแมกเนติกและวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็ก ชั้นบนและชั้นฐานเป็นวัสดุเฟโรแมกเนติกชั้นเฟโรแมกเนติกแต่ละชั้นถูกเชื่อมโยงเชิงแอนติเฟโรแมกเนติกเข้ากับชั้นเฟโรแมกเนติกข้างเคียงโดยคัปปลิงแมกนี โตสแตติกที่ขอบตรงข้ามกัน สนามกระทำร่วมซึ่งรวมถึงส่วนประกอบย่อยของคัปปลิงต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว และคัปปลิงแลกเปลี่ยนที่ปรากฎอยู่ระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน สนามกระทำร่วมสุทธิระหว่างชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกันเป็นแอนติเฟโรแมกเนติก การทำให้เป็นแม่เหล็กของชั้นเฟโรแมกเนติกถูกจัดวางไม่ให้ขนานกับการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน ทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟดรแมกเนติกแต่ละชั้นที่หมุนตอบสนองต่อสนามแม่เหล็กที่ป้อนให้ ความต้านทานของตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็ก ดังกล่าวแปรเปลี่ยนเป็นฟังก์ชันของการเปลี่ยนแปลงของมุมระหว่างทิศทางของการทำให้เป็นแม่เหล็กในชั้นเฟโรแมกเนติกที่อยู่ถัดกัน โครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าวถูกจัดกระสวนให้เกิดเป็นส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กเดี่ยวส่วนประกอบต้านทานแม่เหล็กดังกล่าวมีมิติสูงสุดเท่ากันกับความกว้างแทร็กข้อมูลที่ต้องการ ชั้นปิดครอบที่ทำไว้บนชั้นบนของโครงสร้างแม่เหล็กหลายชั้นดังกล่าว และ ชั้นแทรกของวัสดุที่ไม่เป็นแม่เหล็กซึ่งพอกไว้บนชั้นไบแอสดังกล่าวและถูกจัดวางไว้ระหว่างชั้นไบแอสดังกล่าว และส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว สำหรับปลดการเชื่อมโยงชั้นไบแอสดังกล่าวออกจากส่วนประกอบตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กดังกล่าว 8
2. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่จำนวน N ของชั้นคู่ถูกเลือกจากพิสัย 1 ถึง 10 8
3. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่วัสดุเฟโรแมกเนติกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเหล็ก โคบอลต์ นิเกิล นิเกิล-เหล็ก และโลหะผสมของเฟโรแมกเนติก ซึ่งมีพื้นฐานเป็นเหล็ก โคบอลท์ นิเกิล หรือนิเกิล-เหล็ก 8
4. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุตัวนำไฟฟ้าที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยเงิน ทอง ทองแดง และรูทีเนียม และโลหะผสมตัวนำของเงิน ทอง ทองแดง หรือรูทีเนียม 8
5. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่ชั้นแทรกดังกล่าวประกอบด้วยวัสดุที่เลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยแทนทาลัมเซอร์โคเนียม ไทเทเนียม อิตเทรียมและแฮฟเนียม 8
6. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่ชั้นไบแอสดังกล่าวประกอบด้วยชั้นของวัสดุอ่อนเชิงแม่เหล็กเพื่อจัดให้มีสนามไบแอสแม่เหล็กดังกล่าว วัสดุอ่อนเชิงแม่เหล็กดังกล่าวเลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย นิเกิล-เหล็ก-โครเมียม นิเกิล-เหล็ก-นิโอเบียม นิเกิล-เหล็ก และนิเกิล-เหล็ก-โรเดียม 8
7. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่ชั้นไบแอสดังกล่าวประกอบด้วยชั้นของวัสดุอ่อนเชิงแม่เหล็กสำหรับทำให้เกิดสนามไบแอสแม่เหล็กดังกล่าว วัสดุแข็งเชิงแม่เหล็กดังกล่าวถูกเลือกจากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโคบอลต์-แพลตินัม และโคบอลต์-แลตินัม-โครเมียม 8
8. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่ชั้นเฟโรแมกเนติกดังกล่าวมีความหนาภายในพิสัยประมาณ 10 อังสตรอม ถึงประมาณ100 อังสตอรม 8
9. ตัวตรวจวัดตามข้อถือสิทธิ 81 โดยที่ชั้นที่ไม่เป็นแม่เหล็กดังกล่าวมีความหนาภายในพิสัยประมาณ 10 อังสตอม ถึงประมาณ 400 อังสตรอม
TH9401001969A 1994-09-15 ตัวตรวจวัดต้านทานแม่เหล็กหลายชั้น TH6376B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH18554A true TH18554A (th) 1996-05-09
TH6376B TH6376B (th) 1997-07-13

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7502208B2 (en) Magneto-resistive effect element, magnetic sensor using magneto-resistive effect, magnetic head using magneto-resistive effect and magnetic memory
US5341118A (en) Multilayer magnetic structure wherein the magnitude of the structure magnetoresistance is a function of nonmagnetic layer thickness
KR950020420A (ko) 다층 자기저항 센서
JP4433820B2 (ja) 磁気検出素子およびその形成方法ならびに磁気センサ、電流計
US5930085A (en) Magnetoresistive head and magnetic recording/reproducing apparatus
US5598308A (en) Magnetoresistive sensor having multilayer thin film structure
JP3327375B2 (ja) 磁気抵抗効果型トランスデューサ、その製造方法及び磁気記録装置
JP3210192B2 (ja) 磁気検出素子
US20060152862A1 (en) Magnetoresistance effect elements, magnetic heads and magnetic storage apparatus
US20030011364A1 (en) Magneto-resistive effect element, magnetic sensor using magneto-resistive effect, magnetic head using magneto-resistive effect and magnetic memory
KR970017217A (ko) 이중 스핀 밸브 센서를 이용한 이중 저기저항 센서
JPH04247607A (ja) 磁気抵抗効果素子
JPH0766033A (ja) 磁気抵抗素子ならびにその磁気抵抗素子を用いた磁性薄膜メモリおよび磁気抵抗センサ
GB2387711A (en) Magnetic sensing element with multi-layer free layer
JP2002150512A (ja) 磁気抵抗効果素子および磁気抵抗効果型磁気ヘッド
EP1151482A1 (en) Spin dependent tunneling sensor
US6621666B2 (en) Magnetoresistive-effect element having electrode layers oppositely disposed on main surfaces of a magnetoresistive-effect thin film having hard magnetic bias layers with a particular resistivity
EP2267811A2 (en) CPP type giant magnetoresistance device and magnetic compounds and units using the same
US5936400A (en) Magnetoresistive displacement sensor and variable resistor using a moving domain wall
JPH08122095A (ja) 位置検出装置
KR100438059B1 (ko) 면형 자기센서 및 다차원 자장해석용 면형 자기센서
KR20010078004A (ko) 자기센서 및 이를 이용한 자기기억장치
JP2000512763A (ja) ホイートストンブリッジを備える磁界センサ
JPH07296340A (ja) 磁気抵抗効果素子およびその素子を使用した薄膜磁気ヘッド
JP2001256620A (ja) 磁気抵抗センサおよびこれを搭載した磁気記録再生装置