лей в виде автокрллимационных изоб ражений марки автоколлиматора, от обоих торцов детали. По угловому расхождению этих меток суд т о параллельности контролируемых торцов Недостатком известного способа вл ютс ограниченные функциональные возможности, поскольку невозмо но его применение дл контрол про рачных деталей и дл децентрировки и пирамидальности оптических деталей с малым поперечным сечением , (например, пластин с толщиной менее 1 мм) , что обусловлено большими оптическими потер ми на малом попереч ном сечении широких параллельных световых пучков, Целью изобретени вл етс расширение функциональных возможностей за счет обеспечени возможности контрол прозрачных деталей, децент рировки и пирамидальности оптически деталей .любых- поперечных размеров. Эта цель достигаетс тем, что согласно способу контрол непараллельности оптических деталей, заклю чающемус в том, что направл ют световые пучки с двух сторон на деталь по ее оптической оси-и фиксиру световые пучки, отраженные от двух противоположных поверхностей детали используют сход щиес световые пучк с дифракционно-интерференционной кольцевой структурой и по угловому отклонению центров дифракцион оинтерференционныхг кольцевых структу определ ют величины непараллельноети , децентрировки и пирамидальности детали. На чертеже изображена принципиальна схема устройства, реализующего описываемый способ контрол . Устройство содержит источник 1 излучени - лазер, длиннофокусный объектив 2, включающий нар ду с лин зой дисковую диафрагму (не показаны ) , светоделительную пластину 3, три.плоских зеркала 4-6, две, наклонные из мелкой проволоки сетки 7 и 8, два экрана 9 и 10 с отверсти ми в центре и .масштабными сетками по всему их полю (не показаны), переносную зрительную трубу 11, кубик-эталон 12с полированными гран ми и допуском на пирамидальность равную 5-10, опорн то пластину 13, прикрепленную к грани-кубика посредст .вом оптического контакта и образующую с ним двугранный пр мой угол-дл размещени там контролируемой детали 14. Способ осу1цес вл етс слвдующим образом. . С помс цью источника 1 излучени - лазера, объектива 2, свето делительной пластины 3 и зеркал 4-6 получают два сход щихс 1§стречных световых пучка с четкой i картиной дифракционно-интерферен- ционной кольцевойСтруктуры. Перет жки лазерных световых пучков . (под перет жкой - горловиной лазерного светового пучка, имеющего гауссов характер распределени интенсивности - понимают минимальный диаметр, к которому пучок ст гиваетс в некоторой плоскости, где фазовый фронт излучени плоский) располагают либо немного за контролируемой деталью (контроль линз,лйн-. зоподобных деталей, объективов), Ш1бо перед ней (контроль плоскопараллельных пластин). Добиваютс точного совмещени световых пучков, использу при этом кольцевую структуру каждого из них, а также две сетки 7 и 8, наклоненные под углом 45-60, и зрительную трубу 11, Все эти компоненты позвол ют существенно йовысить точность совмещени пучков (до 10-15 угловых секунд). На пути световых пучков помещают два экрана 9 иЮ с масштабными сетками . Световые пучки пропускают через центры отверстий вэкранах 9 и 10. В центральной части (между двум перет жками), ра сполагают кубик-эталон 12 с опорной пластиной 13,-выставив ребро двугранного угла параллельно оси совмещенных пучков - по совпадению -отраженных от кубика пучков с падающими пучками (при этом.вторично используютс экраны 9 и 10 и зрительна труба 11). Контролируемую деталь 14 (линза в патроне,стержни, пластины со сферическими или плоскими торцами) размещают на кубике-эталоне 12, прижима его к опорной пластине 13, после чего по известной методике определ ют необходимые параметры.. Использование встречных пучков дает возможность проведени .контрол непрозрачных дл видимого излучени оптиче.ских деталей. Использование лазерных сход щих увеличивает плотность мощности падающего на деталь излучени и дает возможность сконцентрировать полностью кольцевую структуру на торце детали, что позвол ет контролировать детали с малым поперечным сечением. формула изобретени Способ контрол непараллельности оптических деталей, закдшчающийс в том, что направл ют.световые пучки с двух сторон на деталь по ее оптической оси и фиксир тот световые пучки, отраженные от двух противоположных поверхностей детали, о тличающийс тем, что, с целью расширени функциональныхlei in the form of autoclimation images of the brand of autocollimator, from both ends of the part. The angular divergence of these marks determines the parallelism of the controlled ends. A disadvantage of the known method is its limited functionality, since it cannot be used to control rotating parts and to de-center and pyramidally optical parts with a small cross-section (for example, plates with a thickness less than 1). mm), due to the high optical loss at a small cross section of wide parallel light beams. The aim of the invention is to expand the functional due to the possibility of controlling transparent parts, decentration and pyramidality of optical parts of any transverse dimensions. This goal is achieved by the method of controlling the non-parallelism of optical parts, which consists in directing light beams from two sides to the part along its optical axis and fixing light beams reflected from two opposite surfaces of the part using converging light beams with The diffraction-interference ring structure and the angular deviation of the centers of the diffraction interference patterns and ring structures determine the non-parallel, de-centering and pyramidal details of the part. The drawing shows a schematic diagram of a device that implements the described control method. The device contains a radiation source 1 — a laser, a long-focus lens 2, including a disk diaphragm (not shown) along with a lens, a beam-splitting plate 3, three flat mirrors 4–6, two, inclined 7, 8, fine wire, two screens 9 and 10 with holes in the center and large-scale grids over their entire field (not shown), a portable telescope 11, a standard cube 12 with polished edges and a pyramid tolerance of 5-10, a support plate 13 attached to the face -cubica by means of optical contact and forming with it two the right angle is angled to accommodate the part 14 to be controlled there. The process is as follows. . With the source of the radiation source 1 — the laser, the objective 2, the light-separator plate 3, and the mirrors 4–6, two converging 1strevel light beams with a clear i pattern of the diffraction-interference ring structure are obtained. Cross over laser light beams. (under the taper — the throat of a laser light beam having a Gaussian character of the intensity distribution — we understand the minimum diameter to which the beam shines in a certain plane where the phase radiation front is flat) either slightly behind the part being monitored (control of lenses, linear-like parts , lenses), W1bo in front of it (control of plane-parallel plates). Accurate alignment of the light beams is achieved using the annular structure of each of them, as well as two grids 7 and 8, inclined at an angle of 45-60, and telescope 11. All these components can significantly improve the alignment accuracy of the beams (up to 10-15 angular seconds). On the path of the light beams put two screens 9 and U with large-scale grids. The light beams are passed through the centers of the holes in the screens 9 and 10. In the central part (between the two overlaps), the standard cube 12 is placed with the base plate 13, placing the edge of the dihedral angle parallel to the axis of the aligned beams - coincidentally reflected from the cube beams with incident beams (in this case, screens 9 and 10 and the telescope 11 are used secondarily). Controlled part 14 (a lens in a cartridge, rods, plates with spherical or flat ends) is placed on a cube-standard 12, pressing it against the support plate 13, after which the necessary parameters are determined using a known technique. The use of counter beams makes it possible to carry out control opaque to visible radiation of optical components. The use of laser converging increases the power density of the radiation incident on the part and makes it possible to concentrate the entire ring structure on the end of the part, which makes it possible to control parts with a small cross section. Claims The method of controlling the non-parallelism of optical parts, which lies in the fact that light beams are directed from two sides to the part along its optical axis and fixed light beams reflected from two opposite surfaces of the part, in order to expand the functional
возможностей за. счет обеспечени возможности контрол прозрачных деталей , децентрировки и пирамидальности оптических деталей любых поперечных размеров, используют сход щиес световые пучки с дифракционно-интерференционной кольцевой структурой и по угловому отклонению центров дифракционно-интерференционных кольцевых структур определ ютopportunities for. by allowing transparent parts, decentering and pyramidal optical parts of any transverse dimensions to be controlled, converging light beams with a diffractive-interference ring structure are used and the angular deviation of the centers of diffractive-interference ring structures is determined
величину непараллельности, децентрировки и пирги«1идальности детали.the magnitude of non-parallelism, decentering, and pegs “of the details of detail.
Источники информации, прин тые во внимание при зкспертйзе 1. Авторское свидетельство СССР 531023, кл. G 01 В 9/02, 1975. : . 2, Авторское свидетельство СССР ; 326445, кл. G 01 В 11/26, 1970 (прототип). ,Sources of information taken into account by the expert 1. USSR author's certificate 531023, cl. G 01 B 9/02, 1975.:. 2, USSR author's certificate; 326445, class G 01 B 11/26, 1970 (prototype). ,