(54) ИМПУЛЬСНЫЙ КОРПУСКУЛЯРНЫЙ МИКРОСКОП, Изофетевие относитс к микроэоцдовой технике, в частности к устройствам в их элементам дл фс мвровани и вае лиза нзофаженвй о61ъектов. Известен импульсный корпускулгрный микроскоп, содержаашй систему формировани зонда, детектор, блок формгрованв ввдеос11гнала и вадикаторный блок 1 . Недостатком этого устройства вл етс ухудшение качества изображени , вызванное флуктуацв ми тока зонда, iipih вод щими к снижению отношени с гаал/ шум, разрешающей способности и качает ва изображени . Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс импульсный корпускул рный микроскор, содержащий систему формировани зонда с апертурной диа4)агмой, отклон ющую систему последовательно соединенные детектор, блок формировани видеосигнала и индви каторный блок, а также задающий генера тор, соединешшй с отклон ющей системой и индикаторным блоком, и устройство контрол параметров аовда, подключенное к ап ггурной диа||й агме С2 . В этом микроскопе регистрируют сигнал с апертурной диафрагмой и изМен ют потенциал катода источника электронсш , чем обеспечивают стабилизацию тока зонда. Однако при этом не устран етс апериодическа расфокусировка зонда, вы ванна изменение1«( энергии частиц и не позвол юща получить высокой ющей способности. Целью изобретени вл етс дальнейшее повышение разрешающей способнооти микроскопа, Указанна цель достигаетс тем, что в импульсном кqpIIycкyлsфнoм микроскопе , содержащем систему формировани зоцда с апертурной , отклон ющую с стеълу, последовательно CO IBченные детектор, блок формировани видеосигнала , и индикаторный блок, а также задающий генератор, соединенный с отклон ющей системой и индикаторным блоком, и устройство контрол параметров зовда, подключенное к апертурной диафрагме, устройство контрол параметров зонда-«одержит усилитель, анализатор импульсов, генератор управл ющих сигналов, и блок отсечки, при этом усилитель подключен к апертурной диафрагме и соединен с анализатором иглпульсов , выходы которого соединены с генератором управл ющих сигналов с и дикаторным блоком, а выходы генератора управл ющих сигналов соединены с задак щим генератором и блоком отсечки, включенным между блоком формировани видеосигнала и индикаторным блоком. На чертеже изображена схема микроскопа , Импульсный корпускул рный микроско содержит систему формировани аонда состо щую из источника 1 электронов, апертурной диафрагмы 2 и фокусЕ5}у1Ощей линзы 3, внутри которой размещена отклон юща система 4. Вблизи объекта 5 размещен детектор 6, coeдиlieнный с блоком 7 формировани с видеосигнала, торый через блок 8 отсечки соединен с индикаторным блоком 9. К отклон ющей системе 4 подключен задающий генератор 1О, соединенный с индикаторным блоком 9. К апертурной диафрагме 2 подклк ен усилитель 11, соединенный с анализатором 12 импульсов, выходы которого соединены-с генератором 4-3 управл ющих сигналов и ивдикаторным блоком . 9. Микроскоп работает следующим обраИмпульснь1й источник 1 электронов генерирует зонд, периферийна часть которого оседает на апертурной диафрагме 2. Фокусирующа линза 3 окончательно формирует зонд, который сканируетс по поверхности объекта 5 отклон ющей сиетемой 4. Импульсы характеристического излучени регистрируютс детектором б и преобразуютс в видеосигнал в блоке 7 формировани . Далее сигнал проходит через блок отсечки , который может находитьс в двух состо ни х: отсечка и продускание, и управл етс по комавдам генератора 13 управл ющих сигналов. С выхода блока отсечки сигнал поступает на вход индикаторного блока 9, на другой вход которого поступает сигнал синзфоннзации от задающего генератора 10, В моменты формировани зонда импульсы, поступак щие с апертурной диафрагмы 2, усиливаютс в резонансном усилителе 11 и поступают в анализатор 12 импульсов, в котором происходит вьщеление тех из них, которые имеют амплитуду в заданном диапазоне. Прохождение такого км пульса сопровождаетс генерированием управл ющего сигнала с генератора 13 на входы блока 8 отсечки, задающего пенератОра 10 и индикаторного блока 9. При этом происходит дискретное изменение возбуждени отклон ющей системы 4 и перемещение зонда в следующий элемент растра, а также перевод блока 8 отсечки в состо ние пропускани . Импульсы с амплитудой, превышающей заданнь1й диапазон привод т к инерции управл ющего сигнала на состо ние отсечки блока 8. Таким образом, по контрольным сигналам с амплитудной диафрагмы в составе видеосигнала уменьшаетс шумова составл юща , обусловленна колебани ми тока источника электронов, и за счет повышени отношени сигнал/шум повы шаетс разрешающа способность анализа . Дополнительна св зь передачи управл ющего сигнала с генератора 13 на индикаторный блок 9 обеспечивает требуемый уровень.получаемой информации , поскольку середина диапазона изменени амплитуды импульсов, снимаемых с диафрагмы 2, совпадает с веро тностой амплитудой анализируемой последоательности зонда. При изменении масштаба увеличени на индикаторном блоке 9 с него может быть сн т сигнал на анализатор 12 иь пульсов , измен ющий диапазон разброса амплитуд обретено пропорционально выб ранному масштабу увеличени . Использование изобретени в технологических процессах мшфоэлектроншш позволит повысить выход годных изделий. Ф о р м у п а изобретени Импульсный корпускул рный микроскоп , содержащий систему формировани зонда с апертурной диафрагмой, отклон ющую систему, последовательно соединенные детектор, блок формировани видеосигнала и индикаторный блок, а также задающий генератор, соединенный с oiw клон ющей системой и индикаторным бло ком, и устройство контрол параметров аовда, подключенное к апертурной диафрагме , отличающийс тем, что, с целью повышени разрешающей способности микроскопа, устройство контрол параметров зонда содержит усилитель , анализатор импульсов, генератор управл ющих сигналов, и блок отсечки, при этом усилитель подключен к апер- . турной диафрагме и соединен с анализатором импульсов, выходы которого соединены с генератором управл ющих сиг68 2 налов и индикаторным, блоком, а выходы генератора управл ющих сигналов соединены с задающий генератором и блоком псечки , включенным между блоком фс мированн видеосигнала и индикаторным блоком. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1 Патент ФРГ № 2640260, кл. Н Ои 37/26, опубпик. 1978. 2. Патент Англии № 1431009, кл. Н ID , опублик. 1976 (нрототап).