SU887500A1 - Способ обработки поверхности изделий из стекла - Google Patents

Description

данным способом приводит к значительное се неоднородности, степень экстракции нонов щелочных металлов неравномерна в разлнчных местах обрабатываемой поверхностн . Все это сннжает эффективность очнсткн II модификации иоверхности данным методом.

Целью изобретени   вл етс  повыше 1не степени очисткн поверхности и ее одиородиости , за счет экетракцпп загр знений л щелочных компонеитов из приповерхностного сло  стекла.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что струю пара с критерием Рей гольдса 250- 2300 направл ют вертикальио сверху-вниз иод углом 10-80°С к обрабатываемой новерхиости .

Иаиравлсиие иаровой струп растворител  сверху - вниз и под углом к обрабатывае .мой поверхности полностью лнквпдирует застойные зоиы конденсата растворнтел , енособствует его эиергичиому и равиомериому нод,воду к поверхности и отводу загр зисниого конденсата.

Парова  стру  ирн критерии Рейиольдса до 2300 характеризуетс  ламииариым нотоком в виде иараллельных струй, ие смегнивающнхс  одна с другой. Понообменные ироцессы в системе пары растворител  - приповерхноетный слой стекла протекает в данном случае наиболее полно и равномерно.

Поииженне критери  Re ниже 250 резко сннжает степень механнческого воздействн  паров растворнтел  на обрабатываемую поверхность, что ухудщает качество ее очпеткн. Кроме того, степень и равномерность экстракции щелочных ионов практически не улучщаютс . Повышение значеии  критери  Re больще 2300 приводит к тому, что к ламинарному потоку пара добавл етс  турбулентна  составл юща . Это резко снижает равномерность воздействи  паров растворител  на обрабатываемую поверхность.

Кроме того, снижаетс  степень химического воздействи  растворнтел  вследствие того, что растворитель, практически не успева  вступить с обрабатываемой поверхностью в контакт, удал етс  нз зоны обработки HOBoii порцией растворител .

Панравленне наровой струи под углом к обрабатываемой поверхиости менее 10° снижает стеиень механического воздействи  и более 80° приводит к разбрызгиванию копдеисироваиного растворител  и образованию на поверхности застойных зон, что ухудшает равномерность экстракции щелочных ионов нз нрнповерхностного сло  стекла.

Прнмер 1. Стекл нные нластииы из нзвестковосиликатного стекла размером 127X127X2,1 мм после операции механнческой обработки и отмывки подвергают воздействию иаров изоиропилового спирта.

С этой целью -. в ванне с размерами 500 500 мм и глубиной 700 мм создают определенное давление паров нзонроннлового снирта иагреваиием его до 80°С. Затем

кассету со стекл нными нластинами помещают в нижнюю часть ванны. Угол наклона нластин к вертикали составл ет 10°.

В результате иарова  етру , направленна  сверху-вннз, конденсируетс  иа обрабатываемой новерхностн; конденсат стекает на дно ванны. Критерий Рейнольдса наровой струн равен 250. Врем  коиденеации составл ет 70 с. С целью удалени  остатков конденсата с новерхности нластин путем иагреваи11 , наход щийс  на дне ванны изонропиловый сиирт испар ют. Пластины доиолиителыю выдерживают в нарах в течение 30 с н извлекают нз ванны. Оценкой крнтерн  Re скорость конденсации наров растворител  нри заданных температурах и габарнтах ванны. Скорость конденсацин нзмер ют по скорости иеремеиденн  границы конденсата на стенках ванны.

Пример 2. Стекл нные пластины из известковосилнкатного стекла размером 101022,5 мм после операции механической обработки и отмывки иодвергают воздействию иаров азеотроииой смеси следующего состава, вес. %:

Трифтортрихлорэтаи86,4

Ацетои12

Этиловый спирт1,6

С этой целью, в ванпе с размерами

400 400 мм и глубиной 700 мм создают определенное давление наров смеси нагреванием ее до 60°С. Затем кассету со стекл нными пластинами помещают в нижнюю часть ванны. Угол наклона нластин к вертнкали составл ет 45°С.

Критерий Рейнольдса паровой струи, конденсирующейс  на обрабатываемой новерхиоети , составл ет 1275. Врем  конденсации 13,5 с. Затем наход щийс  на дне

ванны конденсат испар ют. Пластины доиолиительпо выдерживают в парах азеотропной смеси в теченне 40 с и извлекагот из ванны.

Прнмер 3. Стекл нные пластины из оптического бесцветиого боросиликатиого стекла размером 70 70 3,5 мм после операции механической обработки подвергают воздействию иаров трифтортрихлорэтана . С этой целью в ваине с размерамн

200 200 мм н глубиной 700 мм создают определенное давление паров трифтортрихлорэтаиа иагреваннем его до 50°С. Затем кассету с обрабатываемыми нластннами иомещают в нижнюю часть ванны. Угол

наклона пластин к вертикали 80°. Критерий Рейнольдса первой струи, конденсирующейс  иа обрабатываемой поверхноети. равен 2300. Врем  конденсацин 5 с. Затем наход щийс  иа дне ванны конденсат испар ют . Пластниы дополнительно выдерживают в парах в течение 30 с п извлекают из ванны. Степень очистки поверхности стекл нных пластин контролируют после операции ианесепи  маскируюидего сло  (в даниом случае хрома) по количеству проколов в нем. Мерой однородности иоверхиости стекла служит количество локальных подтравов в маскирующем слое иосле стандартной операции фотолитографии .

Сравнительные данные по предлагаемому способу п по способу в прототипе 2 приведены в табл. 1.

Как видио из таблицы, иредлагаемый способ позвол ет значительно повысить качество обработки иовер.хности стекла перед оиерацией нанесени  маскирующего сло , что делает его весьма перспективным, в частности, при изготовлении ирецизионных фотошаблонов.

Claims (2)

1.Патеит Франции № 2340915, кл. С 03 С 15/00, опублик. 1978.

2.Гласман Л. И. и др. Аппарат очистки хрупких иодложек в иарах органических растворителей. - «Электронна  техника, сер. 7, Технологи , организаци  производства и оборудование, вып. 1 (86), 1978, с. 14.