SU968609A1 - Устройство дл измерени площади - Google Patents
Устройство дл измерени площади Download PDFInfo
- Publication number
- SU968609A1 SU968609A1 SU803002836A SU3002836A SU968609A1 SU 968609 A1 SU968609 A1 SU 968609A1 SU 803002836 A SU803002836 A SU 803002836A SU 3002836 A SU3002836 A SU 3002836A SU 968609 A1 SU968609 A1 SU 968609A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring device
- area measuring
- pulse generator
- scanning unit
- area
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , например, при контроле полупроводниковых пластин,.
Известно устройство дл измерени площади, содержсццие измеритель-и диск Кинкова дл осуществлени световой развертки 1 .
Однако это устройство обладает невысокой точностью, обусловленной малым числом строк сканировани .
Наиболее близким к изобретению вл етс устройство дл измерени площади, содержащее последовательно установленные источник света,диафрагму , узел сканировани и :фотоприемник , генератор счетных импульсов и счетчик импульсов, св занный с выходами фотоприемника и генератора импульсов,
В известном устройстве узел сканировани выполнен в виде конвейер .ной ленты и вращающегос барабана со щелью, оптически св занного с набором световодов 2.
Недостаток известного устройства невысока точность измерений (,5%) из-за ограниченного числа элементов разложени в строкеi
Цель изобретени - повышение точности измерений..
Эта цель достигаетс тем, что устройство дл измерени площади полупроводниковых пластин, содержащее последовательно установленные источник света, диафрагму, узел сканировани и фотоприемнйк, генератор счетных импульсов и счетчик импуль10 сов, св занный с выходами фотоприемника и генератора импульсов, снабжено фотоэлектрическим генератором управл ющих импульсов, св занным со счетчиком импульсов, а узел сканиро15 вани выполнен в виде двух кинемати;Ческих св занных между собой соосно расположенных ди.сков, установленных с возможностью вращени вокруг оси,
в одном из дисков выполнены отверсти 20 размещенные .по многовитковой спирали, ;в другом выполнена щель в виде одно .витковой спирали, расположенной напротив отверстий/в первом диске,
25 На фиг. 1 изображена оптико-кинеч матическа схема устройства; на фиг. 2 - схематический вид дисков; на фиг. 3 - структурна схема одного из вариантов выполнени электронной
Claims (2)
1. Патент США 2184160, кл. 356-158, 1939. I
2. Патент ФРГ 1249539, кл. 42 с 13, 1968 (прототип;
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU803002836A SU968609A1 (ru) | 1980-11-13 | 1980-11-13 | Устройство дл измерени площади |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU803002836A SU968609A1 (ru) | 1980-11-13 | 1980-11-13 | Устройство дл измерени площади |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU968609A1 true SU968609A1 (ru) | 1982-10-23 |
Family
ID=20925564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU803002836A SU968609A1 (ru) | 1980-11-13 | 1980-11-13 | Устройство дл измерени площади |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU968609A1 (ru) |
-
1980
- 1980-11-13 SU SU803002836A patent/SU968609A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS56103304A (en) | Electro optical inspecting device | |
| ATE72325T1 (de) | Fotoelektrische messeinrichtung. | |
| AU6215186A (en) | Displacement measurement | |
| US3589816A (en) | Apparatus for detecting imperfections on a web | |
| SU968609A1 (ru) | Устройство дл измерени площади | |
| US3782833A (en) | Method and apparatus for measuring area | |
| SU993774A1 (ru) | Устройство дл измерени электропоглощени и электроотражени света (его варианты) | |
| RU2073897C1 (ru) | Гравитационный вариометр | |
| SU881588A1 (ru) | Оптомолекул рный гигрометр | |
| RU2060459C1 (ru) | Устройство для измерения площади | |
| JPS5750606A (en) | Solar sensor | |
| JPS5640738A (en) | Mft inspection device | |
| SU1552007A1 (ru) | Устройство определени координат светового п тна | |
| JPS57157105A (en) | Device for measuring thickness of thin film | |
| SU801010A1 (ru) | Устройство дл измерени диаметрабРЕВЕН пРи пОдСчЕТЕ Об'ЕМАВыРАбОТКи | |
| SU1659795A1 (ru) | Фотометр дл сканировани небосвода | |
| SU1613957A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости и длины прот женного объекта | |
| SU1388482A1 (ru) | Устройство дл контрол линейной плотности волокнистого продукта | |
| SU1379616A2 (ru) | Фотоэлектрический датчик угловых перемещений | |
| SU723390A1 (ru) | Фотометрический шар дл абсолютных измерений | |
| SU1696860A1 (ru) | Устройство дл измерени несоосности | |
| SU347602A1 (ru) | ||
| EP0075422A3 (en) | Measuring performance of reflex reflectors | |
| SU1562794A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента отражени поверхностей | |
| RU94042213A (ru) | Оптико-электронный измеритель угловых скоростей и ускорений |