SU961000A1 - Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени - Google Patents

Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени Download PDF

Info

Publication number
SU961000A1
SU961000A1 SU813247989A SU3247989A SU961000A1 SU 961000 A1 SU961000 A1 SU 961000A1 SU 813247989 A SU813247989 A SU 813247989A SU 3247989 A SU3247989 A SU 3247989A SU 961000 A1 SU961000 A1 SU 961000A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
layer
oxygen
target
dark current
photoconductive layer
Prior art date
Application number
SU813247989A
Other languages
English (en)
Inventor
Петр Петрович Зефиров
Original Assignee
Организация П/Я М-5273
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Организация П/Я М-5273 filed Critical Организация П/Я М-5273
Priority to SU813247989A priority Critical patent/SU961000A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU961000A1 publication Critical patent/SU961000A1/ru

Links

Landscapes

  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

(54) МИШЕНЬ ТЕЛЕВИЗИОННОЙ ПЕРЕДАЮЩЕЙ ТРУБКИ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Claims (2)

  1. Изобретение относи ге  к элекгронике, в .частности., к передающим гёлевизионным трубкам, в мишен х которых используютс  фоточувствительные слои из селена с присадками мышь ка и других эле ментов. Известна мишень видикона, включающа  фото провод щий слой, выполненный на основе селена с присадками мышь ка и теллура толщиной 4 мкм и диэлектрическую прослойку из двуокиси цери  толщиной 2О нм. Наличие диэлектрической прослойки позвол ет уменьшить темновой ток и стабилизировать потенциал сло . Слой Se-A9 Te получают термическим испарением в вакууме при использовании двух испарителей дл 5е-Ави 5е-Теи изменении потока пара компонентов с помощью щели на пути к подложке, что позвол ет получить колоколообразное распределение Те по толщине сло  с мак симумом 30 ат.%. Те на глубине 1 мкм flj . .Недостатками такой мишени и способа ее изготовлени   вл ютс  относительно большой темновой ток и больша  инерционность . Известна также мишень телевизионной передающей трубки, содержаща  сигналь, ную пластину и фотопровод ший слой на основе селена, мышь ка и кислорода 1.2, Введение кислорода в фотопровод щий слой Se-AS в вес.% О,1 - 1,5 позволило уменьшить темновой ток и его нарастание со временем дл  слоев мишени видикона с многократньш считыванием ив|)ормашш (эффект остаточной проводимости). При этом уменьшение темнового тока названо частичным уменьшением инжекции носителей зар да (дырок) из анода () в фоточувствительный слой в результате введени  кислорода в слой. Такой слой может работать только в режиме многократного считывани . Этот слой получают термическим испарением в вакууме 1О 1О Па при 29О-38О°С со скоростью подъема температуры в среднем 6О С мин. Полученный таким способом фотопреобраэующий элемент (мишень) имеет тем новой ГОК в начальный момент времени О,О2 мкА и его увеличение за врем  5-1О мин до О,Об мкА и большую инерционность (врем  фотоотвега несколько минут), что не позвол ет работать в вещательном телевидении . Целью изобретени   вл етс  уменьшение инерционности фотоответа и темнового тока фотопреобразуюшего элемента. Указанна  цель достигаетс  тем, что в мишени телевизионной передающей трубки, содержащей сигнальную пластину и фотопровод щий слой на основе селена, мышьлка и кислорода, в фотопровод щем слое со стороны сигнальной пластийы расположена блокирующа  прослойка, выполненна  из кислородсодержащих соединений ингредиентов фотопровод щего сло  .так, что их содержание в слое непрерывно уменьшает с  при удалении от сигнальной пластины, при этом половина их колличесгва находит с  на глубине О,О5-0,2 мкм, а толщина сло  в 3-3О раз больше этой глубины. Кроме того, способ изготовлени  мише ни телевизионной передающей трубки, вклю чающий вакуумное испарение исходного материала на основе селена, м ыщь ка и кислорода, по крайней мере начальный парной испарени , осуществл емый в интервале температур испарител  230-29СгС, производ т со скоростью подъема температуры испарител  1О-4СгС/мин. На фиг. I показана часть мишени теле виаионной передающей трубки, разрез; на .фиг. 2 - завиГеимов™ темкового тока огнапр жени  на электроде (дл  предлагаемог изобретени  - крива  I, дл  известного крива  2); на фиг, 3 - зависимость темнового тока (кривые 1-4) и тока сигнала (кривые 5-8) от напр жени  при различных толщинах (с) фотопровод щего сло , причем .кривые I и 5 сн ты при 3-0,1мкм кривые 2 и 6 - при d-OjS мкм, кривые 3 и 7 - при d-O,6 мкм, кривые 4 и 8 при 6-,2 мкм; на фиг. 4 - зависимости колличества кислорода в сло х одной толщины , полученных при различных температурах испарени ; на фиг. 5 - спектральна  зависимость фоточувствительности мишени видикона по изобретению. Мишень включает стекл нную подложку I с нанесенным на нее прозрачным пр вод щим слоем 2, например Cvi/j. Оз слоем 3 фотопроводника толщиной Э-2,5 мкм на провод щем слое 2. Фотопровод щий слой выполнен на основе As5e/2C содержа нием кислорода вес.% 0,7, образующего кислородсодержащие соединени  селена или мышь ка, причем они распределены неравномерно и непрерывно. Половина колличества кислорода распределена на глубине ОД мкм во фотопровод щем слое результате чего образуетс  блокирующа  прослойка. Получение фотопровод щего сло  3 с блокирующей прослойкой осуществл ют за один процесс испарени  исходного вещества . Стекл нную подложку I с сигнальньпу электродом ,, устанавливают на расто нии 40-6О мм над испарителем и откачиваемом объеме. В испаритель загружают материал содержащий селен, мышь к и кислород в количестве 8О мг. Объем откачивают до -10 Па, после чего при термическом испарении материала на сигнальной пластине формируетс  фоточувствительный слой с блокирующей про-, слойкой. В приведенном примере подъем температуры в начальный момент соответствует ЗСг С/мин. Затем скорость испарени  увеличиваетс  в 4,5 раза в интервале 29О-380С и слой 3 формируетс  за 3,5 мин. .Мишени Сфиг. 2) имеют малые значени  темнового тока при больших напр жени х (крива  I). Темновой ток такой мишени очень мал и составл ет менее I нА который начинает незначительно возрастать , при напр жени х более 60 В. Действительно , образование блокирующей прослойки из кислородсодержащих соединений предотвращает инжекцию основных носителей из электрода в фоточувствительный слой при приложенном напр жении и, как следствие, приводит к снижению темнового тчэка. При этом фотопреобразующий элемент не работает в режиме многократного считывани  и имеет инерционность фотоответа, сравюодую с инерционностью ввдиконов работающих в вещательном телевидении . По мере увеличени  толщины фоточувствительного сло  элемента (фиг. 3) 0,15-1,2 мкм рабоча  область напр жений смещаетс  в- область высоких напр жений , что указывает на рост блокирующей прослойки с ростом толщины фотопровод щего сло . Ход кривых фоточувсвительносги (гока сигнала Ое) в основном повтор ет ход темнового тока (3). В сло х, полученных при низкой температуре менее 260°С (фиг. 4), прослойки обогащены кислородом. Поскольку процесс получени  сло  ведут медленно при низкой температуре 23О 29С/с со скоростью подъема 1О 4ОС/мин, что основна  дол  кислородсодержащих компонен тов приходитс  на толщину О,О5-О,2 мкм фоточувствительного сло , образу  блокирующую прослойку, а распределение кислородсодержаших компонентов неравномерное и имеет максимум на границе с анодным электродом . В начальный момент испарени , который определ ет образование блокирующей прослойки и зависит от температуры испарени  исходного материала или темпера туры испарител , образование блокирующе прослойки начинаетс  с 23О С и заканчиваетс  при 290Рс, начина  с которой фоточувствительный слой имеет малое со . держание кислорода {фиг. 4). ЕСЛИ получение фотопровод щего сло  вести в интервале температур 23O-29Cf но с меньшей скоростью подъема температуры испарител  (менее 1СРс/мин), то блокирующа  прослойка из кислородсодержащих ингредиентов также образуетс , од нако значительно увеличиваетс  врем  из готовлени  мишени. При скорости подъема более 40 С/мин - слои обладают нестабильностью параметров, что, веро тно, св занно с толщиной прослойки не обеспечивающей блокировки (исключени  инжекции носителей из анода в фотопровод щий слой). Если глубина (-fc), на которой содержитс  половина количесТЕв кислорода менее О,О5 мкм, то эффект блокировки исчезает и слой имеет высокую инерционность приближающуюс  к 100%, а при глубине большей 0,2 мкм - чувствительност мишени падает, однако величина темнового тока мала и инерционность низка . Если толщина всего сло  (d) больше глубины (fc), на которой содержитс  половина всего кислорода сло  (т.е.- кислородсодержащих компонентов), менее чем в 3 раза, то нет достаточной чувствительности сло  из-за ухудшени  цоглощени  света в тонких сло х, а если более чем в 30 раз, то нет чувствительности ввиду большого баластного сопротивлени  фотопровод щего сло  даже при напр жени х больших ЮО В. Спектральна  чувствительность видикона с таким фотопреобразующим элементом в качестве мишени (фиг. 5) смещена в синюю область (крива  I) по сравнению с известным (крива  2) и имеет максимум на.390 HMi что, веро тно, вызвано наличием блокирующей прослойки в фотопровод щем слое. Технический эффект предлшаемого устройства заключаетс  в умегшшении инерионности фотоогвета фотопреобразующего элемента, в снижении темнового тока при высоких рабочих напр жени х. Кроме того , спектральна  характеристика смещена в синюю область спектра. Все это позвол ет использовать предлагаемое устройство в вещательном телевидении в качестве мишени видикона. Испытани  экспериментальных мищеней видиконов показали, что инерционность их состовл ет 1О% при токе сигнала 0,2 мкА, темновой ток менее 1 нА при напр жении 50-6О В. При этом предлагаемое устройство фотопреобразовательного элемента может быть использовано в электрофотогрофичес. ких устройствах, где ожвдаетс  увеличение быстродействи . . Формула изобретени  I. Мишень телевизионной передающей трубки, содержаща  сигнальную пластину и фотопровод щий слой на основе селена, .мышь ка и кислорода, отличающ а   с   тем, что, с целью умень.шени  инерционности фотоответа и темнового тока , в фотопровод щем слое со стороны сигнальной пластины расположена блокирующа  прослойка, выполненна  из кислородсодержащих соединений ингредиентов фотопровод щего сло  так, что их содержание в слое непрерывно уменьшаетс  при удалении от сигнальной пластины, при этом половина их количества находитс  на глубине О,О5-О,2 мкм, а толщина сло  в 3-3О раз больше этой глубины. 2. Способ изготовлени  мишени телевизионной передающей трубки, включающий вакуумное испарение исходного материала на основе селена, мышь ка и кислорода , отличающийс  гем, что по крайней мере, начальный период, . осуществл емый в интервале температур испарител  23О - 29ОС, производ т со скоростью подъема температуры испарител  1О-4Ос/мин. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент Франции № 2331887, кл. Н01 J 29/45, 1977.
  2. 2.Авторское свидетельство СССР № 599653, кл. ног J 29/45, 1979 (прототип).
    Фиг.Г
    Т,С;«Л
    fOJ, вес %
SU813247989A 1981-02-13 1981-02-13 Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени SU961000A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813247989A SU961000A1 (ru) 1981-02-13 1981-02-13 Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813247989A SU961000A1 (ru) 1981-02-13 1981-02-13 Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU961000A1 true SU961000A1 (ru) 1982-09-23

Family

ID=20943050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813247989A SU961000A1 (ru) 1981-02-13 1981-02-13 Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU961000A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4040985A (en) Photoconductive films
US3984722A (en) Photoconductive target of an image pickup tube and method for manufacturing the same
SU961000A1 (ru) Мишень телевизионной передающей трубки и способ ее изготовлени
US2844493A (en) High resistance photoconductor
US4614891A (en) Photoconductive target of image pickup tube
US4601965A (en) Photosensitive material for use in electrophotography
US3519480A (en) Process for treating photoconductive cadmium sulfide layers
KR890001434B1 (ko) 촬상관용 타켓의 제조방법
US4445131A (en) Photoconductive image pick-up tube target
JPS61267241A (ja) 撮像管の光導電タ−ゲツト
US4608514A (en) Photoconductive target of the image pickup tube
JPH0151016B2 (ru)
KR890003210B1 (ko) 광도전막의 제조방법
SU1051490A1 (ru) Электрофотографический материал
JPS63170831A (ja) 光導電タ−ゲツトおよびその製造方法
RU1789966C (ru) Электрофотографический материал
SU454606A1 (ru) Мишень видикона
JPS57103243A (en) Photoelectrical conversion target and its manufacture
JPS6142840A (ja) 撮像管の光導電タ−ゲット
JPS5839392B2 (ja) 光導電タ−ゲットの製造方法
JPS5836510B2 (ja) 光導電タ−ゲット
JPS5816288B2 (ja) コウドウデンタ−ゲツトノ セイゾウホウホウ
JPS61225740A (ja) 撮像管の光導電タ−ゲツト
JPS56154736A (en) Electrophotographic receptor
JPS6034826B2 (ja) 光導電素子