SU951465A1 - Электронно-оптическое устройство - Google Patents

Description

(54) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

1

Изобретение относитс  к электронно-оптическим устройствам с фокусировкой пучка зар женных частиц и может быть использовано в различных электронно-оптических приборах, например спектрометрах, микроскопах , электронно-лучевых трубках, в том 5 числе передающих телевизионных.

Известно устройство, содержащее две скрещенные линзы, повернутые вокруг оптической оси на 90° относительно друг друга (шестиэлектродный дублет), электроды Q которого св заны с точками делител  напр жени , обеспечивающими потенциалы на средних электродах линз одинакового знака по отнощению к потенциалам крайних электродов 1 .

Недостатком известного устройства  вл - 15 етс  невысока  разрещающа  способность из-за наличи  сферической аберрации в плоскост х , составл ющих угол 45° с плоскост ми симметрии скрещенных линз.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению  вл етс  электронно-оптическое устройство, содержащее не менее двух одинаковых ориентированных скрещенных линз электроды которых св заны с точками делител  напр жени  питани , обеспечивающими потенциалы на средних электродах линз разного знака по. отношению к потениалам крайних электродов 2.

Недостатком этого устройства  вл етс  невысока  разрешающа  способность из-за наличи  большой величины сферической аберрации.

Цель изобретени  - увеличение разрешающей способности.

Цель достигаетс  тем, что в электроннооптическом устройстве содержащем не менее двух одинаково ориентированных скрещенных линз, электроды которых св заны с точками делител  напр жени  питани , обеспечивающими потенциалы на средних электродах линз разного знака по отнощению к потенциалам крайних электродов отношение рассто ни  между линзами к минимальному диаметру отверсти  в их электродах равно 1-6.

На чертеже представлена схема устройства .

Устройство содержит скрещенные линзы 1 и 2, средние электроды 3 и 4 линз, крайние электроды 5-8 линз, делитель 9 напр жени  питани .

Две скрещенные линзы 1 и 2 расположены вдоль оптической оси, совпадающей с осью Z так, что отверсти  в их средних электродах 3 и 4 выт нуты в направлении оси X. Отверсти  в крайних электродах 5- 8 выт нуты в перпендикул рном направлеНИИ (вдоль оси У) Крайние электроды св заны с точкой делител  напр жени , потенциал которой меньше, чем потенциал точки подключени  крайних электродов, а средний электрод 4 линзы 2 соединен с точкой делител , потенциал которой выше потенциала упом нутой точки подключени  крайних электро ов. Отношение рассто ни  между линзами 1 и 2, т. е. между внутренними крайними электродами 6 и 7, к ширине отверсти  в электродах лежит в пределах 1-6. Оптимальное значение этого отношени  2-3. При значени х отношени  меньших 1 резко растет сферическа  аберраци , что соответственно приводит к резкому ухудшению разрешающей способности. При значени х отношени  больших 6 потери тока пучка зар женных частиц превышают допустимые из-за рассеиваюшего действи  первой линзы.

Форма отверстий в электродах линз может быть не только пр моугольной, но и любой другой, имеющей две оси симметрии, например эллипсной, овальной и -т. п.

Работа устройства заключаетс  в следующем .

Линза 1 собирает электроны из источника , расположенного на оси Z (на чертеже не указан) в плоскости УО7, а в плоскости XOZ - рассеивает. При этом октупольна  составл юща  линзы обеспечивает в плоскост х YOZ и XOZ положительную сферическую аберрацию, а в двух ортогональных плоскост х , повернутых вокруг оси Z относительно yOZ и XOZ на угол 45°, - отрицательную сферическую аберрацию. Затем пучок попадает под действие линзы 2, котора  собирает его уже в плоскости XOZ и рассеивает в плоскости yOZ. Откупольна  составл юща  обеспечивает здесь отрицательную сфе рическую аберрацию в плоскост х XOZ и

yOZ и положительную - в плоскост х, повернутых-на 45° к ним.

Таким образом, при последовательном взаимодействии пучка с пол ми обеих линз сферическа  аберраци  компенсируетс  во всех направлени х, что приводит к повышению разрешающей способности. Эта компенсаци  сферической аберрации возможна только в случае, когда пол  линз не перекрываютс , т. е. когда отношение рассто ни  между линзами к ширине отверсти  в их электродах не менее 1.

Устройство позвол ет значительно увеличить разрушающую способность.

Так, в экспериментальных образцах дюймовых видиконов, выполненных в соответствии с данным изобретением, глубина модул ции на 400 лини х в строчном исполнении равна 50-55%, что примерно на 60% выще достигаемой в практике электровакуумного приборостроени  разрешающей способности видиконов с электростатической фокусировкой и магнитным отклонением.

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Электронно-оптическое устройство, содержащее не менее двух одинаково ориентированных скрещенных линз, электроды которых св заны с точками делител  напр жени  питани , обеспечивающими потенциалы на средних электродах линз разного знака по отношению к потенциалам крайних электродов, отличающеес  тем, что, с целью повыщени  разрещающей способности, отношение рассто ни  между линзами к минимальному диаметру отверсти  в их электродах равно 1-6.

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Петров И. А. Исследование электронно-оптических свойств систем из двух скрещенных линз. ЖТО, 1977, т. 47, с. 1380.
2. 2. Там же, с. 1381 (прототип).