SU808889A1

SU808889A1 - Method of vacuum gauge calibration

Info

Publication number: SU808889A1
Application number: SU782598936A
Authority: SU
Inventors: Валерий Васильевич Кузьмин
Original assignee: Предприятие П/Я А-1742
Priority date: 1978-04-03
Filing date: 1978-04-03
Publication date: 1981-02-28

Description

1one

Изобретение относитс к приборостроению , в частности к устройствам дл градуировки вакуумметров.The invention relates to instrumentation, in particular to devices for calibrating vacuum gauges.

Известен способ градуировки вакуумметров , основанный на расчетном понижении давлени , происход щем при молекул рном течении газа через отверсти известной проводимости lljA known method of calibrating vacuum gauges is based on the calculated pressure drop occurring during the molecular flow of gas through openings of known conductivity llj

Недостатком этого способа вл етс сложность проведени градуировки.The disadvantage of this method is the complexity of the calibration.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому техническому эффекту к предлагаемому вл етс способ градуировки вакуумметров путем расчетного повышени давлени в градуировочной камере до значени , которое может быть измерено образцовым манометром, происход щего при непрерывнс н поступлении газа в эту Kcwepy через натекатель от источника посто нного давлени , фиксации, р да показаний градуируемого вакуумметра через определенный промежуток времени и расчета значений давлений, соответствующих показани м манометра по известнь выражени м 12.The closest in technical essence and achievable technical effect to the proposed method is the calibration of vacuum gauges by calculating the pressure in the calibration chamber to a value that can be measured with an exemplary manometer occurring when the gas is continuously fed into this Kcwepy through a leak from a constant pressure source , fixing, a number of indications of a calibrated vacuum gauge after a certain period of time and calculation of pressure values corresponding to the manometer readings from tn expression 12 m.

Недостаток известного способа большое врем проведени градуировкиThe disadvantage of this method is a large time for calibration

Цель изобретени - сокращение времени градуировки.The purpose of the invention is to reduce the calibration time.

Поставленна цель достигаетс тем,. что в способе градуировки вакуумметров путем расчетного повышени давлени в градуировочной камере до значени , которое может быть измерено образцовым манометром, происход щего при непрерывном поступлении газа в эту камеру через натекатель от источника посто нного давлени , фиксации р да показаний градуируемого вакуумметра через определенный промежуток времени и расчета значений давлений, соответствующих показани м манометра по известным выражени , откачивают 5 градуируемую камеру, устанавливают большой поток газа через натекатель, причем начальный момент времени следующего промежутка времени определ ют в момент, когда показани градуируемого манометра совпадают с его показани ми в конце предыдущего промежутка времени и повтор ют эти операции до достижени давлени в градуировочной камере, которое может быть измерено, образцовым манометром.The goal is achieved by that in the method of calibrating vacuum gauges by calculating the pressure in the calibration chamber to a value that can be measured by an exemplary manometer occurring when gas is continuously flowing into this chamber through the leak from a constant pressure source, fixing a number of readings of a graduated vacuum gauge after a certain period of time and calculating the pressure values corresponding to the manometer readings using the known expressions, pump out 5 calibrated chambers, establish a large gas flow through the flow A spruce, the initial moment of time of the next period of time being determined at the moment when the readings of the calibrated manometer coincide with its readings at the end of the previous period of time and repeat these operations until the pressure in the calibration chamber, which can be measured, is reached with a model manometer.

На чертеже показана схема устройства , реализующа предлагаемый способ.The drawing shows a diagram of the device that implements the proposed method.

Вакуумна система, включает камеру 1 с присоединенным к ней градуируемым вакуумметром 2. Через клапан 3 регулируемой прюводимости в камеру 1 поступает градуировочный паз из резервуара 9. Образцовый манометр 5, а также контрольный вакуумметр 6 присодинены к градуиров04ной камере 1. Вакуумный насос (или агрегат) 7 откачивает камеру 1 через клапан 8. The vacuum system includes a chamber 1 with a calibrated gauge 2 attached to it. Through the valve 3 of adjustable curvature into the chamber 1 a calibration groove enters the reservoir 9. The reference pressure gauge 5 and the control gauge 6 are connected to the graduation chamber 1. Vacuum pump (or unit) 7 pumps chamber 1 through valve 8.

Предлагаемый способ градуировки вакуумметров состоит в следующем.The proposed method of calibration of vacuum gauges is as follows.

После предварительной откачки системы открывают клапан 3 на наименьШУЮ проводимость и устанавливают, таким образом, наименьший поток градуировочного газа из резервуара 4 в камеру 1. При этом клапан 8 закрыт . . After the system has been pre-pumped, the valve 3 is opened for the least conductivity and, thus, the smallest flow of calibration gas from tank 4 to chamber 1 is installed. Valve 8 is closed. .

В процессе непрерывного повышеВИЯ давлени в градуировочной камере 1 отсчитывают (или записывают) показани градуируемого вакуумметра 2 во времени, начина с момента tg.In the process of continuous pressure increase in the calibration chamber 1, the readings of the calibrated vacuum gauge 2 are counted (or recorded) in time, starting from the moment tg.

J В произвольные моменты времени t и t () соответствукадие давлени и Р в камере 1 равны: P.-(t-;-t } -f() В момент t фиксируют показани градуируемого вакуумметра 6. После вторичной откачки системы (насосом 7 при открытом клапане 8) открывают клапан 3 на большую прово димость и устанавливают больший поток газа QI(Q,)B камеру 1 (клапан В закрыт). Продолжают отсчитывать по казани градуированного вакуумметра 2 во времени. В моменты ti и tj (t4) фиксирую показани градуируемого вакууммет а причем первое из них совпадает с предыдущим показанием этого вакуумметра . Тогда можно считать тождественным и соответству1Ш1ие давлени : Р Pljr отсюда: V(ti-to) -Pi Pi (n-to) Очевидно, t -to-ct -to так,как Qi Q После промежуточной откачки уста навливают еще больший поток газа в градуировочной камере и повтор ют операции, указанньае выше; С кажцым этапом градуировки процесс повышени давлени в камере 1 станрвитс все более интенсивным. Дл заключительного п -го этапа градуировки можно записать:J At arbitrary times t and t (), the corresponding pressure and P in chamber 1 are equal: P .- (t -; - t} -f () At time t, read the calibrated vacuum gauge 6. After the secondary pumping of the system (pump 7 at open valve 8) open valve 3 for greater conductivity and install a larger gas flow QI (Q,) B chamber 1 (valve B is closed). Continue to read over the indications of graduated vacuum gauge 2 in time. At times ti and tj (t4), I read calibrated vacuum and the first one coincides with the previous reading of this vacuum gauge. Then it is possible to consider the same and the corresponding pressure: Р Pljr from here: V (ti-to) -Pi Pi (n-to) Obviously, t -to-ct -to as Qi Q After intermediate pumping, an even greater flow of gas is established in the calibration chamber and repeat the operations indicated above; With each calibration step, the pressure increase process in chamber 1 becomes increasingly more intense. For the final nth calibration step, you can write:

p.aa.{tH-to)- Рн- g,p.aa. {tH-to) - Ph-g,

A {t;-to)A {t; -to)

где Оц- наибольший поток газа, поступанадий в камеру 1.where Ots is the largest gas flow entered into chamber 1.

Давление РД уже достаточно высоко так что его измер ют непосредственно образцовым манометром 5: Р, Рд где Рд - показание образцового манометра 5.The pressure of the diaphragm is already high enough so that it is measured directly by an exemplary manometer 5: P, Pd where Pd is the reading of the model manometer 5.

Таким образом, получаетс система уравнений:Thus, a system of equations is obtained:

pUU.utV,P..%Lat;pUU.utV, P ..% Lat;

р;,,.л1(p; ,,. l1 (

U)U)

РЗ- -Ч Л -К;РЗ- ДЦРЗ- -Ч Л -К; РЗ- ДЦ

.p:..ut.p: .. ut

..p;.,.p.,..p;.,. p.,

где Ati.tt-towhere is ati.tt-to

Общее решение данной системы уравнение дл расчета давлени Р в камере 1, соответствукщего любомуThe general solution of this system is the equation for calculating the pressure P in chamber 1, corresponding to any

произвольному моменту времени t наarbitrary time t on

i-OM этапе градуировки:i-OM graduation stage:

6060

Claims

1. Authors certificate of the USSR. No. 436253, cl. G 01 L 27/00, 1972.

2. Physical Rivlew, 1920, 15, No. 2, p. 133-134 (prototype).