SU970737A1 - Method of manufacturing multilayer printed circuit boards - Google Patents

Method of manufacturing multilayer printed circuit boards Download PDF

Info

Publication number
SU970737A1
SU970737A1 SU813273266A SU3273266A SU970737A1 SU 970737 A1 SU970737 A1 SU 970737A1 SU 813273266 A SU813273266 A SU 813273266A SU 3273266 A SU3273266 A SU 3273266A SU 970737 A1 SU970737 A1 SU 970737A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
technological
layers
interlayer
substrates
copper
Prior art date
Application number
SU813273266A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Франц Петрович Галецкий
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3162
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3162 filed Critical Предприятие П/Я А-3162
Priority to SU813273266A priority Critical patent/SU970737A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU970737A1 publication Critical patent/SU970737A1/en

Links

Description

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности, к производству многослойных печатных плат.The invention relates to electronics, in particular, to the production of multilayer printed circuit boards.

• Известен способ изготовления многослойных плат на диэлектрических 5 подложках, согласно которому коммутационные слои формируют путем вытравливания меди в металлическом слое, нанесенном на диэлектрическую подложку [1] . 'υ • A known method of manufacturing multilayer boards on 5 dielectric substrates, according to which the switching layers are formed by etching copper in a metal layer deposited on a dielectric substrate [1]. ' υ

Однако использование· субтрактивной технологии получения коммутационных слоев ведет к нерационально большому расходу таких металлов как медь.However, the use of subtractive technology for producing switching layers leads to irrationally high consumption of metals such as copper.

Известен способ изготовления многослойных печатных плат, который включает формирование слоев коммутации с контактными площадками для межслойных переходов на технологических метал- __ лических подложках путем осаждения металла через маску из фоторезиста, удаление фоторезиста, последовательное напрессовывание пары слоев коммутации через диэлектрические адгезивные прокладки, механическое отслоение 25 технологических металлических подложек и формирование металлизированных межслойных отверстий [2].A known method of manufacturing multilayer printed circuit boards, which includes the formation of switching layers with contact pads for interlayer transitions on technological metal __ substrates by depositing metal through a mask from a photoresist, removing the photoresist, sequentially pressing a pair of switching layers through dielectric adhesive pads, mechanical peeling 25 technological metal substrates and the formation of metallized interlayer holes [2].

Этот способ решает вопрос экономии меди, однако формирование сквоз- 30 ных металлизированных отверстий не позволяет получать высокой плотности разводки коммутации из-за того, что с увеличением толщины пакета должен возрастать диаметр межслойных отверстий, чтобы обеспечить надежную металлизацию стенок отверстия. Кроме того, при механическом отслаивании технологической металлической подложки после припрессовывания слоев коммутации из-за разной адгезионной способности поверхности проводников коммутации и диэлектрической адгезивной прокладки происходит неравномерное отслаивание этих элементов, что приводит к снижению качества плат.This method solves the issue of saving copper, however, the formation of through 30 metallized holes does not allow to obtain a high switching wiring density due to the fact that the diameter of the interlayer holes should increase with increasing thickness of the packet to ensure reliable metallization of the hole walls. In addition, during mechanical peeling of the technological metal substrate after pressing the switching layers, due to the different adhesive ability of the surface of the switching conductors and the dielectric adhesive strip, these elements are unevenly peeled, which leads to a decrease in the quality of the boards.

Цель изобретения - повышение плотности коммутации и качества плат.The purpose of the invention is to increase the density of switching and quality boards.

Эта цель достигается тем, что в способе изготовления многослойных плат, включающем формирование слоев коммутации с контактными площадками для межслойных переходов на технологических металлических подложках путем осаждения металла через маску из фоторезиста, удаление фоторезиста,·· последовательное напрессовывание пары слоев коммутации через диэлектрические адгезивные .прокладки, механическое отслоение технологических металлических подложек и формирование межслойных отверстий, перед формированием слоев коммутации на технологические металлические подложки наносят промежуточный слой металла, при формировании слоев коммутации в 5 контактных площадках для межслойных переходов вскрывают окна, межслойные отверстия формируют после механичес* кого отслоения технологических металлических подложек с каждой пары на- 1Q прессованных слоев коммутации путем травления диэлектрических адгезивных прокладок в окнах контактных площадок, а после формирования межслойных отверстий промежуточный слой метал- 15 ла удаляют.This goal is achieved by the fact that in a method of manufacturing multilayer boards, including the formation of switching layers with contact pads for interlayer transitions on technological metal substrates by depositing metal through a mask from a photoresist, removing the photoresist, ·· sequentially pressing a pair of switching layers through dielectric adhesive pads, mechanical detachment of technological metal substrates and the formation of interlayer holes, before the formation of layers of switching on technological When the formation of the switching layers in 5 contact pads for interlayer transitions, windows are opened, the interlayer holes are formed after mechanical peeling of the technological metal substrates from each pair of 1Q pressed switching layers by etching dielectric adhesive pads in the contact windows sites, and after the formation of interlayer holes, the intermediate layer of metal 15 уда is removed.

На фиг. 1-5 приведена последовательность основных технологических операций изготовления многослойных печатных плат предлагаемым способом,In FIG. 1-5 shows the sequence of basic technological operations of manufacturing multilayer printed circuit boards of the proposed method,

На технологические подложки 1 из нержавеющей стали толщиной 0,25-1 мм наносят электрохимическим осаждением в сернокислой ванне меднения тонкий промежуточный слой 2 меди тоЛциной __ 2-5 мкм, на который наслаивают пленоч·^3 ный фоторезист 3 СПФ-2 толщиной 40 60 мкм (фиг. 11In the process of the substrate 1 made of stainless steel 0.25-1 mm thick is applied by electrochemical deposition in a sulfuric acid copper plating bath thin intermediate layer 2 is copper toLtsinoy __ 2-5 microns which is laminated plenoch · ^ ny photoresist 3 SMA 3 2 40 60 microns thick (Fig. 11

Фотохимическим методом формируют , в фоторезисте рисунки проводников, после чего электрохимическим осажде- 30 нием меди в сернокислой ванне меднения получают контактные площадки 4 сквозных переходов и контактные площадки 5 для межслойных переходов с окнами 6 (фиг. 2), а также ри-' 35 сунки проводников на других технологических подложках.Using the photochemical method, wire patterns are formed in the photoresist, after which electrochemical deposition of copper in the copper sulphate copper bath produces contact pads 4 through passages and contact pads 5 for interlayer transitions with windows 6 (Fig. 2), as well as Fig. 35 conductors on other technological substrates.

С помощью диэлектрической адгезивной прокладки 7 (стеклотекстолит СПТ-3-0,025) спрессовывают внут- 4Q ренние слои пакета с проводниками 8 и 9( снимают механическим отслаиванием технологические подложки и удаляют тонкНй слой меди.Using the dielectric adhesive pad 7 (fiberglass SPT-3-0.025), the inner layers of the bag with conductors 8 and 9 are pressed together (the technological substrates are removed by mechanical peeling and a thin copper layer is removed.

Далее с помощью диэлектрических адгезивных прокладок 10 (СПТ-3-0,025)4 припрессовывают к полученной струкг туре.слои с контактными площадками 5 на технологических подложках 1 й удаляют технологические подложки (фиг. 3). После этого методом фото- 50 химии вскрывают окна 11 в тонком слое меди в местах мёжслойных переходов и травят диэлектрические адгезивные прокладки в окнах контактных площадок (фиг. 4), получая межслойные 55 отверстия 12. Химическим и электрохимическим меднением металлизируют полученные отверстия, получая межслойные переходы 13, после чего удаляют тонкий слой меди с пробельных 60 мест наружных слоев (фиг. 5).Next, using dielectric adhesive pads 10 (SPT-3-0.025) 4, they are pressed onto the obtained structure. Layers with contact pads 5 on technological substrates 1 remove technological substrates (Fig. 3). After that, the method 11 opens the windows 11 in a thin layer of copper in the places of the interlayer transitions and etches the dielectric adhesive pads in the windows of the contact pads (Fig. 4), obtaining 55 interlayer holes 12. The holes are metallized by chemical and electrochemical copper plating, obtaining interlayer transitions 13, after which a thin layer of copper is removed from the whitespace 60 of the outer layers (Fig. 5).

Подобным образом производят попарное нарачщвание слоев коммутации пе чатной платы до заданного количества слоев.In a similar manner, the layer-wise increase of layers of the printed circuit board switching is performed up to a given number of layers.

Для выполнения предлагаемого технологического процесса используется оборудование, применяемое в производстве стандартных печатных плат.Дополнительно введена специализированная оснастка для совмещения рисунков проводников на технологических металлических подложках и прессования слоев на технологических металлических подложках.To implement the proposed technological process, equipment used in the production of standard printed circuit boards is used. In addition, specialized equipment has been introduced for combining the patterns of conductors on technological metal substrates and pressing layers on technological metal substrates.

Режимы технологических процессов, а именно химического и электрохимического осаждения меди, травления диэлектрика соответствуют типовым технологическим процессам ОСТ 4.ГО.054.223.The modes of technological processes, namely, chemical and electrochemical deposition of copper, etching of a dielectric correspond to standard technological processes OST 4.GO.054.223.

Использование предлагаемого способа позволяет получать качественные многослойные платы с высокой плотностью коммутации.Using the proposed method allows to obtain high-quality multilayer boards with high switching density.

Claims (2)

металлических подложек и формирование межслойных отверстий, перед формированием слоев коммутации на технологические метё1ллические подложки нанос т промежуточный слой металла, при формировании слоев коммутации в контактных площадках дл  межслойных переходов вскрывают окна, межслойные отверсти  формируют после механичес кого отслоени  технологических метал лических подложек с каждой пары напрессованных слоев .коммутации путем травлени  диэлектрических адгезивных прокладок в окнах контактных площадок , а после формировани  межслойных отверстий промежуточный слой металла удал ют. На фиг. 1-5 приведена последова тельность основных технологических операций изготовлени  многослойных печатных плат предлагаемым способом На технологические подложки 1 из нержавеющей стали толщиной 0,25-1 Мм нанос т электрохимическим осаждением в сернокислой ванне меднени  тонкий промежуточный слой 2 меди тoJ цинoй 2-5 мкм, на который наслаивают плено ный фоторезист 3 СПФ-2 толщиной 40 60 мкм (фиг. IX Фотохимическим методом формируют в фоторезисте рисунки проводников, после чего электрохимическим осаждением меди в сернокислой ванне меднени  получают контактные площадки сквозных переходов и контактные площадки 5 дл  межслойных переходов с окнами б Сфиг. 2), а также рисунки проводников на других технологических подложках. С помощью диэлектрической адгезлвной прокладки 7 (стеклотекстолит СПТ-3-0,025) спрессовывают внут ренние слои пакета с проводниками и 9)снимают механическим отслаивани ем технологические подложки и удал ют тонкий слой меди. Далее с помощью диэлектрических адгезивных прокладок 10 (С11Т-3-0,02 припрессовывают к полученной струкг туре.слои с контактными площадками 5 на технологических подложках 1 и удал ют технологические подложки (фиг. 3), После этого методом фотохимии вскрывают окна 11 в тонком слое меди в местах межслойных перех дов и трав т диэлектрические; адгези ные прокладки в окнах контактных пл щадок (фиг. 4), получа  межслойные отверсти  12. Химическим и электрохимическим меднением металлизируют полученные отверсти , получа  межслойные переходы 13, после чего уда л ют тонкий слой меди с пробельных мест наружных слоев (фиг. 5). Подобным образом производ т попа ное нарач вание слоев коммутации пе чатной платы до заданного количества слоев. Дл  выполнени  предлагаемого технологического процесса используетс  оборудование, примен емое в производстве стандартнЕлх печатных плат.Дополнительно введена специализированна  оснастка дл  совмещени  рисунков проводников на технологических металлических подложках и прессовани  слоев на технологических металлических подложках. Режимы технологических процессов, а именно химического и электрохимического осаждени  меди, травлени  диэлектрика соответствуют типовым технологическим процессам ОСТ 4.ГО.054.223. Использование предлагаемого способа позвол ет получать качественные многослойные платы с высокой плотностью коммутации. Формула изобретени  Способ изготовлени  многослойных печатных плат, включающий формирование слоев коммутации с контактными площадками дл  межслойных переходов на технологических металлических п дложках путем осаждени  металла через маску из фоторезиста, удаление фоторезиста , последовательное напрессовывание пары слоев коммутации через диэлектрические адгезивные прокладки, механическое отслоение технологических металлических подложек и формирование межслойных отверстий, о т л .ичающййс  тем, что, с целью повышени  плотности коммутации и качества плат, перед формированием слоев ,коммутации на технологические металлические подложки нанос т промежуточный слой металла,.при формировании слоев коммутации в контактных площадках дл  межслойных переходов вскрывают окна, межслойные отверсти  формируют после механического отслоени  технологических металлических подложек с каждой пары напрессованных слоев коммутации путем травлени  диэлектрических адгезивных прокладок в окнах контактных площадок, а после формировани  межслойных отверстий промежуточный слой металла удал ют. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Ханке ХгИ., Фабйан X. Технологи  производства радиоэлектронной аппаратуры. Под ред. В.Н.Черн ева.. М., Энерги , 1980, с. 158-168. metal substrates and the formation of interlayer holes, before the formation of switching layers on the technological metal substrates, an intermediate metal layer is applied; when forming the switching layers in the contact areas for interlayer transitions, the windows are opened, the interlayer holes are formed after the mechanical detachment of the technological metal substrates from each pair of pressed layers Commutation by etching dielectric adhesive pads in the windows of the contact pads, and after forming inters The luar holes of the intermediate metal layer are removed. FIG. 1-5 shows the sequence of the main technological operations for the manufacture of multilayer printed circuit boards by the proposed method. On technological substrates 1 of stainless steel with a thickness of 0.25-1 Mm, a thin intermediate layer 2 of copper of 2-5 microns is deposited by electrochemical deposition in a copper sulfate bath. which overlay the foamed photoresist 3 of SPF-2 with a thickness of 40– 60 μm (Fig. IX), in the photoresist, patterns of conductors are formed, after which, by electrochemical deposition of copper in copper sulfate, contact pads of through transitions and contact pads 5 for interlayer transitions with windows (Fig. 2), as well as drawings of conductors on other technological substrates. Using a dielectric adhesive strip 7 (glass fiber SPT-3-0.025), the inner layers of the package with conductors are pressed and 9) the technological substrates are removed by mechanical peeling and the thin layer of copper is removed. Next, using dielectric adhesive pads 10 (C11T-3-0.02, they are pressed to the structure obtained. Layers with contact pads 5 on technological substrates 1 and technological substrates are removed (Fig. 3). After this, the windows 11 in thin a layer of copper in the places of interlayer transitions and dielectric diets; adhesive pads in the windows of contact pads (Fig. 4), producing interlayer openings 12. Chemical and electrochemical copper plating metallize the openings, obtaining interlayer transitions 13, after which A thin layer of copper is removed from the gap spaces of the outer layers (Fig. 5). Similarly, the accumulation of the commutation commutation layers of the printed circuit board to a predetermined number of layers is carried out in a similar way. The equipment used in the production of standard printed circuit boards is used to perform the proposed technological process. . In addition, specialized equipment was introduced to align the patterns of conductors on technological metal substrates and to press the layers on technological metal substrates. The modes of technological processes, namely, chemical and electrochemical deposition of copper, etching of the dielectric correspond to typical technological processes OST 4.GO.054.223. Using the proposed method allows to obtain high-quality multilayer boards with high switching density. Claims The method of manufacturing multilayer printed circuit boards, including the formation of switching layers with contact pads for interlayer transitions on technological metal plates by depositing metal through a photoresist mask, removing a photoresist, sequentially pressing a pair of switching layers through dielectric adhesive pads, mechanically peeling off technological metal substrates and the formation of interlayer openings, about t l. due to the fact that, in order to increase the density of The switching and quality of the boards, before forming the layers, switching on the technological metal substrates, put an intermediate metal layer. When forming the switching layers in the contact pads for interlayer transitions, the windows are opened, the interlayer holes are formed after mechanical detachment of the technological metal substrates from each pair of pressed layers of switching by etching dielectric adhesive pads in the windows of the contact pads, and after forming the interlayer openings the intermediate layer the metal is removed. Sources of information taken into account in the examination 1. Hanki HGI., Fabian X. Technologists of the production of electronic equipment. Ed. VN Chernova ev., M., Energie, 1980, p. 158-168. 2.Патент Японии 54-35670, кл. 59 G 4,05.11.79 (прототип).2. The patent of Japan 54-35670, cl. 59 G 4.05.11.79 (prototype). 12 fфиг . 12 fig.
SU813273266A 1981-04-10 1981-04-10 Method of manufacturing multilayer printed circuit boards SU970737A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813273266A SU970737A1 (en) 1981-04-10 1981-04-10 Method of manufacturing multilayer printed circuit boards

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813273266A SU970737A1 (en) 1981-04-10 1981-04-10 Method of manufacturing multilayer printed circuit boards

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU970737A1 true SU970737A1 (en) 1982-10-30

Family

ID=20952510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813273266A SU970737A1 (en) 1981-04-10 1981-04-10 Method of manufacturing multilayer printed circuit boards

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU970737A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4606787A (en) * 1982-03-04 1986-08-19 Etd Technology, Inc. Method and apparatus for manufacturing multi layer printed circuit boards
DE4422216A1 (en) * 1993-06-25 1995-01-05 Fuji Electric Co Ltd Multilayer metallic printed circuit board and a cast component

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4606787A (en) * 1982-03-04 1986-08-19 Etd Technology, Inc. Method and apparatus for manufacturing multi layer printed circuit boards
DE4422216A1 (en) * 1993-06-25 1995-01-05 Fuji Electric Co Ltd Multilayer metallic printed circuit board and a cast component
US5672414A (en) * 1993-06-25 1997-09-30 Fuji Electric Co., Ltd. Multilayered printed board structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3672986A (en) Metallization of insulating substrates
US6486394B1 (en) Process for producing connecting conductors
US4889584A (en) Method of producing conductor circuit boards
KR100427794B1 (en) Method of manufacturing multilayer wiring board
US5985521A (en) Method for forming electrically conductive layers on chip carrier substrates having through holes or via holes
KR920005070B1 (en) Method of manufacturing double sided wiring substrate
US5680701A (en) Fabrication process for circuit boards
CN114222434B (en) Manufacturing method of ladder circuit and circuit board
US5733468A (en) Pattern plating method for fabricating printed circuit boards
JP4060629B2 (en) Method for forming plated through hole and method for manufacturing multilayer wiring board
GB2086139A (en) Method of producing printed circuit boards with holes having metallized walls
US3798060A (en) Methods for fabricating ceramic circuit boards with conductive through holes
JP4488187B2 (en) Method for manufacturing substrate having via hole
US7135119B2 (en) Method for making a multilayer module with high-density printed circuits
SU970737A1 (en) Method of manufacturing multilayer printed circuit boards
JP3075484B2 (en) Manufacturing method of printed wiring board
JPH04100294A (en) Manufacture of printed wiring board
JPH05327224A (en) Manufacture of multilayer wiring board and multi-layer wiring board manufactured by the manufacture
JPS58305Y2 (en) Substrate for printed wiring board with metal core
JPH0469838B2 (en)
JPH06244528A (en) Manufacture of printed-wiring board
JPS59106191A (en) Method of producing circuit board with through hole
JPH02164094A (en) Manufacture of printed wiring board
SU1056484A2 (en) Process for manufacturing multilayer printed circuit boards
JPH05299836A (en) Printed wiring board and manufacture thereof