Изобретение относитс к оптической обработке информации, в частнос ти к способу изготовлени устройств дл пространственно-временной модул ции света. , Известен способ изготовлени оптически управл емого транспаранта (ОУТ) в виде симметричной МДПструктуры , согласно которому на обе стороны полупроводниковой пластины из материала с фотоэлектрооптическими свойствами (Bi,, Bi, последовательно напыл ют слой парил на noлиnapaкcилeнa) и прозрачный электрод из платины 1. Недостатком указанного способа л етс как низка механическа прочность структуры в целом, особенно при использовании полупроводн ковых пластин с толщиной около 100 м так и незащищенность провод щих и изолирующих слоев. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому вл етс способ, включающий изготовление двух идентичных структур путем напылени на прозрачную диэлектрическую подложку электропровод щей пленки, приклеивани поверх нее стекл нной пластины до требуемой толщины, после чего между двум структурами вклеивают полупроводниковую пластину (из Bi. SiO-j, Bi.,ft GeOnn) 2 Однако таким способом трудно полу чить оптически качественные изолирующие СЛОЙ из стекла тоньше 20 мкм, что ограничивает разрешающую способность ОУТ разрешающа способность способа по уровню 0,05 составл ет +0 Мин/мм). Кроме того, в процессе сошлифовки стекл нной пластины до требуемой толщины всегда наблюдаетс отступление от .плоскостности,. на ее поверхности возникают микроскопические дефекты .(царапины, трещины) ,что обуславливает возникновение.собственных оптических шумов ОУТ. Известный 3 способ изготовлени ОУТ вл етс тру доемким, что св зано с большим числом операций склейки и операци ми прецизионной полировки. Цель изобретени - повышение разр шающей способности и снижение уровн оптических шумов ОУТ, Указанна цель достигаетс тем, что согласно способу изготовлени оптически управл емого транспаранта включающему нанесение на прозрачные диэлектрические подложки электропровод щей пленки, изолирующего сло из стекла и склеивани подложек с полупроводниковой пластиной, изолирующий слой нанос т термическим испаре нием гранул боросиликатного стекла диаметром 0-70 мкм в вакууме при темперауре испарител 2000-2 00 °С, температуре подложки ПО-ТЗО С, скорость испарени 0,А-0,5 мкм/мин, Темпефатура испарител поддерживаетс Е1 пределах 2000-21 „ что юбеспечивает режим взрывного испаре ни (при более низких температурах образуетс расплав, а при более высоких происходит интенсивное испаре ние частиц от разогретого испарител ) . Испар емое вещество подают на ис паритель из вибробункера в виде гра нул диаметром 40-70 мкм, так как стекло с данным гранулометрическим составом обладает оптимальной сыпучестью и минимальным газосодержанием Температуру подложки поддерживают в пределах 110-130°С. Нижний предел обеспечивает адгезию, а верхний сплошность пленки. Скорость испарени выдерживают в пределах О,-0 5 мкм/м Предлагаемый способ позвол ет по ледовательно наносить на подложку прозрачный электрод (электропровод и4ую пленку , изолирунэщий стекл нный слой в едином техническом цикле в од ной и той же установке вакуумного на пылени без выноса подложки на воздух , что существенно упрощает технол гию изготовлени ОУТ. На чертеже представлено получаемое многослойное иЗделие (ОУТ) . Изделие содержит полупроводниксвуго пластину, оптический клей 2, изолирующую пленку 3, контактную площадку , электропровод щую пленк прозрачные подложки 6, На полированную плоскую прозрачную подложку, выполненную из стек ) ла К-8, в вакууме напыл ют эпе-стропроаод щую пленку ,+ SnOi толщиной 100-500, по стандартной технологии, затем на нее нанос т пленку боросиликатного стекла толщиной 1-2 мкм методом термического испарени в вакууме. Затем между двум полученными структурами со стороны изолирующих слоев стекла вклеивают с помощью оптического кле КО-1 полупроводниковую пластину из В . Технологические параметры процесса следующие. Температура испарител , С 2050 Диаметр гранул , мкм55 Температура подложки,С 120 Скорость испарени , мкм/минО,5 Разрешающа способность транспаранта , изготовленного по предложенному способу, по уровню 0,05 составл ет l80 мин/мм. Предлагаемый способ позвол ет получить изолирующие слои толщиной до 1-10 мкм, за счет чего разрешающа способность ОУТ увеличиваетс по сравнению с известным. Стекл нные слои, изготовленные методом термического испарени в вакууме , однородны по толщине, оптическим и диэлектрическим свойствам. В них отсутствуют упом нутые дефекты. Исключаетс загр знение поверхности контакта электрода и стекла во врем нахождени подложки с электродом на воздухе. Уменьшаетс количество клеевых прослоек в ОУТ. Все это способствует снижению уровн оптических шумов устройства. Помимо технологичности боросиликатное стекло вл етс материалом, наиболее пригодным дл осуществлен / предлагаемого способа, так как оно в виде пленки обладает высокой диэлектрической проницаемостью (около 10), высоким удельным сопротивлением (около 10 - .м , высоким пробивным напр жением (пор дка 10 В/см,. Пленка боросиликатного стекла обладает высокой механической прочн(к;тью и адгезией к подложке.
59200
Оптически управл емые транспаранты , изготовленные предлагаемым способом ,могут быть использованы, например в качестве устройств ввода в системы когерентной обработки оптической ин- 5 формации или в качестве оптически, перестраиваемых пространственных фильтров. Испытание опытных образцов ОУТ, изготовленных по предлагаемой технологии, дает положительные ре-Ю зультаты, в частности достигнута .частота циклов 10 кГц при длительности импульса напр жени 10 мкс и энергии экранировани пор дка 10 -10 Дж/см .