Claims (2)
Изобретение относитс к приборостроению , в частности к устройствам дл градуировки вакуумметров. Известны способы градуировки вакуумметров путем повышени давлени в первой камере с градуируемым вакуумметром, происход щего при непрерывной подаче известного потока газа в эту камеру из второй камеры с образцовым манометром и определени давлений, соответствующих зафиксированным в некоторые моменты времени показани м градуируемого вакуумметра 1. Данные способы не обеспечивают градуировки вакуумметров в широком диапазоне давлений. Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности и достигаемому эффекту вл етс способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксировани показаний манометра сравнени , присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давлени в камере по известным зависимост м 2. Известный способ также не обеспечивает градуировку вакуумметров в широком диапазоне изменений давлени . Цель изобретени - расширение диапазона градуировки. Поставленна цель достигаетс тем, что при градуировке вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксировани показаний манометра сравнени , присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давлени в камере по известным зависимост м, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем суд т по идентичности показаний манометра сравнени . На чертеже показана вакуумна система, реализующа предлагаемый способ градуировки вакуумметров. Система содержит градуируемый вакуумметр 1, присоединенный к градуировочной камере 2. Камера откачиваетс через диафрагму 3 известной проводимости О высоковакуумным насосом 4. Через входной элемент 5 (натекатель, диафрагму, трубку и т. п.) в градуировочную камеру подают измер емый поток Q градуировочного газа. Клапан 6 служит дл перекрыти входного элемента 5. Через регулируемый натекатель 7 в камеру подают дополнительный .поток газа. К камере 2 присоединен также манометр сравнени 8. Предлагаемый способ градуировки вакуумметров состоит из следующей последовательности операции. После предварительной откачки камеры 2 в нее подают через входной элемент 5 измер емый поток QI газа (например, наибольший поток, при котором еще соблюдаетс молекул рный режим течени ), при этом клапан 6 открыт. Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставл ют с ним соответствующее значение давлени Pj в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле (1). Одновременно фиксируют показание манометра сравнени Ii. Закрыв клапан 6, подают извне в камеру 2 дополнительный поток, равный измеренному потоку Q. Открыв клапан 6, удваивают поток газа в камеру, т. е. р2 2Qi. Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставл ют с ним соответствующее значение давлени РЗ в градуировочной камере, рассчитанное по формуле P2 .Одновременно фиксируют показание манометра сравнени 12Прекратив подачу дополнительного потока , регулируют поток газа через входной элемент 5 так, чтобы показание манометра сравнени вновь было равно 1. Циклически удваива поток газа, повтор ют операции 2 и 6. Предлагаетс также при выполнении операции 3 регулировать дополнительный поток так, чтобы показание манометра сравнени вновь было равно Ii- Это свидетельствует о том, что дополнительный поток равен измеренному потоку Qj. Предлагаетс также подавать в камеру 2 дополнительный поток через регулируемый натекатель 7. Тогда операции 3 и 6 выполн ют посредством открыти и закрыти натекател 7. Таким образом, в камере 2 воспроизводитс последовательный р д давлений Гр eti м-и Рг 2Р р 2Р2 4Р . р 2Рз. 8Р JJPj 2- -Р l;Ph .V , Наиболее важно, что расчет давлений PJ совершенно не обусловлен режимом течени во входном элементе системы, последний может и не быть молекул рным. Тогда верхний предел давлений зависит лишь от возможностей высокопроизводительной откачки камеры 2 насосом 4. Таким образом, измерив однократно в начале градуировки сравнительно малый поток QI , можно при определенном числе h описанных циклов регулировани потока воспроизвести и рассчитать достаточно большие потоки Qj 2-Qi и соответственно сравнительно высокие давлени Pj PI, при которых не соблюдаетс молекул рный режим течени газа в системе. Ядро методики градуировки составл ет циклическое регулирование потоков газа через входной элемент и натекатель и регистраци показаний градуируемого вакуумметра 1 и манометра сравнени 8. Устранение ограничений, накладываемых на режим течени , обеспечивает возможность заметного расширени диапазона градуировки в сторону высоких давлений. Формула изобретени Способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксировани показаний манометра сравнени , присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давлени в камере по известным зависимост м , отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона градуировки, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем суд т по идентичности показаний манометра сравнени . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 767592, кл. G 01 L 27/00, 1978. The invention relates to instrumentation, in particular to devices for calibrating vacuum gauges. Methods are known for calibrating vacuum gauges by increasing the pressure in the first chamber with a graduated vacuum gauge, which occurs when a known gas flow is continuously fed into this chamber from the second chamber with an exemplary manometer and determining the pressures corresponding to the readings of the calibrated vacuum gauge recorded at some points in time. provide calibration of vacuum gauges in a wide range of pressures. The closest to the proposed method to the technical essence and the achieved effect is the method of calibrating vacuum gauges by cyclically feeding the calibration chamber with the main gas flow, additional flow, their total flow, recording the comparison pressure gauge attached to the chamber, continuously pumping gas from the chamber and calculating the values pressure in the chamber according to known dependences 2. The known method also does not provide calibration of vacuum gauges in a wide range of pressure variations. The purpose of the invention is to expand the range of calibration. The goal is achieved by calibrating the vacuum gauges by cyclically feeding the calibration chamber with the main gas flow, additional flow, their total flow, recording the comparison pressure gauge attached to the chamber, continuously pumping gas out of the chamber and calculating the pressure values in the chamber from known dependencies , before summing up the flows, they are equalized, as judged by the identity of the readings of the reference pressure gauge. The drawing shows a vacuum system that implements the proposed method for calibrating vacuum gauges. The system contains a calibrated vacuum gauge 1 connected to the calibration chamber 2. The chamber is pumped out through the diaphragm 3 of known conductivity O by the high-vacuum pump 4. Through the input element 5 (leak, diaphragm, tube, etc.) a measured flow Q of calibration gas is fed into the calibration chamber . The valve 6 serves to shut off the inlet element 5. An additional gas stream is fed into the chamber through the adjustable leak detector 7. A pressure gauge 8 is also connected to chamber 2. The proposed method for calibrating vacuum gauges consists of the following sequence of operations. After pre-evacuation of the chamber 2, the measured gas flow QI (for example, the largest flow, which still maintains the molecular flow regime) is fed through the input element 5, and the valve 6 is open. The reading of the calibrated vacuum gauge 2 is counted and the corresponding pressure value Pj in the calibration chamber 2 calculated by the formula (1) is compared with it. At the same time, the reading of the pressure gauge II is recorded. Having closed the valve 6, an additional stream, equal to the measured flow Q, is supplied from the outside to the chamber 2. After opening the valve 6, the gas flow to the chamber is doubled, i.e. p2 2Qi. The calibration of the calibrated vacuum gauge 2 is counted and the corresponding RZ pressure value in the calibration chamber is calculated by the formula P2. At the same time, the reading gauge of the comparison gauge 12 is recorded. Cyclically doubling the gas flow, steps 2 and 6 are repeated. It is also suggested that in step 3, the additional flow be adjusted so that the pressure gauge is comparable to and again equal Ii- This indicates that the additional flow is measured downstream Qj. It is also proposed to supply additional flow through chamber 2 to the chamber 2. Then, operations 3 and 6 are performed by opening and closing the collector 7. Thus, in chamber 2, a series of pressures are generated Gr eti m-and Pr 2P p 2P2 4P. p 2Rz. 8P JJPj 2- -P l; Ph .V. Most importantly, the calculation of the pressure PJ is not at all caused by the flow regime in the input element of the system, the latter may not be molecular. Then, the upper pressure limit depends only on the high-performance pumping capacity of chamber 2 by pump 4. Thus, by measuring the relatively small flow QI once at the beginning of the calibration, it is possible to reproduce and calculate rather large flows Qj 2-Qi for a certain number h of the described flow control cycles. high pressures Pj PI, at which the molecular regime of gas flow in the system is not observed. The core of the calibration technique is cyclical regulation of gas flows through the inlet element and leak and recording the readings of the calibrated vacuum gauge 1 and the comparison pressure gauge 8. Elimination of restrictions imposed on the flow mode provides a possibility of a noticeable extension of the graduation range towards high pressures. The method of calibration of vacuum gauges by cyclically feeding the calibration chamber with the main gas flow, additional flow, their total flow, recording the comparison pressure gauge attached to the chamber, continuously pumping gas from the chamber and calculating the pressure values in the chamber according to well-known dependencies, that, in order to expand the calibration range, they are equalized before summing up the flows, which is judged by the identity of the comparison pressure gauge. Sources of information taken into account in the examination 1. USSR author's certificate number 767592, cl. G 01 L 27/00, 1978.
2.Авторское свидетельство СССР № 408183, кл. G 01 L 27/00, 1971 (прототип).2. USSR author's certificate number 408183, cl. G 01 L 27/00, 1971 (prototype).
ГазGas
К насосуTo pump