SU894821A1

SU894821A1 - Устройство дл измерени квантовой эффективности излучени электролюминесцентных структур

Info

Publication number: SU894821A1
Application number: SU792851896A
Authority: SU
Inventors: Василий Ефимович Золотухин; Евгений Алексеевич Криворотов; Игорь Евгеньевич Марончук; Юрий Евгеньевич Марончук; Ирина Валерьевна Пивоварова; Нина Сергеевна Рудая
Original assignee: Институт Физики Полупроводников Со Ан Ссср; Новосибирский государственный университет
Priority date: 1979-12-07
Filing date: 1979-12-07
Publication date: 1981-12-30

Description

(54) УСТРОЙСТЮ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ .КВАНТОВОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫХ СТРУКТУР

1

Изобретение относитс к устройствам дл измерени электролюминесцентного излучени , в частности квантовой эффективности электро.11юминесцентного излучени эпитаксиальных р-п структур.

Известно устройство дл измерени квантовой эффективности излучени электролюминесцентных структур, содержащее источник питани структуры и калиброванный фотоприемник, включенньай в измерительную схему ij.

Дл измерени квантового выхода излучени электролюминесцентных структур с помощью такого устройства необходимо из измер емой структуры изготовить излучательный элемент заданной площади. При этом разрушаетс часть контролируемой струк уры и затрачиваютс дополнительные средства на изготовление контрольного элемента. Кроме того, устройстве не может быть использовано дл контрол однородности излучени по площади структуры.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс устройство, содержащее фотоприемник, который подключен к блоку измерений, капилл рный микрозонд и предметный

столик с омическим контактом, который подключен к блоку питани 2} .

Недостатком такого устройства вл етс то, что фотоприемник собирает очень малую часть света излучаемого электролюминесцентной структурой , поэтому чувствительность устройства низка и снижаетс при уменьшении поперечного сечени жидкостно10 го контакта, что усложн ет процесс измерений.

Цель изобретени - упрощение процесса измерени .

Указанна цель достигаетс тем,

15 что в устройстве дл измерени квантовой эффективности излучени электролюминесцентных структур, содержащем фотоприемник, который подключен к блоку измерений, капилл рный микро

20 зонд и предметный столик с омическим контактом, который подключен к блоку питани , омический контакт предметного столика выполнен в виде кольцевого электрода и размещен в пазу

25 предметного столика, а в фотоприемнике выполнено сквозное отверстие, в котором установлен капилл рный микрозонд .

Claims

Кроме того, кольцевой электрод выполнен из инди ,покрытого слоем галли . На фиг. 1 и 2 представлены примеры выполнени устройства.. Устройство содержит предметный столик 1, в котором выполнен паз дл размещени кольцевого электрода 2 и закреплено ограничительное кольцо 3 дл фиксации исследуемой структуры 4.Фотоприемник 5, снабженный контактами б, имеет отверстие, в котором расположен микрозонд 7 с жидкометаллическим электродом 8. Микрозонд кре питс в отверстии эпоксидной смолой 9. Мембрана 10 и нагрузочный шток 11 служат дл вьщавливани ртути при контакте микрозонда. Через разъем 12 и контакт 13 устройство подключаетс к блоку 14 питани и измерителю 15 тока, а фотоприемник. 5 с помощью контактов 6 - к блоку 16 измерений. Дл увеличени чувствительности устройства поверхность предметного сто ,лика 1, ограниченна кольцевым элект родом 2, покрыта отражающим слоем 17 Варианты выполнени устройства отличаютс конструкцией капилл ра 18 корпуса микрозонда 19 и наличием защитного кольца 20, которое служит дл защиты исследуемой структуры и исключени растекани жидкости из капилл ра . Устройство работает следующим образом. Через жидкий электрод микрозонда 7 и кольцевой электрод 2 к структуре прикладываетс напр жение. Излучение исследуемой структуры 4, возникающее при протекании через нее электрического тока, принимаетс фотоприемником 5 ,и регистрируетс блоком 16 измерений . Формула изобретени 1.Устройство дл измерени квантовой эффективности излулени электролюминесцентных структур, содержащее фотоприемник, который подключен к блоку измерений, капилл рный микрозонд и предметный столик с оми еским контактом, который подключен к блоку питани , отличающеес тем, что, с целью упрощени процесса измерени , омический контакт предметного столика выполнен в виде кольцевого электрода и размещен в пазу предметного столика, а в фотоприемнике выполнено сквозное отверстие , в котором установлен капилл рный микрозонд. 2.Устройство по п. 1, отличающеес тем, что кольцевой электрод выполнен из инди , покрытого слоем галли . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Gazz W.N. Characteristics of а Gat- S. Percenet Efficieneg JEEE, Fraus, EO-12, 531, 1965.
2.Авторское свидетельство СССР i 557701, кл. Н 01 L 21/66, 1976.