SU970737A1 - Method of manufacturing multilayer printed circuit boards - Google Patents
Method of manufacturing multilayer printed circuit boards Download PDFInfo
- Publication number
- SU970737A1 SU970737A1 SU813273266A SU3273266A SU970737A1 SU 970737 A1 SU970737 A1 SU 970737A1 SU 813273266 A SU813273266 A SU 813273266A SU 3273266 A SU3273266 A SU 3273266A SU 970737 A1 SU970737 A1 SU 970737A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- technological
- layers
- interlayer
- substrates
- copper
- Prior art date
Links
Description
Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности, к производству многослойных печатных плат.The invention relates to electronics, in particular, to the production of multilayer printed circuit boards.
• Известен способ изготовления многослойных плат на диэлектрических 5 подложках, согласно которому коммутационные слои формируют путем вытравливания меди в металлическом слое, нанесенном на диэлектрическую подложку [1] . 'υ • A known method of manufacturing multilayer boards on 5 dielectric substrates, according to which the switching layers are formed by etching copper in a metal layer deposited on a dielectric substrate [1]. ' υ
Однако использование· субтрактивной технологии получения коммутационных слоев ведет к нерационально большому расходу таких металлов как медь.However, the use of subtractive technology for producing switching layers leads to irrationally high consumption of metals such as copper.
Известен способ изготовления многослойных печатных плат, который включает формирование слоев коммутации с контактными площадками для межслойных переходов на технологических метал- __ лических подложках путем осаждения металла через маску из фоторезиста, удаление фоторезиста, последовательное напрессовывание пары слоев коммутации через диэлектрические адгезивные прокладки, механическое отслоение 25 технологических металлических подложек и формирование металлизированных межслойных отверстий [2].A known method of manufacturing multilayer printed circuit boards, which includes the formation of switching layers with contact pads for interlayer transitions on technological metal __ substrates by depositing metal through a mask from a photoresist, removing the photoresist, sequentially pressing a pair of switching layers through dielectric adhesive pads, mechanical peeling 25 technological metal substrates and the formation of metallized interlayer holes [2].
Этот способ решает вопрос экономии меди, однако формирование сквоз- 30 ных металлизированных отверстий не позволяет получать высокой плотности разводки коммутации из-за того, что с увеличением толщины пакета должен возрастать диаметр межслойных отверстий, чтобы обеспечить надежную металлизацию стенок отверстия. Кроме того, при механическом отслаивании технологической металлической подложки после припрессовывания слоев коммутации из-за разной адгезионной способности поверхности проводников коммутации и диэлектрической адгезивной прокладки происходит неравномерное отслаивание этих элементов, что приводит к снижению качества плат.This method solves the issue of saving copper, however, the formation of through 30 metallized holes does not allow to obtain a high switching wiring density due to the fact that the diameter of the interlayer holes should increase with increasing thickness of the packet to ensure reliable metallization of the hole walls. In addition, during mechanical peeling of the technological metal substrate after pressing the switching layers, due to the different adhesive ability of the surface of the switching conductors and the dielectric adhesive strip, these elements are unevenly peeled, which leads to a decrease in the quality of the boards.
Цель изобретения - повышение плотности коммутации и качества плат.The purpose of the invention is to increase the density of switching and quality boards.
Эта цель достигается тем, что в способе изготовления многослойных плат, включающем формирование слоев коммутации с контактными площадками для межслойных переходов на технологических металлических подложках путем осаждения металла через маску из фоторезиста, удаление фоторезиста,·· последовательное напрессовывание пары слоев коммутации через диэлектрические адгезивные .прокладки, механическое отслоение технологических металлических подложек и формирование межслойных отверстий, перед формированием слоев коммутации на технологические металлические подложки наносят промежуточный слой металла, при формировании слоев коммутации в 5 контактных площадках для межслойных переходов вскрывают окна, межслойные отверстия формируют после механичес* кого отслоения технологических металлических подложек с каждой пары на- 1Q прессованных слоев коммутации путем травления диэлектрических адгезивных прокладок в окнах контактных площадок, а после формирования межслойных отверстий промежуточный слой метал- 15 ла удаляют.This goal is achieved by the fact that in a method of manufacturing multilayer boards, including the formation of switching layers with contact pads for interlayer transitions on technological metal substrates by depositing metal through a mask from a photoresist, removing the photoresist, ·· sequentially pressing a pair of switching layers through dielectric adhesive pads, mechanical detachment of technological metal substrates and the formation of interlayer holes, before the formation of layers of switching on technological When the formation of the switching layers in 5 contact pads for interlayer transitions, windows are opened, the interlayer holes are formed after mechanical peeling of the technological metal substrates from each pair of 1Q pressed switching layers by etching dielectric adhesive pads in the contact windows sites, and after the formation of interlayer holes, the intermediate layer of metal 15 уда is removed.
На фиг. 1-5 приведена последовательность основных технологических операций изготовления многослойных печатных плат предлагаемым способом,In FIG. 1-5 shows the sequence of basic technological operations of manufacturing multilayer printed circuit boards of the proposed method,
На технологические подложки 1 из нержавеющей стали толщиной 0,25-1 мм наносят электрохимическим осаждением в сернокислой ванне меднения тонкий промежуточный слой 2 меди тоЛциной __ 2-5 мкм, на который наслаивают пленоч·^3 ный фоторезист 3 СПФ-2 толщиной 40 60 мкм (фиг. 11In the process of the substrate 1 made of stainless steel 0.25-1 mm thick is applied by electrochemical deposition in a sulfuric acid copper plating bath thin intermediate layer 2 is copper toLtsinoy __ 2-5 microns which is laminated plenoch · ^ ny photoresist 3 SMA 3 2 40 60 microns thick (Fig. 11
Фотохимическим методом формируют , в фоторезисте рисунки проводников, после чего электрохимическим осажде- 30 нием меди в сернокислой ванне меднения получают контактные площадки 4 сквозных переходов и контактные площадки 5 для межслойных переходов с окнами 6 (фиг. 2), а также ри-' 35 сунки проводников на других технологических подложках.Using the photochemical method, wire patterns are formed in the photoresist, after which electrochemical deposition of copper in the copper sulphate copper bath produces contact pads 4 through passages and contact pads 5 for interlayer transitions with windows 6 (Fig. 2), as well as Fig. 35 conductors on other technological substrates.
С помощью диэлектрической адгезивной прокладки 7 (стеклотекстолит СПТ-3-0,025) спрессовывают внут- 4Q ренние слои пакета с проводниками 8 и 9( снимают механическим отслаиванием технологические подложки и удаляют тонкНй слой меди.Using the dielectric adhesive pad 7 (fiberglass SPT-3-0.025), the inner layers of the bag with conductors 8 and 9 are pressed together (the technological substrates are removed by mechanical peeling and a thin copper layer is removed.
Далее с помощью диэлектрических адгезивных прокладок 10 (СПТ-3-0,025)4 припрессовывают к полученной струкг туре.слои с контактными площадками 5 на технологических подложках 1 й удаляют технологические подложки (фиг. 3). После этого методом фото- 50 химии вскрывают окна 11 в тонком слое меди в местах мёжслойных переходов и травят диэлектрические адгезивные прокладки в окнах контактных площадок (фиг. 4), получая межслойные 55 отверстия 12. Химическим и электрохимическим меднением металлизируют полученные отверстия, получая межслойные переходы 13, после чего удаляют тонкий слой меди с пробельных 60 мест наружных слоев (фиг. 5).Next, using dielectric adhesive pads 10 (SPT-3-0.025) 4, they are pressed onto the obtained structure. Layers with contact pads 5 on technological substrates 1 remove technological substrates (Fig. 3). After that, the method 11 opens the windows 11 in a thin layer of copper in the places of the interlayer transitions and etches the dielectric adhesive pads in the windows of the contact pads (Fig. 4), obtaining 55 interlayer holes 12. The holes are metallized by chemical and electrochemical copper plating, obtaining interlayer transitions 13, after which a thin layer of copper is removed from the whitespace 60 of the outer layers (Fig. 5).
Подобным образом производят попарное нарачщвание слоев коммутации пе чатной платы до заданного количества слоев.In a similar manner, the layer-wise increase of layers of the printed circuit board switching is performed up to a given number of layers.
Для выполнения предлагаемого технологического процесса используется оборудование, применяемое в производстве стандартных печатных плат.Дополнительно введена специализированная оснастка для совмещения рисунков проводников на технологических металлических подложках и прессования слоев на технологических металлических подложках.To implement the proposed technological process, equipment used in the production of standard printed circuit boards is used. In addition, specialized equipment has been introduced for combining the patterns of conductors on technological metal substrates and pressing layers on technological metal substrates.
Режимы технологических процессов, а именно химического и электрохимического осаждения меди, травления диэлектрика соответствуют типовым технологическим процессам ОСТ 4.ГО.054.223.The modes of technological processes, namely, chemical and electrochemical deposition of copper, etching of a dielectric correspond to standard technological processes OST 4.GO.054.223.
Использование предлагаемого способа позволяет получать качественные многослойные платы с высокой плотностью коммутации.Using the proposed method allows to obtain high-quality multilayer boards with high switching density.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813273266A SU970737A1 (en) | 1981-04-10 | 1981-04-10 | Method of manufacturing multilayer printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813273266A SU970737A1 (en) | 1981-04-10 | 1981-04-10 | Method of manufacturing multilayer printed circuit boards |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU970737A1 true SU970737A1 (en) | 1982-10-30 |
Family
ID=20952510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813273266A SU970737A1 (en) | 1981-04-10 | 1981-04-10 | Method of manufacturing multilayer printed circuit boards |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU970737A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4606787A (en) * | 1982-03-04 | 1986-08-19 | Etd Technology, Inc. | Method and apparatus for manufacturing multi layer printed circuit boards |
DE4422216A1 (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-05 | Fuji Electric Co Ltd | Multilayer metallic printed circuit board and a cast component |
-
1981
- 1981-04-10 SU SU813273266A patent/SU970737A1/en active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4606787A (en) * | 1982-03-04 | 1986-08-19 | Etd Technology, Inc. | Method and apparatus for manufacturing multi layer printed circuit boards |
DE4422216A1 (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-05 | Fuji Electric Co Ltd | Multilayer metallic printed circuit board and a cast component |
US5672414A (en) * | 1993-06-25 | 1997-09-30 | Fuji Electric Co., Ltd. | Multilayered printed board structure |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3672986A (en) | Metallization of insulating substrates | |
US6486394B1 (en) | Process for producing connecting conductors | |
US4889584A (en) | Method of producing conductor circuit boards | |
KR100427794B1 (en) | Method of manufacturing multilayer wiring board | |
US5985521A (en) | Method for forming electrically conductive layers on chip carrier substrates having through holes or via holes | |
KR920005070B1 (en) | Method of manufacturing double sided wiring substrate | |
US5680701A (en) | Fabrication process for circuit boards | |
CN114222434B (en) | Manufacturing method of ladder circuit and circuit board | |
US5733468A (en) | Pattern plating method for fabricating printed circuit boards | |
JP4060629B2 (en) | Method for forming plated through hole and method for manufacturing multilayer wiring board | |
GB2086139A (en) | Method of producing printed circuit boards with holes having metallized walls | |
US3798060A (en) | Methods for fabricating ceramic circuit boards with conductive through holes | |
JP4488187B2 (en) | Method for manufacturing substrate having via hole | |
US7135119B2 (en) | Method for making a multilayer module with high-density printed circuits | |
SU970737A1 (en) | Method of manufacturing multilayer printed circuit boards | |
JP3075484B2 (en) | Manufacturing method of printed wiring board | |
JPH04100294A (en) | Manufacture of printed wiring board | |
JPH05327224A (en) | Manufacture of multilayer wiring board and multi-layer wiring board manufactured by the manufacture | |
JPS58305Y2 (en) | Substrate for printed wiring board with metal core | |
JPH0469838B2 (en) | ||
JPH06244528A (en) | Manufacture of printed-wiring board | |
JPS59106191A (en) | Method of producing circuit board with through hole | |
JPH02164094A (en) | Manufacture of printed wiring board | |
SU1056484A2 (en) | Process for manufacturing multilayer printed circuit boards | |
JPH05299836A (en) | Printed wiring board and manufacture thereof |