SU896401A1 - Способ контрол шероховатости поверхности - Google Patents

Способ контрол шероховатости поверхности Download PDF

Info

Publication number
SU896401A1
SU896401A1 SU792806884A SU2806884A SU896401A1 SU 896401 A1 SU896401 A1 SU 896401A1 SU 792806884 A SU792806884 A SU 792806884A SU 2806884 A SU2806884 A SU 2806884A SU 896401 A1 SU896401 A1 SU 896401A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
radiation
plasma
roughness
wavelength
spectrum
Prior art date
Application number
SU792806884A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Никифорович Денисов
Андрей Борисович Кузнецов
Сергей Николаевич Огородников
Людвиг Михайлович Пискалов
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5539
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5539 filed Critical Предприятие П/Я М-5539
Priority to SU792806884A priority Critical patent/SU896401A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU896401A1 publication Critical patent/SU896401A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к оптическому контролю покрытия, получаемого в вакууме, и может быть использовано при разработке приборов контроля шероховатости поверхностей этих покрытий.
Известен способ определения чистоты поверхности (шероховатости) заключающийся в том, что направляют поток электронных лучей на экран и фотопластинку, касательно к поверхности детали, и по полученному теневому изображению действительного профиля микронервностей поверхности судят о чистоте поверхности (шероховатости) [1 ф
Недостатком известного способа является, то, что неровности определяются интегрально по всему профилю поверхности. Кроме того, в процессе ионно-плазменного напыления этот способ неприменим из-за рассеивания электронных лучей при их взаимодействии с плазмой.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, что направляют излучение определенной длины волны на контролируемую поверхность и регистрируют излучение, отраженное от поверхности £2ф
Недостаток этого способа - невозможность осуществления контроля шероховатости напыляемости поверхности из-за помех, вносимых излучением плазмы, а также' процессом взаимодействия монохроматического излучения с плазмой.
Цель изобретения - контроль поверхности в процессе ионно-плазменного напыления.
Указанная цель достигается тем, что направляют сфокусированное монохроматическое излучение на контролируемую поверхность, выбирают излучение, длина · волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины линии спектра.
Способ заключается в следующем.
Направляют монохроматическое определенной длины волны излучение на конвоируемую поверхность, при этом для поддержания непрерывного контроля ше~ 5 роховатости одновременно с процессом ионно-плазменного напыления выбирают монохроматическое излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины линии .10 спектра плазмы, т.е. чтобы плазма была оптически прозрачной средой.
Отраженное от контролируемой поверхности излучение регистрируется.
Для удовлетворительной регистрации 15 отраженного излучения необходимо, чтобы интенсивность монохроматического излучения задавалась в 5-10 раз больше, чем интенсивность излучения плазмы в той же части спектра, что и спектральная W линия монохроматического излучения.
При рассеянии излучения на контролируемой поверхности меняется мощность регистрируемого сигнала, определяющая степень шероховатости поверхности. ^3
Таким образом, при реализации предлагаемого способа контроль шероховатос4 ти и напыления осуществляется одновременно.

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к контрольноизмерительной технике, в частности к оптическому контролю покрыти , нолучае- мого а вакууме, и может быть использовано при разработке приборов контрол  шероховатости поверхностей этих покрытий . Известен способ определени  чистоты новерхности (шероховатости) заключа о-. шдйс  в том, что направл ют поток элеК тронных лучей на экран и фотопластинку, касательно к поверхности детали, и по полученному теневому изображению действительного профил  микронервностей noBepjcHocTH суд т о чистоте поверхности (шероховатости) 1.. Недостатком известного способа  вл  етс , то, что неровности определ  отс  илтегрально по всему профилю новерхности . Кроме того, в нроцессе ионио-плазменного напылени  этот способ неприменим из-за рассеивани  электронных луче при их взаимодействии с плазмой. Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  способ контрол  шероховатости поверхности, заключающийс  в том, что направл ют излучение определенной длины волны на контролируемую поверхность и регистрирую излучение , отраженное от поверхности 2 J Недостаток этого способа - невозможность осуществлени  контрол  шероховатости . наньш е мости новерхности из-за помех, вносимых излучением плазмы, а также процессом взаимодействи  монохроматического излучени  с плазмой. Цель изобретени  - контроль поверхности в процессе ионно-плазменного напылени . Указанна  цель достигаетс  тем, что направл ют сфокусированное монохроматическое излучение на контрошфуемую поBepxiiocTb , выбирают излучение, длина ВОЛ1ГЫ которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуццфины линии спектра. 389 Способ заключаетс  в следующем. Направл ют монохроматическое определенной длины волны излучение на кон1ро;1Г11фуемую поверхность, при этом дл  поддержани  непрерывного контрол  шероховатости одновременно с процессом ионно-плаэменного напылени  выбирают монохроматическое излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины лйнии спектра плазмы, т.е. чтобы плазма была оптически прозрачной средой. Отраженное от контролируемой поверх ности излучение регистрируетс . Дл  удовлетворительной регистрации отраженного излучени  необходимо, чтобы интенсивность монохроматического излуч ни  задавалась в 5-.10 раз больше, чем интенсивность излучени  плазмы в той же части спектра, что и спектральна  лини  монохроматического излучени . При рассе нии излучени  на контролируемой поверхности мен етс  мощность регистрируемого сигнала, определ юща  степень шероховатости поверхности. Таким образом, при {зеализадии предлагаемого способа контроль шероховатос 1 ти и напылени  осуществл етс  одновременно . Формула изобретени  Способ контрол  шероховатости поверхности , заключающийс  в том, что направл ют излучение определенной длины волны на контролируемую поверхность ц регистрируют излучение, отраженное от поверхности, отл и чающий с   тем, что, с целью контрол  поверхности в процессе ио1шо-плазмеш1ого напылени , направл ют сфокусированное монохроматическое излучение на контролируемую поверхность, выбирают излучение, длина волны которого отлична от длины волны спектра плазмы на 2-3 полуширины линии спектра. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское сввдетельство СССР № 111923, кл. q 01 В 11/30, 07.01.57.
  2. 2.Авторское свхщетельство СССР № 386238, кл. Q 01 В 11/ЗО, 26.09.73 (прототип).
SU792806884A 1979-07-30 1979-07-30 Способ контрол шероховатости поверхности SU896401A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792806884A SU896401A1 (ru) 1979-07-30 1979-07-30 Способ контрол шероховатости поверхности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792806884A SU896401A1 (ru) 1979-07-30 1979-07-30 Способ контрол шероховатости поверхности

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU896401A1 true SU896401A1 (ru) 1982-01-07

Family

ID=20845128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792806884A SU896401A1 (ru) 1979-07-30 1979-07-30 Способ контрол шероховатости поверхности

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU896401A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4939370A (en) * 1987-11-02 1990-07-03 Schering Aktiengesellschaft Method of and device for inspecting and/or controlling metallization processes

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4939370A (en) * 1987-11-02 1990-07-03 Schering Aktiengesellschaft Method of and device for inspecting and/or controlling metallization processes

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10746531B2 (en) Wear amount measuring apparatus and method, temperature measuring apparatus and method and substrate processing system
US9163931B2 (en) Apparatus and method for measuring thickness and temperature and substrate processing system
US6974524B1 (en) Apparatus, method and system for monitoring chamber parameters associated with a deposition process
US5371582A (en) Thickness/depth measuring apparatus and method for measuring the thickness of a film and the depth of a groove
MX162872B (es) Metodo y aparato para llevar a cabo mediciones del revestimiento de una superficie la cual contiene pigmento de hojuelas metalicas
KR910002616B1 (ko) 광전입자 검출장치
JPH0972723A (ja) フィルムの厚さと屈折率を測定するための測定方法及び測定装置
JP3308135B2 (ja) インプロセス膜厚モニター装置及び方法
SU896401A1 (ru) Способ контрол шероховатости поверхности
TWI798614B (zh) 光學臨界尺寸與光反射組合裝置、系統及方法
FI903117A0 (fi) Anordning foer maetning av dimensioner.
KR20000011448A (ko) 투명재료의두께를측정하기위한방법및장치
US4260259A (en) Metal etch rate analyzer
JPS60202940A (ja) 食刻深さ測定方法
US4077723A (en) Method of measuring thickness
JPS6073407A (ja) 膜厚モニタ
KR100326491B1 (ko) 전자기방사측정방법
JPH0346386A (ja) 反射防止皮膜の厚み制御方法及び装置
JPH1062129A (ja) 膜厚測定方法
RU951938C (ru) Способ определени температуры образцов полупроводниковых материалов
JP3067216B2 (ja) 異物検査装置の使用方法
JPS62255810A (ja) 微少溝深さ測定方法および装置
SU815485A1 (ru) Способ определени толщиныпОКРыТи
JPS5752807A (en) Device for measuring film thickness
JPS6323324A (ja) ドライエツチング装置