SU983455A1 - Instrument for checking part surface quality - Google Patents

Instrument for checking part surface quality Download PDF

Info

Publication number
SU983455A1
SU983455A1 SU813318471A SU3318471A SU983455A1 SU 983455 A1 SU983455 A1 SU 983455A1 SU 813318471 A SU813318471 A SU 813318471A SU 3318471 A SU3318471 A SU 3318471A SU 983455 A1 SU983455 A1 SU 983455A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
screen
lens
photodetector
light
common lens
Prior art date
Application number
SU813318471A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Борис Леонидович Двинянинов
Original Assignee
Уральский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского И Конструкторского Института "Цветметавтоматика"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Уральский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского И Конструкторского Института "Цветметавтоматика" filed Critical Уральский Филиал Всесоюзного Научно-Исследовательского И Конструкторского Института "Цветметавтоматика"
Priority to SU813318471A priority Critical patent/SU983455A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU983455A1 publication Critical patent/SU983455A1/en

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  автоматического контрол  качества обработки поверхностей, преимущественно в металлургической, машиностроительной и приборостроительЪой отрасл х промышленности.The invention relates to instrumentation technology and can be used to automatically control the quality of surface treatment, mainly in the metallurgical, machine-building and instrument-making industries.

Известен прибор дл  контрол  ка .чества поверхности детали, содержащий точечный источник света, конденсор , полупрозрачную пластину, цилиндрическую линзу и два фотоприемника, включенных по автоматической компенсационной схеме. Контролируема  поверхность освещаетс  через одну половину цилиндрической линзы. Поток света, диффузно-рассе нный поверхностью в обратном направлении, собираетс  с помощью полупрозрачной пластины на один из фотоприемников. Зеркально отраженный поток света, собранный второй половиной линзы, направл етс  на другой фотоприемник 11 .A device is known for monitoring the quality of a part surface containing a point source of light, a condenser, a translucent plate, a cylindrical lens, and two photodetectors connected by an automatic compensation circuit. The controlled surface is illuminated through one half of the cylindrical lens. The flux of light diffusely scattered by the surface in the opposite direction is collected using a translucent plate on one of the photodetectors. The specularly reflected light stream collected by the second half of the lens is directed to another photodetector 11.

Недостатком данного прибора  в- л етс  необходимость точной фиксации рассто ни  от прибора до контролируемой поверхности.The disadvantage of this device is the need to accurately fix the distance from the device to the monitored surface.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс The closest to the invention to the technical essence is

прибор дл  контрол  качества поверхности детали, содержащий точечный источник света, первую и вторую полупрозрачные пластины дл  разделени  световых лучей, общуй линзу и два фотоприемника, первый из которых установлен в плоскости, оптически сопр гаемой с контролируемой поверхностью через общую линзу, а второй a device for monitoring the quality of the part surface containing a point source of light, the first and second translucent plates for dividing light rays, communicate a lens and two photodetectors, the first of which is installed in a plane optically matched to the test surface through a common lens, and the second

10 установлен перед этой плоскостью нЬ пути световых лучей, отклоненных на 90 второй полупрозрачной пластиной, и имеет экран с отверстием. Первый фотоприемник регистрирует полный све15 товой поток, принимаемый от свет щ йс  точки на контролируемой поверхности , а второй фотоприемннк с экраном - частичный световой поток от контролируемой- поверхности в мень20 шем телесном угле 2.10 is mounted in front of this plane Hb of the path of the light rays deflected 90 by the second translucent plate, and has a screen with a hole. The first photodetector registers the total light flux received from a light point on the monitored surface, and the second photodetector with a screen - a partial light flux from the monitored surface in a smaller solid angle 2.

Однако известный прибор имеет ограниченные функциональные возможности , поскольку необходимо точно фик25 сировать рассто ние до контролируемой поверхности, что не позвол ет использоватьприбор дл  контрол  движущихс  поверхностей в тех случа х, когда рассто ние между поверхностью However, the known device has limited functionality, since it is necessary to accurately fix the distance to the test surface, which does not allow the device to be used to control moving surfaces in cases where the distance between the surface

30 и прибором не остаетс  посто нным. . Целью изобретени   вл етс  расширение функциональных возможностей прибора. Эта цель достигаетс  тем, что при бор дл  контЬ ол  качества поверхн,ос ти детали, содержащий точечный источ ник света, первую и вторую полупроз рачные пластины дл  разделени  свет вых лучей, общую линзу и два фотопр емника, первый из которых установле в плоскости, оптически сопр гаемой ,с контролируемой поверхностью через общую линзу, а второй установлен пе ред этой плоскостью на пути световы лучей, отклоненных на 90° второй по лупрозрачной пластиной, и имеет экран с отверстием, снабжен дополнительной линзрй, расположенно.й между ;источником света и первой полупрозрачной пластиной так, что изображение источника света совпадает с фокусом общей линзы, сплошным экраном установленным перед первым фотоприемником , а второй фотоприемник с экраном расположён в фокусе, общей линзы. Кроме того, сплошной экран выполнен с возможностью перемещени  вдоль оптической оси общей линзы. . Сплошной экран выполнен с возможностью изменени  его геометричес ких размеров. На чертеже изображена принципиальна  схема прибора дл  контрол  качества поверхности. Прибор содержит точечный источник 1 света, первую 2 и вторую 3 полупрозрачные пластины дл  разделени  сбетовых лучей, общую линзу 4, дополнительную линзу 5,расположенную между источником 1 света и первой полупрозрачной пластиной 2 так, что изображение источника 1 света совпадает с фокусом общей линзы 4, два фотоприемника б и 7, первый из которых установлен в плоскости А-А, оптически сопр гаемой с контролируемой поверхностью череЗобщую линзу 4, а второй установлен перед этой плоскостью А-А на пути световых лучей, отклоненных на второй полупрозрачной пластиной в фокусе общей линзы 4, и имеет экран 8 с отверстием, сплошной экран У установленный перед первым фотоприемником 6. Прибор работает следующим образом Расход щийс  световой поток первичного излучени  от точечного источника 1 света с помсхцью дополнительной линзы 5, полупрозрачной плас тины 2 и общей линзы 4 преобразуетс  .в параллельный поток, направленный Jio нормали к контролируемой поверхности детали 10i Поток вторичного излучени  от свет щегос  п тна на контролируемой поверхности детали Ю после прохождени  общей линзы 4 пр евргщаетс  в сход щийс  световой поток. Одна часть этого потока проходит в сторону первого фотоприемнкка 6 со сплошным экраном 9, друга , отклоненна  полупрозрачной пластиной 3, направл етс  в сторону экрана 8 с отверстием и второго фотоприемника 7. Первый фотоприемник б регистрирует излучение, диффузнорассе нное поверхностью детали 10 под углом к нормали. Второй фотоприемник 7 регистрирует излучение, зеркально-отраженное по нормали к контролируемой поверхности детали 10. Создание параллельного нормальнопадгиощего потока первичного излучени  за счет введени  дополнительной пинзы 2, соответствующее формирование на базе этого вторичных потоков путем введени  сплошного экрана ,9 перед первым фотоприемником б и установки второго фотбприемника 7 с экрансм 8 в фокусе общей линзы 4, позвол ет значительно уменьшить дополнительную погрешность, св занную с изменением рассто ни  между прибором и контролируемой поверхностною. При изменении места установки сплошного экрана Si относительно общей линзы 4 и первого фотоприемника б, или при изменении размеров этого сплошного экрана 9 мен ютс  размер л телесного угла, ограничивающего поток диффузно-рассе нного излучени , регистрируемого первым фoтoпpиe в иком б, и, следовательно, мен етс  диапазон измер емого параметра шероховатости . Изменение места установки сплошного экрана 9 достигаетс  , например, с помощью подвижных салазок , передвигающихс  по направл ющим , установленным параллельно оптической оси общей-линзы 4, посредством стержн  с канавками, в которые BXOfftT подпружиненный шарик стопорного устройства (не показаны). Изменение размеров сплошного экрана 9 осуществл етс , например, с помощью сменных экранов, отличающихс  по размерам и установленных на подвижных салазках. Салазки перемещаюфс  по направл кнцим, установленным перпендикул рно оптической оси линзы 4, с помощью стержн  с канавками, в которые входит подпружиненный шарик стопорного устройства (не показаны), В предложенном приборе за счет 1установки дополнительной линзы 2 дла освещени  контролируемой поверхности параллельным нормально-падающим пО током света и введени  сплошного экрана 9 перед первым фотоприемником б, а также за счет установки второго фотоприемника 7 с экраном 8 в фокусе общей линзы 4 дл  формировани  и разделени  соответствующих потоков вторичного излучени , отпадает необходимос .ть поддерживать, строго посто нным рассто ние до контролируемой поверх30 and the device does not remain constant. . The aim of the invention is to expand the functionality of the device. This goal is achieved by the fact that the device for contacting the surface quality of the part, containing a point source of light, the first and second semi-translucent plates for dividing the light rays, a common lens and two photoelectric sensors, the first of which is installed in a plane, optically matched, with a controlled surface through a common lens, and the second is installed in front of this plane in the path of the light rays, deflected 90 ° by the second translucent plate, and has a screen with a hole, provided with an additional lens, located between; m first light and translucent plate such that the image of the light source coincides with the focus lens common, continuous screen installed in front of the first photodetector and the second photodetector with the screen in focus raspolozhon common lens. In addition, the solid screen is adapted to move along the optical axis of the common lens. . The solid screen is made with the possibility of changing its geometric dimensions. The drawing shows a schematic diagram of an instrument for monitoring surface quality. The device contains a point source of light 1, the first 2 and second 3 translucent plates for separating the light sources, a common lens 4, an additional lens 5 located between the light source 1 and the first semi-transparent plate 2 so that the image of the light source 1 coincides with the focus of the common lens 4 , two photodetectors b and 7, the first of which is installed in the A – A plane, optically matched to the controlled surface through a common lens 4, and the second is installed in front of this A – A plane in the path of the light rays deflected onto the second half-shell the lens plate is in focus of the common lens 4, and has a screen 8 with a hole, a solid screen U installed in front of the first photodetector 6. The device works as follows. The primary light radiation consumed from a point source of light 1 is given by an additional lens 5, a semi-transparent plate 2 and common lens 4 is converted to a parallel stream directed by Jio to the normal to the test surface of the part 10i The secondary radiation flux from the spot light on the test surface of the part Yu after passing through the common PS 4 straight evrgschaets schiys into converging light flux. One part of this flux passes in the direction of the first photodetector 6 with a continuous screen 9, the other, rejected by the semitransparent plate 3, is directed towards the screen 8 with an aperture and the second photodetector 7. The first photodetector b records the radiation diffusely scattered by the surface of the part 10 at an angle to the normal . The second photodetector 7 detects the radiation specularly reflected normal to the monitored surface of the part 10. Creating a parallel normal-flux primary radiation flux by introducing an additional pinza 2, the corresponding formation on the basis of this secondary flux by introducing a solid screen, 9 a photo receiver 7 with a screen 8 at the focus of a common lens 4, can significantly reduce the additional error associated with the change in the distance between the instrument m and controlled surface. When changing the position of the solid screen Si relative to the common lens 4 and the first photodetector b, or when the size of this solid screen 9 changes, the size l of the solid angle limits the flux of diffusely scattered radiation recorded by the first photo and in the range of the measured roughness parameter varies. Changing the installation position of the solid screen 9 is achieved, for example, by means of a movable slide, moving along rails installed parallel to the optical axis of the common lens 4, by means of a rod with grooves in which BXOfftT is a spring-loaded locking device ball (not shown). The resizing of the solid screen 9 is carried out, for example, by means of interchangeable screens, differing in size and mounted on a movable slide. The slide slides along the directions set perpendicular to the optical axis of lens 4 using a rod with grooves containing a spring-loaded locking device ball (not shown). In the proposed device, by installing an additional lens 2 to illuminate the test surface parallel to the normal-falling edge the current of light and the introduction of a continuous screen 9 in front of the first photodetector b, as well as by installing the second photodetector 7 with the screen 8 in the focus of the common lens 4 to form and separate the corresponding their secondary radiation fluxes, it is no longer necessary to maintain a strictly constant distance to be monitored over

Claims (3)

Формула изобретения ΐ1* Прибор для контроля качества поверхности детали, содержащий точечный источник света, первую и вторую полупрозрачные пластины для разделения световых лучей, общую линзу и два фотоприемника, первый из которых установлен в плоскости, оптически ^сопрягаемой с контролируемой поверхностью через общую линзу, а второй установлен перед этой плоскостью на .пути световых лучей, отклоненных на 90° второй полупрозрачной пластиной, и имеет экран с отверстием, о т л ичающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, он снабжен дополнительной линзой, расположенной между источником света й первой полупрозрачной пластиной так, что изображение источника света совпадает с фокусом'оС-пей лнизы, сплошным экраном, установленным перед первым фотоприемником, а втс10 рой фотоприемник с экраном расположен в фокусе общей линзы.SUMMARY OF THE INVENTION No. 1 * A device for monitoring the surface quality of a part, containing a point light source, first and second translucent plates for separating light rays, a common lens and two photodetectors, the first of which is mounted in a plane that is optically conjugated to the controlled surface through a common lens, and the second is mounted in front of this plane on the path of light rays deflected 90 ° by the second translucent plate, and has a screen with a hole, which is such that, in order to expand the functionality minutes, it is provided with an additional lens located between the light source th first semitransparent plate so that the image of the light source coincides with fokusom'oS Pei lnizy, continuous TV set before the first photodetector, and the photodetector vts10 swarm with a screen is located at the focus of the lens overall. 2. Прибор по п. 1, о т л и ч а reщи й с я тем, что сплошной экран выполнен с возможностью перемещения2. The device according to claim 1, with the fact that the continuous screen is made with the ability to move 15 вдоль оптической оси общей линзы.15 along the optical axis of a common lens. 3. Прибор по п. 1,0 т ли ч а тощи й с я тем, что сплошной экран выполнен с возможностью изменения его геометрических размеров.3. The device according to p. 1.0, however, the fact that the continuous screen is made with the possibility of changing its geometric dimensions. 20 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе20 Sources of information taken into account in the examination 1. Авторское свидетельство СССР » 236024, кл. G 01 В 11/30, 19.68.1. Copyright certificate of the USSR ”236024, cl. G 01 B 11/30, 19.68. 2. Заявка Великобритании2. UK application 25.№ 1513611, кл. G 1 А, 29.01.76 (прототип).25.№ 1513611, cl. G 1 A, 01.29.76 (prototype).
SU813318471A 1981-07-17 1981-07-17 Instrument for checking part surface quality SU983455A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813318471A SU983455A1 (en) 1981-07-17 1981-07-17 Instrument for checking part surface quality

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813318471A SU983455A1 (en) 1981-07-17 1981-07-17 Instrument for checking part surface quality

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU983455A1 true SU983455A1 (en) 1982-12-23

Family

ID=20969522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813318471A SU983455A1 (en) 1981-07-17 1981-07-17 Instrument for checking part surface quality

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU983455A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4810077A (en) * 1986-02-13 1989-03-07 Spectra-Tech, Inc. Grazing angle microscope

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4810077A (en) * 1986-02-13 1989-03-07 Spectra-Tech, Inc. Grazing angle microscope

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3721827A (en) Arrangement for automatically focussing an optical instrument
JP2913984B2 (en) Tilt angle measuring device
US3601613A (en) Photoelectric apparatus for determining the displacement of an object
CN100529832C (en) Mark position detection equipment
SU983455A1 (en) Instrument for checking part surface quality
US3125624A (en) Illig
US5142146A (en) High-accuracy position comparator using 2 dimensional grating
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
JP3072805B2 (en) Gap spacing measurement method
DE4339710A1 (en) Opto-electronic displacement measuring apparatus
US2709944A (en) Apparatus for accurately locating a reflecting object and for measuring its dimensions
JPS63241407A (en) Method and device for measuring depth of fine recessed part
EP0177273A2 (en) Camera for visual inspection
JPS63263412A (en) Noncontact displacement meter
JPS62502421A (en) Equipment for orienting, inspecting and/or measuring two-dimensional objects
KR100738387B1 (en) Wavefront measuring devices with off-axis illumination
SU1249324A1 (en) Device for checking roughness of surface
RU2164664C1 (en) Opticoelectronic device measuring diameters of bodies of revolution
JPH0471453B2 (en)
US3562772A (en) Measuring device
JPS6236502A (en) Microcsope for measuring minute displacement
JP2007024559A (en) Lens unit, shape detector, shape detection method, and sheet manufacturing method
USRE27817E (en) Automatic focusing apparatus using a diffusing element
SU757897A1 (en) Arrangement for measuring optronic device resolution
JPH08106040A (en) Position detector