SU872990A1 - Преобразователь давлени - Google Patents

Description

(54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

Claims (3)

1. Изобретение относитс  к контрольн измерительной технике и предназначен дл  измерений давлений в области высоких температур. Известно устройство, содержащее стекло, металлический корпус, металлическую мембрану и подвижную систему электродов D I. Недостатком этога устройства  вл етс  ограниченный диапазон рабочих температур измер емых сред. Наиболее близким по технический сущности, и достигаемому эффекту к изобретению  вл етс  устройство, состо щее из вакуумированного корпуса, мембраны и двух электродов,один кэ которых расположен на мембране, а др гой на подложке с подогревателем f2 Недостатком зтого устройства  вд  етс  невысока  точность измерений пр высоких температурах измер емых сред Цель изобретени  - повышение точности преобразовани . Указанна  цель достигаетс  тем, что в. преобразователь введены два дополнительных злектрода, установленных неподвижно относительно друг друга , по меньшей мере один из которых размещен на подложке, и система температурной стабилизации, включенна  между подогревателем и дополнительными электродами. Кроме того, измерительный электрод расположенный на подложке, и дополнительные электроды выполнены в виде полупроводниковых чувствительных слоев с системами электродов сток-исток. При этом полупроводниковый слой выполнен из материалов, содержащих окислы щелочноземельных металлов. На фиг. 1 представлен преобразователь , общий вид; на фиг. 2 - конкретный вариант исполнени . Преобразователь содержит вакуумированный корпус 1, измерительные элек- тродь 2 и 3, подложку 4 с подогревателем 5, дополнительные электроды 6 и 7 и систему температурной стабилизации 8, Измерительный электрод 2 и дополнительные электроды 6 и 7 выполнены в виде полупроводниковых слоев 9 с системами электродов сток-исток (фиг. 2). Преобразователь работает следующим образом. При действии давлени  на-мембрану с электродом 3 измен етс  рассто ние между электродами 2 и 3, и ток между ними зависит от температуры измер емой среды и от давлени . У дополнительных неподвижных относительно друг Друга электродов 6 и 7 ток зависит только от температуры. С изменением температуры измер емой среды из мен етс  ток, протекающий через электроды . Сигнал с дополнительных электродов 6 и 7 подаетс  на систему тем пературной стабилизации 8, котора , в виде обратной св зи вли ет на подогреватель , измен ет его мощность, чт приводит к стабилизации тока. Таким образом, исключаетс  вли ние температуры при измерении..давлени . Формула изобретени  . Преобразователь давлени , содержащий вакуумированный корпус, чув ствительную к давлению мембрану, под 04 ложку с подогревателем, систему из двух измерительных электродов, один из которых установлен на мембране, а другой - на подложке, отличающ и и с   тем, что, с целью повьшени  точности преобразовани , в него введены два дополнительных электрода, установленных.неподвижно относительно друг друга, по меньшей мере один из которых размещен на подложке, и система температурной стабилизации, включенна  между подогревателем и дополнительными электродами.
2. 2.Преобразователь по п. 1, о тличающийс  тем, что измерительный электрод, расположенный на подложке, и дополнительные электроды вьшолнены в виде полупроводниковых чувствительных слоев с системами электродов сток-истОк.
3. 3.Преобразователь по п. 2, о т ли чающий с  тем, что полупроводниковый слой выполнен из материалов , содержащих окислы щелочно- земельных металлов. Источники информации, прин тые во внимание приэкспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 418746, кл. G 01 L 11/00, 17.07.72; 2, Авторское свидетельство СССР № 575513, кл. G 01 L 9/00, 27.01.76 (прототип).