SU916255A1 - Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов - Google Patents

Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов Download PDF

Info

Publication number
SU916255A1
SU916255A1 SU792727269A SU2727269A SU916255A1 SU 916255 A1 SU916255 A1 SU 916255A1 SU 792727269 A SU792727269 A SU 792727269A SU 2727269 A SU2727269 A SU 2727269A SU 916255 A1 SU916255 A1 SU 916255A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
polishing
grinding
spheres
ferrite
tool
Prior art date
Application number
SU792727269A
Other languages
English (en)
Inventor
Sergej A Klepikov
Viktor I Lukashenko
Rimma A Govorova
Nina V Zmeeva
David A Leshchinskij
Valerij S Evstishenkov
Original Assignee
O Kt B Kristall Le T I Im Lens
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by O Kt B Kristall Le T I Im Lens filed Critical O Kt B Kristall Le T I Im Lens
Priority to SU792727269A priority Critical patent/SU916255A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU916255A1 publication Critical patent/SU916255A1/ru

Links

Landscapes

  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Description

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано при изготовлении сфер иэ монокристаллов ферритов.
Известен способ обработки сфер из монокристаллов ферритов, при котором заготовки размещают между инструментами, по крайней мере опия из которых вращают, и осуществляют последовательную обдирку, шлифовку и полировку 111.
Недостатками известного способа являются невозможность получения высокого класса чистоты полированной поверхности, что снижает чувствитель ную и избирательную способность изго тдВляемых приборов, а также низкая производительность процесса, обуславливаемая большим числом операционных переходов.
Обдирка
Шлифовка
Полировка
300-400
800-1000
1800-2500
5 Краме того, обдирку и шлифовку производят инструментом с модулем эластичности Еэове =30-40 кг/см*,полировку - инструментом с модулем эластнчности Ел>*е = 3-8' кг/см .
" На чертеже изображена схема реа лизации способа (стадия полировки).
Верхняя цанга 1 является неподвижной и жестко связана с корпусом установки. В ней закрепляется чашка
15 2. Полировка сфер 3 производится между верхним неподвижным инструментам 4 « подвижным нижним эластичным инструментом 5 нижней чашки 6, закрепленной в цанге 7, которая крепит20 ся на валу электродвигателя (не показан) и вращается, с заданной скоростью.
Цель изобретения - повышение качества и производительности обработки . '
Поставленная цель достигается тем, что все операции осуществляют на эластичных инструментах, а скорости обработки выбирают в следующих пределах, об/мин:
На нижнем инструменте нанесены канавки 8, количество которых зависит от диаметра сферы и размеров инструментов, на которые наносятся алмазные пасты равномерно по их по верхности.
Способ предназначен для получения максимально высокого класса
3
916255
4
чистоты ν14 В полированной поверхности сфер из ферритов и обеспечения тем самым уникальных магнитных свойств получавших изделий.
Как известно, класс чистоты или шероховатость характеризуется микрогеометрией поверхности и оценивается величиной Ка и Кг. Полированная поверхность хрупких материалов состоит из рельефного и трещиноватого слоев, причем величина каждого из них зависит от эластичности'инструментов· и природы применяемого абразива.
Первостепенной задачей полировки является получение минимального рельефного и, соответственно, трещиноватого слоя, так как от их состояния и величины зависят многие свойства кристаллических материалов, в первую очередь оптические и магнитные.
Предлагаемый способ состоит из операций обдирки, шлифовки и полировки с рядом операционных переходов.
Производят обдирку кубиков до сферической формы между алмазной чашкой на металлической связке М-1 (зернистость 250-200) и резиновой чашкой (Еэ0ос.= 30-40 кг/см. Время обдирки - 30 мин, скорость обдирки - 300-400 об/мин, Кг= 8-9 мкм, шероховатость —
Затем следует обдирка сфер на алмазной чашке, связка Б-2 (зернистость 160/125) и на резиновых инструментах (Ез00с= 30-40 кг/смг) . Время обдирки - 30 мин, скорость обдирки - 300-400 об/мин, 4 мкм.
.Шлифовку сфер производят на алмазной чашке, связка Б-2, зернистость 28/20, и на резиновых инструментах (Б1ъо°С= 30-40 кг/см)· Время шлифовки 2 ч,скорость шлифовки - 800-1000об/мин ® 0,6—.0,5 мкм ·
Полировку сфер осуществляют алмазной пастой зернистостью АСМ 5/3 на термопластических полировальниках, например, на основе поливинилхлорида (Е50Ое.= 3-8 кг/см1^), Время полировки -6ч, скорость полировки 1800,—2500 об·/мин, ^хонбчной — 0,080— 0,066 мкм.
Далее производится полировка сфер алмазной пастой зернистостью АСИ 1/0 на термопластичных полировальниках на основе ПВХ, Έ= 3-8 кг/см . Время полировки - б ч, скорость полировки г 1800-2500 об./мин,кои - 0,032 и менее.
Сокращение числа операционных переходов обусловлено использованием эластичных термопластичных материалов, примененных для изготовления нижнего подвижного шлифовальника или полировальника, и интенсификацией режимов обработки сфер из монокристаллов ферритов.
Применение термопластичных материалов, например резины, на стадии
обдирки и шлифовки и поливинилхлорида на стадии полировки вместо текстолита позволяет заметно уменьшить величину трещиноватого слоя, образующегося при шлифовке детали за счет эластичных свойств инструмента, т.е. количество материала, подлежащего съему для получения бездефектной по^лированной поверхности.
Как известно, шлифованная поверхность состоит из двух слоев - рельефного и трещиноватого^ которые в сумме составляют разрушенный слой, подлежащий снятию при полировке. Таким образом, уменьшение величины рельефного слоя при шлифовке и получение минимального трещиноватого слоя являются основными факторами интенсификации процесса обработки хрупких материалов, в том числе и сфер из монокристаллов ферритов. Одним из возможных вариантов является уменьшение удельных давлений на обрабатываемую деталь за счет применения эластичных материалов, обладающих шлифующими и полирующими свойствами, благодаря которым обеспечивается полный контакт обрабатывающего инструмента (чашки) с поверхностью обрабатываемой детали (сферы). Кроме того, эластичные мате риалы в силу своих структурных свойств обладают значительно лучшей износоустойчивостью и термостойкостью, что позволяет эксплуатировать их длительное время и на более высоких режимах. За пределами указанных диапазонов модулей эластичности наблюдается уменьшение производительности обработки. Так, для операции шлифовки при Ε 30<>ο= 20-25кг/см и 50-60 кг/см*· имеет место снижение производительности процесса обработки на 20-30% и ухудшение технологичности процесса, что связано с трудностью корректировки поверхности инструмента и ухудшением адгезионных свойств материала.
Для операции полировки отклонение от оптимального значения модуля эластичности Ει,0θο = 3-8 кг/смг в сторону увеличения и уменьшения его численного значения приводит к уменьшению производительности полировки до 40%, однако требуемые параметры по чистоте ч 14 (Р-П) 8 конечное3 ь 0,032 мкм достигаются и в этом случае, но за более длительное время при резком ухудшении технологичности процесса полировки.
Повышение Качества получаемой поверхности осуществляется совместным действием применяемых инструментов и выбранных режимов обработки, первые из которых позволяют на операциях обдирки и шлифовки быстро сформировать' минимальный трещиноватый слой, удаляемый последующей по5
916255
6
лировкой, а вышеуказанные режиъи обработки являются режимами, при которых максимально используются оптимальные значения физико-механических свойств модуля эластичности и производительность процесса .
обработки является наивысшей, сам . э же процесс носит стабильный и управляемый характер.
За пределами вьвиеуказанных диапа-ι зонов скоростей имеют место следующие процессы: при уменьшении скороети - падение производительности (съема материала деталей) за счет неполного использования шлифующих и полирующих инструментов, при увеличении, скоростей свьаие оптимальных из-за 15 значительного нагрева материала и, соответственно, изменения эластичных свойств наблюдается также падение производительности. Кроме того, ухудшается контакт инструмента с обра- 20 батываемой деталью (проскальзывание), за счет чего могут иметь место поверхностные дефекты (прижоги, риски ), которые снижают класс чистоты полированной поверхности. 25
Использование предлагаемого способа изготовления сфер иэ монокристаллов ферритов позволяет сократить ряд стадий процесса шлифовки, увеличить количество обрабатываемых сфер повысить производительность процесса обработки и достигнуть класса чистоты полированной поверхности готовых изделий до у 14 В.

Claims (3)

  1. Формула изобретения
    Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов, при котором заготовки размещают между инструментами, по крайней мере один из которых вращают, и осуществляют последовательную обдирку, шлифовку и полировку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и производительности обработки, все операции осуществляют на эластичных инструментах, а скорости обработки выбирают в следующих пределах, об/мин:
    Обдирка 300-400
    Шлифовка 800-1000
    Полировка 1800-2500
  2. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обдирку и шлифовку производят инструментом с мо- . дулем эластичности Еаоос = 30-40кг/см;
  3. 3. Способ по π . 1,. о т л и ч βίο щ и й с я тем, что полировку производят инструментом с модулем эластичности = 3-8 кг/см1.
SU792727269A 1979-02-22 1979-02-22 Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов SU916255A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792727269A SU916255A1 (ru) 1979-02-22 1979-02-22 Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792727269A SU916255A1 (ru) 1979-02-22 1979-02-22 Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU916255A1 true SU916255A1 (ru) 1982-03-30

Family

ID=20811284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792727269A SU916255A1 (ru) 1979-02-22 1979-02-22 Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU916255A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100421223C (zh) 半导体晶片,生产半导体晶片的装置及方法
US4663890A (en) Method for machining workpieces of brittle hard material into wafers
DE102009038941B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe
EP2127810B1 (en) Method and device for grinding both surfaces of semiconductor wafers
US20100006081A1 (en) Method for manufacturing silicon matter for plasma processing apparatus
US4793101A (en) Method of making an encircling groove on the edge of a semiconductor slice of a power semiconductor component
JP5318914B2 (ja) 研削方法
US6753256B2 (en) Method of manufacturing semiconductor wafer
JP7045676B1 (ja) 半導体結晶ウェハの製造装置および製造方法
JPH10180624A (ja) ラッピング装置及び方法
JPH0512101B2 (ru)
SU916255A1 (ru) Способ изготовления сфер из монокристаллов ферритов
US5274959A (en) Method for polishing semiconductor wafer edges
JP2007061961A (ja) ラッピング定盤の製作方法及びメカニカルラッピング方法
KR101485830B1 (ko) 내구성이 향상된 플라즈마 처리 장비용 단결정 실리콘 부품 및 이의 제조 방법
WO2019044497A1 (ja) キャリアの製造方法およびウェーハの研磨方法
JPS63150158A (ja) 端面研削盤切込み装置
US20090191793A1 (en) Method of and device for abrasive machining and abrasive tool provided therefor
JPH07100737A (ja) 半導体ウエーハの研磨方法
JP2938836B2 (ja) ガラスディスクのチャンファー加工方法
JP7285507B1 (ja) 半導体結晶ウェハの研削加工方法
GB2116085A (en) Grinding machine and method of grinding a workpiece
JPS60242958A (ja) 硬脆材料の加工法
SU897493A1 (ru) Состав полировальника дл обработки твердых неметаллических материалов
SU892470A1 (ru) Способ изготовлени магнитных головок