SU932310A1 - Мембранный чувствительный элемент - Google Patents

Мембранный чувствительный элемент Download PDF

Info

Publication number
SU932310A1
SU932310A1 SU803227093A SU3227093A SU932310A1 SU 932310 A1 SU932310 A1 SU 932310A1 SU 803227093 A SU803227093 A SU 803227093A SU 3227093 A SU3227093 A SU 3227093A SU 932310 A1 SU932310 A1 SU 932310A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
membrane
membranes
pressure
profile
sensing element
Prior art date
Application number
SU803227093A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Павлович Емцев
Владимир Павлович Кубри
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5696
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5696 filed Critical Предприятие П/Я М-5696
Priority to SU803227093A priority Critical patent/SU932310A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU932310A1 publication Critical patent/SU932310A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

(5+) МЕМБРАННЫЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ
1
. Изобретение относитс  к прибороетроению , а именно к упругим чувствительным элементам приборов давлени .
Известны многослойные мембранные чувствительные элементы примен емые дл  измерени  высоких давлений, когда в сплошной мембране большой толщины при нарастании давлени  возникают пластические дефс-рмации даже в области малых перемещений. Чтобы исключить это  вление и примен ют многослойную мембрану. В тонких мембранах напр жени  по всему сечению одинаковы и они могут получать большие прогибы при упругих деформаци х материала ГЦ.
Известные мембраны не Обеспечивают высокой точности измерени .
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому чувствительному элементу ,  вл етс  мембранный чувствительный элемент, состо щий из нескольких
профилированных пластин. В известном чувствительном элементе с целью повышени  чувствительности, из всех профилированных или плоских плотно прилегающих друг к другу мембран, сплошной выполнена только перва , котора -воспринимает давление, остальные выполнены с центральными отверсти ми, диаметр которых растет по мере удалени  от центра 2.
10

Claims (2)

  1. Благодар  тому, что толщина многослойной мембраны в радиальном направлении от периферии к центру уменьшаетс , напр жени  во всех ее концентрических сечени х близки по величи15 не. Следовательно, каждый участок в равной мере обеспечивает необходимый прогиб центра и чувствительность упругого элемента, но при изменении давлений между сло ми возникает тре70 ние, это  вление объ сн ет следующие Недостатки приведенной конструкции: большой гистерезис, нестабильность показаний во времени при циклических 3 нагружени х, из-за измен ющейс  вел чины силы трени , температурную погрешность , из-за измен ющегос  зазо ра между мембранами при перепадах температур. Цель изобретени  - повышение устойчивости к действию перегрузочных давлений. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в мембранном чувствительном элементе, содержащем по меньшей мере две профилированные мембраны, последние герметично-соединены с жестким центром так, что между поверхност ми мембран образован зазор причем профиль мембран гофрирован так, что кажда  последующа  мембрана образует упор дл  вершины гофра предыдущей. На фиг. приведена конструкци  двухслойной одногофровой мембраны; на фиг. 2 - конструкци  двухслойной двухгофровой мембраны; на фиг. 3 трехслойна  мембрана, разрез; на фиг. 4 - то же, вариант. Мембранный чувствительный элемен содержит; мембрану 1, мембрану 2, шток 3 и кольцевой упор Ц. Чувствительный элемент работает следующим образом. При воздействии давлени  на мемб рану 1 развиваетс  перестановочна  сила, котора  действует на мембрану 2 и Г1ерёме1цает шток 3, передающий перемещение на кинематическую систе му прибора. Мембраны вк/ очаютс  с различным профилем (фиг. 2). Мембрана 1, воспринимающа  давление, выполнена аро ного профил , а последующей за ней мембране 2 придают профиль такой, что его плоские участки при номинальном давлении контактируют с основани ми гофров, а при перегрузочном давлении служат упорами дл  оснований арок первой. Плоский борт мембраны 2 прилегает к плоскому боргу арочной мембраны 1. Мембрана 2 не воспринимает давлени , она раб тает от воздействи  сосредоточенной силовой нагрузки. Эта мембрана увеличивает жесткость конструкции чувствительного элемента. Все мембраны , вход щие в сборку, сваркой или пайкой креп т к жесткому центру 3, который осуществл ет св зь чув- , ствительного элемента с кинематичес кой системой прибора. Периферийные 04 участки мембран, последующих за первой, дл  защиты от действи  перегрузочных давлений имеют кольцевой упор Ц, Дл  увеличени  жесткости конструк-, ции мембранный чувствительный элемент изготавливают трехслойным (фиг. 3), при этом профиль мембран может быть различным (фиг. 4). Между основани ми гофров арок мембраны 1 и плоскими участками мембраны 2 при сборке устанавливают зазор, равный перемещению мембраны на этом участке при изменении давлени  от нулевого до номинального значени . При увеличении давлени  до значени  перегрузочного, основани  гофров арочной мембраны 1 после незначительной, дот жки устанавливаютс  на плоские участки мембраны 2 как на упор. В свою очередь плоские участки мембраны 2 устанавливаютс  на упор . Преимущества предлагаемой конструкции перед известными в том, что она имеет повышенную чувствительном и в 1,, раз большую устойчивость перегрузочным давлени м, хорошо защищенный от перегрузочных давлений центр, кроме того циклическую прочность в Г,,5 раза большую , так как циклические нагрузки воспринимает тонка  мембрана, более устойчива  к ним, а также исключено трение между сло ми мембраны, что положительно решает вопросы о снижении, гистерезиса чувствительного элемента в 3-5 раз, а температурной погрешности в 2-5 раз, что в итоге повышает точность прибора. Эффект от внедрени  предлагаег мой конструкции многослойной мембраны в том, что позвол ет изготовить измерители давлени  обладающие повышенной точностью и надежностью по сравнению с известными образцами. Формула изобретени  Мембранный чувствительный элемент , содержащий по меньшей мере две профилированные мембраны, о т Личающийс  тем, что,, с целью повышени  устойчивости к действию перегрузочных давлений, в нем мембраны герметично соединены с жестким центром так, что между поверхност ми мембран образован зазор, причем профиль мембран го.фрирован так.
    59323 Т О6
    что кажда  последующа  мембрана об- i. Авторское свидетельство СССР разует упор дл  вершины гофра преды- ff , кл. G 01 L 7/08, 1966. АУНбй.
  2. 2. Авторское свидетельство СССР
    Источники информации,tr 502256, кл. G 01 L 7/08, 1976
    прин тые во внимание при экспертизе s (прототип).
SU803227093A 1980-12-31 1980-12-31 Мембранный чувствительный элемент SU932310A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803227093A SU932310A1 (ru) 1980-12-31 1980-12-31 Мембранный чувствительный элемент

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803227093A SU932310A1 (ru) 1980-12-31 1980-12-31 Мембранный чувствительный элемент

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU932310A1 true SU932310A1 (ru) 1982-05-30

Family

ID=20935339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU803227093A SU932310A1 (ru) 1980-12-31 1980-12-31 Мембранный чувствительный элемент

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU932310A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2750303B2 (ja) 差圧センサならびに膜部材およびこれらの製造方法
US5165281A (en) High pressure capacitive transducer
JPS5918586B2 (ja) ダイヤフラム
US5134887A (en) Pressure sensors
EP0061488B1 (en) Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
JPH021253B2 (ru)
US3535923A (en) Load-sensitive transducer
US3448424A (en) Shear-responsive force transducers
US3484732A (en) Dual range pressure sensor
US3289134A (en) Gaged diaphragm pressure transducer
US4237775A (en) Diaphragm for pressure sensors
US4774843A (en) Strain gage
US3303451A (en) Beam-type transducers
SU932310A1 (ru) Мембранный чувствительный элемент
Schomburg et al. The design of metal strain gauges on diaphragms
EP0321097A3 (en) Pressure sensors
US3320569A (en) Shear load cell
US3978722A (en) Dynamometer for anchors in building constructions
EP0077184B1 (en) Force transducers
US3195353A (en) Diaphragm type fluid pressure transducer
JPS63200029A (ja) 薄形ロ−ドセル
JP2006300908A (ja) 力変換器
JPS6199383A (ja) 容量式変位センサ
JPS5856367A (ja) 半導体圧力センサ
AU604224B2 (en) Mechanical-electrical transducer