SU998601A1 - Состав дл очистки поверхности монокристаллов титаната стронци - Google Patents

Description

. - . Изобретение OTHocHavcfl к электронной технике и может быть использовано, на пример дл  изготовлени  нелинейных I . конденсаторов (НК).работакнцнх при кри огенных температурах. В современной электронной технике ; дл  изготовлени  НК используютс  монокристаллнческие пластины титаната строн ци . При изготовлении НК одной из важных операций  вл етс  удаление механических загр знений на поверхности после резки монокристаллов на пластины, их шлифовки и полировки. Известно, что диэлектрические характеристики НК в значительной степени завис т от способа очистки поверхности монокристаллов, так как после самой тщательной механической обработки монокристалла всегда остаетс  поверхностный слой загр знений, который существенно снижает диэлектрические характер рис тики НК. Нбиб( близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  состав , дп  очистки поверхности монокристаллов титаната стронци , включакхций органические растворители: толу-ол, ацетон, изопропиловый спирт и четыреххлористый углерод, в которых кристаллы обрабатывают последовательно при температуре кипени  растворител  tl 3 Недостатки известного состава состо т в том, что примен емые компоненты огнеопасны и токсичны и степень очистки поверхности монокристаллов титаната стронци  недостаточно высока. Цель изобретени  - снижение токсичности и огнеопасности и повышение качества очистки. Поставленна  аель достигаетс  тем, что состав дл  очистки поверхности монокристаллов титаната стронци , соаержащий органический растворитель, дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворител  - щавелевую кислоту при следующем соотношении компонентов, мас,%:. 1,6-40,5 Ш авелева  кислота Перекись водорода 0,37-2,25 Остальное Вода Концентра1ш  и{авелевой кислоты в растворе должна быть в пределах 1,6-40,5 мас.%, перекиси водорода, 0,37-2,25 мае. %, При меньшем содержании компонентов в растворе состав тер ет свою активность. При превышении указанной концентрации одного из компонентов раствор взаимодействует не тол. .кр с адсорбированным слоем загр зн ющих веществ, но и с самим кристаллом, превраща  его полированную поверхность в матовую. После обработки такими составами кристаллы непригодны дл  приготовлени  из них конденсаторов, поэтому их диэлектрические характеристики получить невозможно.

Диэлектрические характеристики НК 9 14 Отпадает необходимость в специальном оборудовании (выт жной шкаф с вентил цией , устройство дл  обработки кристаллов , парами четыреххлористого углерода ), так как четыре токсичных и огнеопасных растворител  замен ютс  одним безвредным и безопасным в работе водным patTBopOM щавелевой кислоты и перекиси водорода. Пример, Очистку поверхности монокристаллов титаната стронци  после нарезки их на пластины, шлифовки и полировки провод т в кип шем водном растворе щавелевой кислоты и перекиси водорода. Составы растворителей и диэлектричес|сие характеристики НК, изготовленных из Монокристаллических пластин титаната стронци , обработанных этими растворами , представлены в таблице.

Щавелева 

1,63 кислота

4510-4

583О

Перекись . водорода2,25

Остальное

Вода

3,37

28-106120

0,37 Остальное

Щавелева  кислота4О,5

55-10 4

52.70

1,47 Остальное

Предлагаемый состав обеспе«1ивает $8кими характеристиками, и безвреден и

требуемую чистоту поверхности монокрис-безопасен в работе, тогда как приметаллов , необходимую дл  изготовлени н емый состав токсичен и огнеопчконденсаторов с высокими диэлектричес-сен.

3,33

3,24

2,9

1,5

2,9

7,2 5 9986 формула изобретени  Состав дл  очистки поверхности монокристаллов титаната стронци , содержапшй органический растворитель, отличающийс  тем, что, с цельюs снижени  токсичности и огнеопасности и повышени  качества очистки он дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворител  - щавелевую кислоту следующем соотношении компонентов, мае. %:. . 14 Щавелева  кислота 1,6-40,5 Перекись водорода 0,37-2,25 Вода Остальное Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе Каратун Л. Т., Климов В, А., и Лихолетов Ю. В. Изготовление МДМструктур , на основе монокристаллов титаната стронци . Извести  ЛЭТИ им. В, И, Уль нова (Ленина), 198О, вьш. 279, с, 66 (прототип).

Claims (1)

1. формула изобретения Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, содержащий органический растворитель, отличающийся тем, что, с целью 5 снижения токсичности и огнеопасности и повышения качества очистки он дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворителя - щавелевую кислоту при W следующем соотношении компонентов, мае. %:

   Щавелевая кислота

   Перекись водорода Вода

   1,6-40,5 0,37-2,25 Остальное