SU876802A1 - Электролит дл анодировани алюмини - Google Patents
Электролит дл анодировани алюмини Download PDFInfo
- Publication number
- SU876802A1 SU876802A1 SU792842671A SU2842671A SU876802A1 SU 876802 A1 SU876802 A1 SU 876802A1 SU 792842671 A SU792842671 A SU 792842671A SU 2842671 A SU2842671 A SU 2842671A SU 876802 A1 SU876802 A1 SU 876802A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrolyte
- anodizing
- oxide
- aluminum
- films
- Prior art date
Links
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
(54) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ АНОДИРОВАНИЯ АЛЮМИНИЯ
Изобретение относитс к электролитическому получению оксианьгх покрытий (анодирование) на алюминиевой фольге (тонка пленка алюмини ), используемой в производстве микросхем. ; Известен электролит дл анодировани алюмини , содержащий 20%-ную серную кислоту с добавкой моноэтаноламина (150г/л) Cl. Однако известный электролит предназначен дл анодировани металлических изделий с получением толстых оксидных Покрытий и не может быть .использован дл анодировани тонких пленок алюмини примен емых в микроэлектронике дл полу чени структур: подложка-проводник-диэлектрик-проводншс . Анодирование при соз дании таких структур провод т с использованием фоторезистивной маски, котора должна надежно защищать контактные переходы и площадки от окислени . Кроме того, известный электролг1т на основе серной кислоты достаточно .агрессивен и маска из фоторезиста в нем выдерживает . напр жение формировани окисла не более 4О В. Таким образом, о качестве окисной пленки (ее электрических характеристиках ) можно судить уже по напр жению формировани , поскольку улучшение диэлектрических свойств окисной пленки находитс в зависимости, пропорциональной увеличению формующего напр жени . Кроме того, в электролитах на основе серной кислоты существенным недостатком вл етс ступенька на границе металл контактной площадки-оксид, котора также приводит к отслаиванию фоторезиста как и увеличение формующего напр жени . Наиболее близким к предлагаемому вл етс электролит дл анодировани тонких пленок алюмини , содержащий ортофосфорную кислоту и воду 2 J. Однако данный электролит недостаточно эффективен - оксидные пленки формируютс при напр жении 52,5 В. В этом режиме пленки -на 1 мкм анодируютс за 2О-30 мин, а участки буауши; контактов защищаютс фоторезистом без угрозы 38 его разрушени . Поскольку цидлектрические свойства пленок наход тс в пр мой зависимости от напр жени формовки, то повышение напр жени при анодировании алюмини привоцит к повышению качества окисных пленок, но повышение напр жени формовки в электролите известного состава приводит к тому, что участки буауших контактов, защищенные фоторезистом , разрушаютс . :, Цри этом„со1гоотивлеш1е изол ции составл ет 1О 1О°Ом, а электрическа прочность изол ции - 35В, Цель изобретени - повышение электрических свойств оксидных пленок и интенсификаци процесса. Указанна цель достигаетс тем, что электролит, содержащий ортофосфорную ки слоту и воду, дополнительно содержит мо ноэтаноламин при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорна кислота3-7 Моноэтаноламин1 2 ВодаОстально Электролит готов т растворением ком- понейтов в воде. Процесс анодировани рекоменауетсл проводить в потенциостатическсж режиме при напр жении формовки 10О В и анодной плотности тока 46 мА/см . Выбор данного электролита дл анодировани тонких пленок, алюмини обусловлен тем, что в известном электролите пр
Ортофосфорна кислота (уд. вес. 1,86 г(смЗ)
Моноэтаноламин
Вода
2 Анодна плотность тока, мА/см
Формирующее напр жение, В i Скорость развертки напр жени . В/с
Скорость анодирований на толшину 1 мкм, мин
Технико-экономический эффект при использовании предлагаемого электролита в производстве заключаетс в том, что данный электролит улучшает диэлектрические характеристики окисных пленок, тем самым
7 2
5 1,5
3 1
91 6
75 120
15
Claims (2)
- повышаетс качество тонкопленочных коммутационных многоуровневых плат на основе алюмини и его оксидов. Применение предлагаемого электролита сокращает технологический цикл за счет уменьшени 2 напр жении формовки 100 В происходит отслаивание фоторезиста, защищающего контактные площадки и под него проникает электролит. При этом контактна площадка тер ет заданные размеры, конфигурацию и электрические свойства, что приводит к браку. Введение в электролит на основе ортофосфорной кислоты аминопроизводной одноатомных спиртов исключаетэтот дефект и в св зи с этим дает возможность увеличить напр жение формовки до 1ОО В. При этом барьерный слоК в пористом оксиде, ответственный за диэлектрические свойства окисной пленки, так как имеет высокое сопротивление ионному току, увеличиваетс пропорционально напр жению формовки. Эксперимент показывает, что скорость роста окисной пленки в присутствии добавки увеличиваетс в 2 раза по сравнению с анодированием в электролите известного состава. На основании микроскопических исследований установлено, что в предлагаемом электролите образуютс ровные мелкозернистые пленки с меньшим .размером окисных чеек и более плотной их упаковкой , при этом сопротивление изол ции составл ет lo-lO Ом, а прочность кзол цин 50 В. В таблице представлены примеры предлагаемого электролита. 58768 времени анодировани ориентировочно &-. i раза и увеличивает процент выхода годных , что в процессе его использовани позвол ет полг1ить экономию, котора сосгавп ег окало 10 тыс руб. на годовую $ программу. - Формула изобретени Электролит дл анодировани алюмини , содержащий ортофосфорную кислоту и воду, отличающийс тем, что, с целью повышени электрических свойств оксидных пленок и интенсификации процесса, О 026 он дополнительно соцержит моноэтаноламин при следующем соотношении коктонентов/об .%: Ортофосфорна кислота3-7 Моноэтаноламин1-2 ВодаОстальное Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Пименова К. Н. и др. О вли нии моноэталонамина на процесс анодировани сплавов алюмини . Журнал прикладной химии/1975, т. 13, № 9, с. 19711974 .
- 2. Патент США № 3723258, кл. 204-15, опублик. 1973.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792842671A SU876802A1 (ru) | 1979-10-04 | 1979-10-04 | Электролит дл анодировани алюмини |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792842671A SU876802A1 (ru) | 1979-10-04 | 1979-10-04 | Электролит дл анодировани алюмини |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU876802A1 true SU876802A1 (ru) | 1981-10-30 |
Family
ID=20860505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792842671A SU876802A1 (ru) | 1979-10-04 | 1979-10-04 | Электролит дл анодировани алюмини |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU876802A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001057292A1 (en) * | 2000-02-01 | 2001-08-09 | Kemet Electronics Corporation | Alkanolamine-phosphoric acid anodizing electrolyte |
-
1979
- 1979-10-04 SU SU792842671A patent/SU876802A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001057292A1 (en) * | 2000-02-01 | 2001-08-09 | Kemet Electronics Corporation | Alkanolamine-phosphoric acid anodizing electrolyte |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR910009167B1 (ko) | 알루미늄 전해 커패시터용 고전압 박지의 에칭 공정 | |
JP3068430B2 (ja) | 固体電解コンデンサ及びその製造方法 | |
US4131520A (en) | Two-stage anodization of capacitor electrodes | |
KR20100116546A (ko) | 금속의 표면처리 방법 | |
WO1986004618A1 (en) | Process for forming composite aluminum film | |
US2174841A (en) | Electrolytic device | |
US2122392A (en) | Electrolytic device | |
JP2000073198A (ja) | バルブ金属を陽極処理するための方法及び電解質 | |
SU876802A1 (ru) | Электролит дл анодировани алюмини | |
DE2819685A1 (de) | Galvanische primaerzelle mit wenigstens einer negativen elektrode aus aluminium oder einer aluminiumlegierung | |
US4159927A (en) | Anodizing aluminum in boric acid bath containing hydroxy organic acid | |
JP3411237B2 (ja) | 固体電解コンデンサ用電極箔、その製造方法及び固体電解コンデンサ | |
GB387437A (en) | Process of manufacture of thin solid films, insulating and having a high dielectric strength | |
US20150361575A1 (en) | Method of surface-treating aluminum material for dissipating heat | |
US3365377A (en) | Method of sealing anodized aluminum | |
US1965683A (en) | Coating aluminum | |
US3378471A (en) | Anodized tantalum and niobium and method of forming an oxide coating thereon | |
Ovechenko et al. | Transformation of the nanoporous structure of anodic aluminium oxide and its “nonelectrolysis” electroluminescence | |
US4381231A (en) | DC Etching of aluminum electrolytic capacitor foil | |
JPS5815550B2 (ja) | 被覆型二酸化鉛電極の製造方法 | |
US3726783A (en) | Apparatus for producing an aluminum foil or band with an electrically insulating or decorative coating thereon | |
JP2569422B2 (ja) | 酸化アルミニウム積層構造皮膜体とその製造方法 | |
JP3478039B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の化成方法 | |
EP0097759B1 (en) | Barrier anodizing of aluminium and aluminium alloy substrates | |
JPH02194195A (ja) | チタン及びチタン合金の陽極酸化処理方法 |