TH12653B - เครื่องมือสำหรับการกระทำด้วยพลาสมาว่องไวและวิธีการ - Google Patents

Abstract

เครื่องมือสำหรับกระทำด้วยพลาสมามีประโยชน์สำหรับการเคลือบสับสเตรทเข้ากับฟิล์มบางที่มีสมบัติเป็นขั้นกั้นโอในอัตราการพอกพูนที่ค่อนข้าเร็ว เครื่องมือนี้ประกบด้วยห้องทำปฏิกิริยาที่เอาอากาศออกได้ อีเลคโทรดพลังไฟฟ้าที่กำหนดพื้นผิวที่หันหน้าเข้หาพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยาและส่วนกำบังที่กั้นเป็นช่องที่มีระยะห่าง ตามขวางจากพื้นผิวที่หันหน้าเชข้หาพลาสมา ในช่วงระหว่างการกระทำด้วยพลาสมาพลาสมาจะได้รักบารกัดให้อยู่ห่างในระยะ ในขณะที่มีการป้อนสับสเตรทอย่างต่อเนื่องสู่พลาสมาที่ได้รับการกักไว้

Claims (19)

1.เครื่องมือสำหรับกระทำด้วยพลาสมาที่ประกอบด้วย: ห้องทำปฏิกิริยาที่ระบายอากาศออกได้; อุปกรณ์สำหรับสร้างพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยา โดยอุปกรณ์สำหรับสร้างพลาสมาประกอบด้วยอีเลคโรดที่ทำงานด้วยไฟฟ้าที่กำหนดพื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยา อุปกรณ์สำหรับเชื่อมต่อไฟฟ้าจากอีเลคโรดไปยังสับสเทรตหนึ่ง ๆ เสมื่อสับสเทรตอยู่ภายในห้องทำปฏิกิริยาโดยการจัดวางพื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมาไว้ในลูกกลิ้ง (rolling)ที่สำผัสกับสับสเทรต และสำหรับเผยส่วนที่เปลี่ยนแปลงได้อย่างต่อเนื่องของสับสเทรตเข้าหาพลาสมาในระหว่างกระทำด้วยพลาสมา และ อุปกรณ์สำหรับจำกัดพลาสมาให้อยู่ใกล้ชิดกับส่วนของสับสเทรตที่เปลี่ยนแปลงได้อย่างต่อเนื่องโดยอุปกรณ์จำกัดขอบเขตประกอบด้วยเครื่องกำบังที่ต่อลงดิน

2.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 1 โดยที่อีเลคโทรดที่ทำงานด้วยไฟฟ้ามีไบแอสเป็นลบเมื่อเทียบกับอุปกรณ์จำกัดขอบเขต

3.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 1 โดยที่อุปกรณ์จำกัดขอบเขตจำกัดพลาสมาให้อยู่ที่ส่วนที่เปลี่ยนแปลงได้ของสับสเทรตและอยู่ภายในระยะทางระหว่างประมาณ 0.5 นิ้ว ถึงประมาณ 12 นิ้ว ออกมาทางด้านนอก

4.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 3 โดยที่ทำเครื่องกำบังที่ต่อลงดินให้เย็นลงที่เว้นระยะอย่างน้อยที่สุด จากส่วนที่เปลี่ยนแปลงได้ของสับสเทรต และจำกัดพลาสมาส่วนใหญ่อยู่ระหว่างส่วนที่เปลี่ยนแปลงได้ของสับสเทรต และเครื่องกำบัง

5.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 4 โดยที่พื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมามีลักษณะงอโค้ง และขยายตามยาวตามแนวแกน และเครื่องกำบังมีแกนร่วมกับพื้นผิว

6.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 4 โดยที่อุปกรณ์จำกัดขอบเขตประกอบด้วยอุปกรณ์แม่เหล็กสำหรับสร้างสนามแม่เหล็กที่ขยายเข้าไปในพลาสมา และตัดกันกับพื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมา

7.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 6 โดยที่อุปกรณ์แม่เหล็กประกอบด้วยคู่ขั่วแม่เหล็กอย่างน้อยที่สุดหนึ่งคู่จัดวางอยู่ใกล้ชิดกับเครื่องกำบัง

8.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 4 โดยที่ปรับห้องทำปฏิกิริยาให้รักษาไว้ที่น้อยกว่าประมาณ 0.1 เทอร์ในระหว่างการกระทำสับสเทรตด้วยพลาสมา

9.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 8 โดยที่อุปกรณ์สร้างพลาสมาประกอบด้วยแห่งกำเนิดแก๊สสร้างฟิลบ์ม โดยแก๊สสามารถสร้างสารเคลือบสับสเทรตที่ชิดกันในระหว่างการกระทำสับสเทรดด้วยพลาสมา

10.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 9 โดยที่อุปกรณ์สร้างพลาสมาประกอบด้วย ทางเข้าที่เกี่ยวข้องกับเครื่องกำบังที่ต่อลงดิน สำรหับการบรรจะกระแสแก๊สที่สร้างฟิลืมจากแหล่งกำเนิดแก๊สเข้าไปเป็นระยะทาง

11.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 1 โดยที่พื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมาเป้นทรงกระบอก

12.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 11 โดยที่สับสเทรตส่วนใหญ่ไม่นำไฟฟ้าและยืดหยุ่นได้

13.เครื่องมือตามข้อพถือสิทธิที่ 1 โดยที่สับสเทรตนำไฟฟ้าเป็นส่วนใหญ่ และสับสเทรตสร้างพื้นผิวที่ประชิดกับพลาสมา

14.เครื่องมือเคลือบฟิล์มบางที่ประกอบด้วย: ห้องทำปฏิกิริยาที่ระบายอากาศออกให้เหลือน้อยกว่าประมาณ 0.1ทอรร์; อุปกรณ์สำหรับสร้างพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยาจากแระแสแก๊สที่สร้างฟิล์มโดยกระแสแก๊สสร้างฟิล์มที่สามารถสะสมสารเคลือบที่อยู่ชิดกันลงบนสับสเทรต; อุปกรณ์สำหรับสร้างพลาสมาให้อยู่ในส่วนของสับสเทรตที่เปลี่ยนแปลงได้อย่างน่อนเองโดยถูกป้อนผ่านทางห้องทำปฏิกิริยาในระหว่างการเคลือบสารและให้อยู่ภายในระยะทาง ออกมาทางด้านนอก; อุปกรณ์จำกัดขอบเขตประกอบด้วยเครื่องกำบังที่ต่อลงดิน; และ อุปกรณ์สำหรับไบแอสส่วนของสับสเทรดที่ถูกเคลือบให้เป้นลบเมื่อเยบกับห้องทำปฏิกิริยาและเทียบกับเครื่องกำยบังที่ต่อลงดิน

15.เครื่องมือเคลือบสารตามข้อถือสิทธิ 14 โดยที่ระยะทางอยู่ระหว่างประมาณสองนิ้วถึงประมาณสี่นิว

16.เครื่องมือเคลือบสารตามข้อถือสิทธิ 14 โดยที่ทำเครื่องกำลังที่ต่อลงดินให้เย็นลงและถูกเว้นระยะอย่างน้อยที่สุดเป็นระยะทาง จากส่วนของสับสเทรตที่เปลี่ยนแปลงได้

17.เครื่องมือเคลือบสารตามข้อถือสิทธิ 16 โดยที่พื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมามีลักษณะโค้งงอ และขยายตามยาวตามแนวแกน และเครื่องกำบังใช้แกนร่วมกับพื้นผิว

18.เครื่องมือเคลือบสารตามข้อถือสิทธิ 17 โดยที่อุปกรณ์แม่เหล็กประกอบด้วยคู่ขั่วแม่เหล็กอย่างน้อยที่สุดหนึ่งคู่ที่วางอยู่ชิดกับเครื่องกำบัง

19.เครื่องมือเคลือบสารตามข้อถือสิทธิ 14 โดยที่อุปกรณ์ไบแอสให้เป็นลบประกอบด้วยอีเลคโทรดที่กำหนดพื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยา และส่วนของสับสเทรตที่เปลี่ยนแปลงได้จะสัมผัสกับอีเลคโทรดพร้อมกับหมุนในระหว่างการเคลือบสาร