TH13258Y - หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา - Google Patents

Abstract

หัววัดพลังงานจลน์ของไออนในพลาสมา (หรือหัววัดฯ) ถูกประดิษฐ์ขึ้นมาเพื่อใช้วิเคราะห์ ฟังก์ชันแจกแจงพลังงานจลน์และพลังงานจลน์เฉลี่ยของไอออนในพลาสมา หัววัดฯ ประกอบขึ้นจาก ขั้วกริดด้านนอก ขั้วกริดด้านใน และขั้วรับไอออน วางเรียงซ้อนกันตามลำดับอยู่ภายในโครง โดย ขั้วไฟฟ้าทั้งสามถูกแยกกั้นทางไฟฟ้าด้วยแหวนเว้นระยะ ถูกประคองให้มีแกนกลางร่วมกันด้วยแหวน ประคอง และถูกบีบอัดให้อยู่ร่วมกันด้วยฝาหลัง โดยหัววัดฯ ตามการประดิษฐ์นี้มีการนำ ทีอีเอ็มกริด ซึ่งเป็นกริดรับชิ้นงานตัวอย่างสำหรับการวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน มา ประยุกต์ใช้เป็นกริดความละเอียดสูงของหัววัดฯ ให้รองรับปัญหาการพอกพูนของฟิล์มบางด้านนอก ในการประดิษฐ์ หัววัดฯ ยังได้รับการออกแบบให้มีความสามารถในการปรับเปลี่ยนตำแหน่งวัดและ มุมการวัด (เทียบตำแหน่งและมุมอ้างอิง) เมื่อใช้งานร่วมกับ vacuum fitting ที่เหมาะสม และหัววัดฯ สามารถใช้งานได้กับพลาสมาความหนาแน่นสูง เช่น พลาสมาที่มีความหยาแน่นสูงประมาณ 10^18 m^-3 เป็นต้น

Claims (8)

แก้ไข 26 พฤษภาคม 2560

1. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ที่มีลักษณะเฉพาะคือ ประกอบด้วย ขั้วกริดด้าน นอก (2100) ประกบเข้ากับ แหวนเว้นระยะ (2500) ขั้วกริดด้านใน (2200) แหวนเว้นระยะ (2500) และขั้วรับไอออน (2300) ตามลำดับ โดยถูกเรียงซ้อนกันอยู่ภายในโครงสร้าง (2400) และถูกประคองใน ลักษณะให้มีแกนกลางร่วมกันด้วยแหวนประคอง (2600) และยึดเข้าหากันด้วยวิถีทางการยึดติดโดย ขั้วกริดด้านนอก (2100) และขั้วกริดด้านใน (2200) ใช้ทีอีเอ็มกริด (2120) เพื่อรองรับปัญหาการพอก พูนของฟิล์มบางด้านนอก

2. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งขั้วกริดด้านนอก (2100) ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยแหวนรับกริด (2110) โดยแหวนรับกริด (2110) ถูกประกบเข้ากับทีอีเอ็มกริด (2120) ในลักษณะที่มีแกนกลางร่วมกัน และยึดติดกันด้วยวิถีทางการยึดติด

3. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่งขั้วกริดด้านใน (2200) ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยแหวนรับกริด (2210) โดยแหวนรับกริด (2210) ถูกประกบเข้ากับที อีเอ็มกริด (2220) ในลักษณะที่มีแกนกลางร่วมกัน และยึดติดกันด้วยวิถีทางการยึดติด

4. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง โครง (2400) ถูกขึนโลหะและถูกออกแบบให้มีลักษณะเป็นทรงกระบอกที่มีบ่าด้านหน้า (2410) มีรูด้านข้าง (2420) และมีช่องเปิดด้านหลัง (2430)

5. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 4 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง โครง (2400) ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยท่อ (2800) สวมกับโครง (2400) โดยท่อ (2800) ทำหน้าที่สอด สายไฟ (2900) จำนวนสามเส้น สำหรับการไบแอสขั้วกริดด้านนอก (2100) ขั้วกริดด้านใน (2200) และขั้วรับไออน (2300) ตามลำดับ

6. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง แหวนประคอง (2600) ถูกขึ้นรูปจากฉนวนแข็งและถูกออกแบบให้มีช่องเปิดด้านข้าง (2610) หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ที่มีลักษณะเฉพาะคือ ประกอบด้วย ขั้วกริดด้าน นอก (2100) ประกบเข้ากับ แหวนเว้นระยะ (2500) ขั้วกริดด้านใน (2200) แหวนเว้นระยะ (2500) และขั้วรับไอออน (2300) ตามลำดับ โดยถูกเรียงซ้อนกันอยู่ภายในโครง (2400) และถูกประคองใน ลักษณะให้มีแกนกลางร่วมกันด้วยแหวนประคอง (2600) แบะยึดเข้าหากันด้วยวิถีทางการยึดติด โดย ขั้วกริดด้านนอก (2100) และขั้วกริดด้านใน (2200) ใช้อีเอ็มกริด (2120) เพื่อรองรับปัญหาการพอก พูนของฟิล์มบางด้านนอก หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งขั้วกริดด้านนอก (2100) ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยแหวนรับกริด (2110) โดยแหวนรับกริด (2110) ถูกประกบเข้ากับทีอีเอ็มกริด (2120) ในลักษณะที่มีแกนกลางร่วมกัน และยึดติดกันด้วยวิถีการยึดติด หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่งขั้วกริบด้านใน (2200) ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยแหวนรับกริด (2210) โดยแหวนรับกริด (2210) ถูกประกบเข้ากับที อีเอ็มกริด (2220) ในลักษณะที่มีแกนกลางร่วมกัน และยึดติดกันด้วยวิถีทางการยึดติด หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง โครง (2400) ถูกขึ้นรูปจากโลหะและถูกออกแบบให้มีลักษณะเป็นทรงกระบอกที่มีบ่อด้านหน้า (2410) มีรูด้านข้าง (2420) และมีช่องเปิดด้านหลัง (2430) หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 4 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง โครง (2400) ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยท่อ (2800) สวมกับโครง (2400) โดยท่อ (2800) ทำหน้าที่สอด สายไฟ (2900) จำนวนสามเส้น สำหรับการไบแอสขั้วกริดด้านนอก (2100) ขั้วกริดด้านใน (2200) และขั้วรับไอออน (2300) ตามลำดับ หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนของพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 5 ที่ซึ่งท่อ (2800) เปลี่ยน ตำแหน่งโดยการเลื่อน (4200) ตามแนวแกนของท่อ (2800)

7. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 5 ถึง 6 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง มุมวัด โดยการหมุน (4100) รอบแก่นท่อ (2800)

8. หัววัดพลังงานจลน์ของไอออนในพลาสมา ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 7 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่วึ่ง แหวนประคอง (2600) ถูกขึ้นรูปจากฉนวนแข็งและถูกออกแบบให้มีช่องเปิดด้านข้าง (2610)