SU894690A1

SU894690A1 - Device for regulating temperature of screen furnace

Info

Publication number: SU894690A1
Application number: SU772531866A
Authority: SU
Inventors: Илья Яковлевич Корчмарь
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4932
Priority date: 1977-09-28
Filing date: 1977-09-28
Publication date: 1981-12-30

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭКРАННОЙ ПЕЧИ(54) DEVICE FOR REGULATING THE TEMPERATURE OF THE SCREEN FURNACE

II

Изобретение относитс к автоматическому регулгфованию температуры прецезвовкых экранных печей с центральной и подпорной зонами нагрева, например, в Д{1а1шзонв температур эпитаксйальных пронесссф , требующих минимального разброса текоюратуры в рабочем объеме печи.The invention relates to the automatic regulation of the temperature of precursor screen furnaces with central and retaining heating zones, for example, in D {1a1 zon at temperatures of epitaxial protrusions requiring a minimum temperature spread in the furnace working volume.

Известныустройства дл регулировани температуры нагрева электрических печей, в которых осуществл етс позон вое регулщювание теа шерату причем дл каждой зоны устанавливаетс tqjon раммный регул тор l.There are known devices for controlling the heating temperature of electric furnaces, in which the temperature is applied to the zone of temperature, with tqjon frame controller l being set for each zone.

В таких устройствах осхиестайиаетс довольно .точное поддервкание равнтелерной то тературы по всей длине печи, однако наличие нескольких программных регул5аи приводит к чрезмерному удорожанию |;установок.In such devices, rather accurate support of the equal-temperature temperature throughout the length of the furnace, however, the presence of several software adjustments leads to an excessive increase in the cost of the | settings.

Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство дл регулировани ташюратуры экранной печи с центральной Ц подпорными зонами нагрева, содердкашее нагреватели, программный регул тор,Closest to the present invention is a device for regulating a screen furnace oven with central C retaining heating zones, content heaters, a program controller,

вход которого подключен к датчику температуры центральной зоны, а выход -к нагревателю той же зоны, и ведомые регул торы , входы которых подключены к датчикам температуры центральной и подпорных зон.the input of which is connected to the temperature sensor of the central zone, and the output to the heater of the same zone, and the slave controllers whose inputs are connected to the temperature sensors of the central and retaining zones.

Известный программный регул тор работает таким образом, чтобы сигнал датчика температуры центральной зоны равн лс уставке регул тора. Каждый ведомый ре10 гул тор воспринимает разность температур датчиков центральной и подпорных зон и стремитс поддерживать ее постсь нной . Уставки ведомых регул торов подбираютс при настройке дл выравнивани The known software controller works in such a way that the signal of the central zone temperature sensor is equal to the controller setting. Each slave regulator senses the temperature difference between the sensors of the central and retaining zones and tends to keep it constant. The settings of the slave controllers are adjusted when adjusting to equalize

IS температуры краев рабочего объема печи. При измененииуставки гфограммногб регул тора регул торы следуют за ffiiM с посто нным перегревом 1,2.IS temperature of the edges of the working volume of the furnace. When you change the settings of the gfogrambnb regulator, the regulators follow ffiiM with a constant overheating of 1.2.

Недостатком известного устройства вл етс изменение перегрева подпорных зон при изменении ус;тавки программного регул тора. В результате мен етс т&Л 1юратурва компенсаци краев централь ной зоны, что приводит к иеравномерноу распредепекию температуры по длине ечи. Дл уменьшени этого эффекта мож-но увеличивать длину подпорных зон, однако это приводит, к увеличению расхода у электроэнергии.A disadvantage of the known device is a change in the overheating of the retaining zones with a change in the setpoint of the program controller. As a result, the variation of the edges of the central zone varies, which leads to an even distribution of temperature along the length of the beach. To reduce this effect, we can increase the length of the retaining zones, but this leads to an increase in the consumption of electricity.

Цель изобретени повышение то ности регулировани температуры нагрева в широком диапазоне путем коррекции он температуры краев рабочего объема 10 ечи без увеличени длины зон регулироани .The purpose of the invention is to increase the thermostat control of the heating temperature in a wide range by adjusting the temperature of the edges of the working volume of 10 liters without increasing the length of the control zones.

Указанна цель достигаетс тем, что устройство снабжено согласующими блоками с регулируемыми коэффициентами пе- и редачи, а нагреватели подпорных зон выполнены секционными, причем выходы программного регул тора подключены через согласующие блоки к соответствующим секци м нагревателей подпорных зон, ,. а выходы ведомых регул торов подключены к другим секци м, нагревателей подорных зон.This goal is achieved by the fact that the device is equipped with matching blocks with adjustable transfer coefficients, and the heaters of the retaining zones are sectional, with the outputs of the software controller connected via matching blocks to the corresponding sections of the heaters of the retaining zones,. and the outputs of the slave controllers are connected to other sections of the heaters of the inflatable zones.

На чертеже представлено устройство дл регулировани температуры экранной s печи, где условно изображены центральна зона 1 и подпорные зоны 2 печи, причем кажда подпорна зона состоит из двух частей 3 и 4.The drawing shows a device for controlling the temperature of the screen s furnace, where the central zone 1 and the supporting zones 2 of the furnace are conventionally shown, each retaining zone consisting of two parts 3 and 4.

Устройство содержит программный регул тор 5, вход которого подключен к датчику 6 температуры центральной зоны, а выход - к нагревателю 7 указанной зоны ,, и ведомые регул торы 8, входы которых подключены к датчикам 9 и 10 температуры центральной и подпорных зон со- 35 ответственно, а выходы - к секционным нагревател м 11 соответствующих частей подпорных зон. Кроме того, устройство содержит согласующие блоки .12, входы которых пошшочены к соответствующим « выходам программного регул тора, а выходы - .к секционным нагревател м 13 соответствуюишх частей подпорных зон. Коэффиштенты передачи согласукдцих устганавлившотс при настройке « си&лы V. осугаютс неизменными в процессе работы.The device contains a software controller 5, the input of which is connected to the sensor 6 of the temperature of the central zone, and the output to the heater 7 of the specified zone ,, and the slave regulators 8, whose inputs are connected to the sensors 9 and 10 of the temperature of the central and retaining zones, respectively. and the outlets are to sectional heaters of 11 respective parts of the retaining zones. In addition, the device contains matching blocks .12, the inputs of which are hooked to the corresponding "outputs of the program controller, and the outputs to sectional heaters of 13 corresponding parts of the retaining zones. The transmission coefficients are adjusted according to the settings of the “ampli ﬁ cers of the V. amp;

При изменении тетллературы нагрева программньпл регул тором выше или нижеWhen changing the heating tetraplaure programmed regulator above or below

исходной величины происходит компенсаци соответственно недогрева или перегрева подпорных зон за счет работы согласующих звеньев, что позвол ет обеспечить плоский температурный профиль. Температурное распределение в рабочем объеме после регулировки с целью Kopvрекшт выравниваетс подбором уставок ведомых регул торов.the initial value is compensated for, respectively, underheating or overheating of the retaining zones due to the work of matching links, which allows for a flat temperature profile. The temperature distribution in the working volume, after adjustment for the purpose of Kopvrex, is equalized by the selection of the settings of the slave controllers.

Использование предлагаемого устройства позвол ет повысить точность регулировани температуры нагрева электропечи в широком диапазоне, не увеличива при этом ее длины, и снизить расходы потребл емой электроэнергии.The use of the proposed device allows improving the accuracy of controlling the heating temperature of an electric furnace in a wide range, without increasing its length, and reducing the cost of consumed electricity.

Claims

1. V. V. Pevzner. Precision temperature controllers, M., Energie, 1973, p. 11.12, fig. 1-5.

2. German Patent No. 710876, cl. 24 Wl, publ. 09/23/41.

L //; l l

//

eight

//

/ J

0

7