Изобретение относитс .к электронной технике, а именно к споС ббам обработки катодов с автоэмиссией, ограниченность технического применени которых св зана с низкой стабильностью эмиссии электронов и низкой долговечностью автоэлектронных катодов .....The invention relates to electronic engineering, in particular, to the method of processing the cathodes with autoemission, the limited technical application of which is associated with the low stability of the emission of electrons and the low durability of autoelectronic cathodes .....
Известны способы изготовлени автоэлектронного катода, обеспечивающие снижение адсорбции атомов на эмиттируюцей поверхности за счет создани сверхвысокого вакуума либо прогрева, при котором достигаетс десорбци атомов и сглаживание микрошероховатостей Cl.Methods for manufacturing an autoelectronic cathode are known, which reduce the adsorption of atoms on the emitting surface by creating an ultrahigh vacuum or by heating, which results in the desorption of atoms and the smoothing of the microroughness of Cl.
Указанные способы технологически сложны, j-aK как требуют либо дорого- сто щей высоковакуумной техники, либо контрол степени огрублени вершины катода в процессе прогрева. В последнем случае адсорбционна активность эмиттирующей поверхности катодов снижаетс лишь временно, так что стабильность эмиссии првьиааетс несущественно . Наиболее близким к предлагаемому вл етс способ изготовлени автоэлектронных катодов, в котором дл повышени стабильности катод помещают в вакуумную с добавлением инертного газа, причем давление инертного газа на 1-2 пор дка превышает давление остаточных газов. Способ обеспечивает формирование и поддержание в процессе работы атрмно-гладкой и свободной от адсорбированных атомов поверхности С2.These methods are technologically complex, j-aK as they require either expensive high-vacuum equipment, or control of the degree of coarsening of the cathode tip in the process of heating. In the latter case, the adsorption activity of the emitting surface of the cathodes decreases only temporarily, so that the stability of the emission is not essential. The closest to the present invention is a method for manufacturing autoelectronic cathodes, in which, in order to increase stability, the cathode is placed in a vacuum with the addition of an inert gas, and the pressure of the inert gas is 1-2 times higher than the pressure of the residual gases. The method ensures the formation and maintenance of an atm-smooth and C2-free surface that is free from adsorbed atoms.
Однако, хот достигалось повыше10 ние стабильности эмиссии, долговечность катода, которую прин то было однозначно св зывать со стабильность Э1 1иссии, оставалась крайне низкой.However, although an increase in the stability of the emission was achieved, the durability of the cathode, which was unambiguously associated with the stability of the mission, remained extremely low.
1515
С помощью автоионномикроскопических исследований изучена зависимость долговечности катода от особенностей структурных изменений материала катода в приповерхностной области, Using autoionomic microscopic studies, the dependence of the cathode durability on the features of structural changes in the cathode material in the near-surface region has been studied.
20 происход пдах под действием ионной бомбардировки. На основании полученных данных показано, что низка долговечность катода в случае обработки по способу-прототипу св зана с 25 образованием в матерТ1але катода в услови х посто нного облучений нонами инертного газа газонаполненных пузырей-блистеров и взрывом их, привод щим к разрушению катода. При этом 20 events occur under the influence of ion bombardment. Based on the data obtained, it is shown that the low durability of the cathode in the case of processing by the prototype method is associated with the formation of a cathode 25 in the material under constant irradiation by non-inert gas irradiation of gas-filled blister bubbles and their explosion, leading to the destruction of the cathode. Wherein