СО СКОРРЕКТИРОВАННОЙ СФЕРИЧЕСКОЙ Изобретение относитс к электронно-оптическим устройствам со скорректированной сферической аберрацией дл фокусировки и отклонени пучков зар женных частиц и может примен тьс в различных, электронно-оптических приборах, например в электронно-лучевых трубках, спектрометрах микроскопах. Известны устройства со скорректированной сферической аберрацией, состо щие из осесимметричных линз, корректоров сферической аберрации, содержащих квадрупольные и октупольные линзы, и отклон ющих элементов. Электроды таких устройств расположены симметрично относительно двух плоскостей симметрии,, перпендикул рных между собой и проход щих через оптическую ось устройства, совпадающую с осью пучка 1. Недостатком таких устройств вл етс невысокое качество изображени из-за чрезвычайно сложной юстировки большого количества электродов квадрупольных и октупольных линз корректоров. Наиболее близким к предлагаемому техническим решением вл етс электронно-опАБЕРРАЦИЕЙ тическое устройство, состо щее из так называемых скрещенных линз, корректоров и отклон ющих элементов, примен емое в электронно-лучевых трубках. В таком устройстве поверхности электродов, обращенные в сторону оптической оси устройства, совпадающей с осью пучка, расположены симметрично относительно двух плоскостей симметрии, проход щих через оптическую ось и перпендикул рных между собой. Это устройство состоит из 15-20 электродов с отверсти ми, имеющими четное число плоскостей симметрии, проход щих через оптическую ось системы н скомплектованных в группы по 3-5 электродов, аналогичные по функциональным свойствам квадрупольной линзе со скорректированной сферической аберрацией и разнесенные вдоль оптической оси устройства. В целом фокусирующа часть устройства действует как квадруплет квадрупольных линз со скорректированной сферической аберрацией. Между группами электродов помещены два отклон ющих элемента в виде плоских конденсаторов, повернутых относительно друг друга на 90° дл отклонени пучка в двух взаимно перпендикул рных направлени х 2. Однако это устройство обладает недостаточно хорошим качеством изображени изза весьма трудоемкой юстировки. Последнее обусловлено сложной конструкцией и наличием большого числа независимо изготавливаемых электродов, подлежаш,их сборке и юстировке. Цель изобретени - упрош.ение конструкции и юстировки. Указанна цель достигаетс тем, что в электронно-оптическом устройстве- со скорректированной сферической аберрацией, содержащем линзу с расположенными в параллельных плоскост х электродами, поверхности которых, обращенные в сторону оптической оси устройства, совпадающей с осью пучка, расположены симметрично относительно двух плоскостей симметрии, перпендикул рных между сдбой и проход щих через оптическую ось устройства, электроды расположены в параллельных оптической оси плоскост х, кажда из которых содержит по крайней мере одну группу, включающую не менее трех электродов, размещенных в направлении, перпендикул рном оптической оси. Электроды устройства могут быть выполнены в виде провод щих пленок, нанесенных на непровод щие пластины, и иметь пр .моугольную форму. На чертеже представлена схема устройства . Устройство содержит линзу, состо щую из двух непровод щих пластин 1, параллельных между собой и параллельных оптической оси устройства Z, совпадающей с осью пучка , на которые нанесены электроды, сгруппированные в группы 2-9. Электроды каждой пары групп (2-3, 4-5, б-7, ) расположены симметрично относительно плоскостей XOZ и yOZ. Электроды соединены гальванически с источником фокусирующего напр жени и источника.ади отклон ющего напр жени . Устройство работает следующим образом . На симметричные электроды каждой пары групп подаютс одинаковые фокусирующие потенциалы от источника фокусирующего напр жени . Отклон ющие напр жени от источников отклон ющего напр жени подаютс на электроды пары групп 4-5, и 6-7, причем от одного источника отклон ющее напр жение подаетс на крайние электроды пары секций 4-5 антисимметрично относительно плоскости XOZ, а от другого - на середине электроды пары групп 6-7 антисимметрично относительно плоскости yOZ. Пучок зар женных частиц из источника последовательно подвергаетс действию осесимметричной, квадрупольной и октупольной составл ющих пол электродов каждой пары групп, причем выбором потенциалов добиваютс того, чтобы суммарное действие осесимметричной и квадрупольной составл ющих пол всех секций было фокусирующим , а суммарное действие октупольных составл ющих корректировало сферическую аберрацию устройства. Одновременно электроды пары групп 4-5 отклон ют пучок в направлении У, а электроды пары групп б-7-в направлении X. Изготавливают и испытывают на электронно-оптической скамье макет устройства, состо щий из двух секций. Секции изготавливают из пластин фольгированного геттинакса размером 40x50 мм при помощи шаблона , обеспечивающего их идентичность. Электроды секций делают пр моугольными длиной 30 мм, причем средние электроды щириной 20мм, а крайние - 5мм; изолирующие зазоры между электродами изготавливают щириной 1,5 мм. Секции скрепл ют болтами по углам пластин через отверсти в них, причем между пластинами вставл ют калиброванные столбики длиной 20 мм, что обеспечивает параллельность пластин и совмещение плоскостей симметрии линзы. На электроды подаетс фокусирующее напр жение от двух независимых точек делител напр жени . Работа устройства провер етс на пучке электронов с энергией 1,5 кэВ. Методом двух сеток измер ют фокусируюц1,ие свойства и сферическую аберрацию третьего пор дка. Обработка результатов показывает , что линза действует как суперпозици совмещенных квадрупольной и октупольной линз, длина которых 30мм. Использование устройства по сравнению с известным представл ет больщую гибкость в достижении необходимых функциональных характеристик, позвол ет упростить конструкцию устройства в целом, значительно облегчить юстировку и, как следствие , улучшить качество изображени . Устройство предполагает всего 7 юстировок двух цельноизготовленных непровод щих пластин с электродами (по одному параллельному переносу и двум поворотам на каждую пластину и установка в необходимое положение вдоль оптической оси). С ростом сложности функциональной задачи , сто щей перед устройством, и числа электродов, эффективность изготовлен1г) и юстировки предлагаемого- устройства увеличиваетс , поэтому при конструировании подобных устройств можно ставить задачи, которые известными устройствами не могут быть решены из-за невозможности обеспечить необходимую точность юстировки. Формула изобретени 1. Электронно-оптическое устройство со скорректированной сферической аберрацией, содержащее линзу с расположенными в параллельных плоскост х электродами, поверхностм которых, обращенные в сторону оптической оси устройства, совпадающей с осью пучка, расположены симметрично относительно двух плоскостей симметрии, перпендикул рных между собой и проход щих через оптическую ось устройства, отличающеес тем, что, с целью упрощени конструкции И юстировки, электроды расположены в параллельных оптической оси плоскост х, кажда из которых содержит по крайней мере одну группу, включающую не менее трех электродов, размещенных в направлении, перпендикул рном оптической оси.