SU787920A1 - Преобразователь давлени - Google Patents

Преобразователь давлени Download PDF

Info

Publication number
SU787920A1
SU787920A1 SU772541141A SU2541141A SU787920A1 SU 787920 A1 SU787920 A1 SU 787920A1 SU 772541141 A SU772541141 A SU 772541141A SU 2541141 A SU2541141 A SU 2541141A SU 787920 A1 SU787920 A1 SU 787920A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
measuring
membrane
compensating
converter
transducer
Prior art date
Application number
SU772541141A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Илларионович Лунев
Вера Николаевна Коковина
Владимир Анатольевич Жуков
Original Assignee
Опытное Конструкторско-Технологическое Бюро "Кристалл" С Опытным Производством Ленинградского Технологического Института Им.Ленсовета
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Опытное Конструкторско-Технологическое Бюро "Кристалл" С Опытным Производством Ленинградского Технологического Института Им.Ленсовета filed Critical Опытное Конструкторско-Технологическое Бюро "Кристалл" С Опытным Производством Ленинградского Технологического Института Им.Ленсовета
Priority to SU772541141A priority Critical patent/SU787920A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU787920A1 publication Critical patent/SU787920A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

(54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к контрольно-измери тельной, технике, а именно к устройствам изм рени  давлени . Известно устройство, содержащее мембрану, заделанную в корпусе с нанесеюЕЫми на ней тензорезисторами 1 . Недостатком устройства  вл етс  необходимость создани  автоматического регул тора температуры. Наиболее близкий по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому  вл етс , устройство, содержащее основание и соединелную с ним полупроводниковую плас тину, с выполненными в ней мембранами, с размещенными на них тензорезисторами измерительного и; деформированного компенсационн го преобразовател  2. Недостатком указаршого решени   вл етс  недостаточна  точность из-за нестабильности деформации компенсационного преобразовател  Цель изобретени  - повышение точности измерени . Указанна  цель достигаетс  тем, что полость образованна  основанием и профилем мембраны компенсационного преобразовател , заполнена материалом, коэффициент температурного расширени  которого равен козффициенту температурного расширени  материала пластшп). На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство , общий вид; на фиг. 2 - измерительна  схема. Преобразователь давлени  содержит полупроводниковуто пластину 1, на которой методами Планерной технологии сформированы мембрана 2 измерительного и мембрана 3 компенсационного преобразователей давлени . Мембрана 2 жестко .соединена при помощи св зующего ьгщества 11с основанием 4, образу , таким образом, вакуумную  чейку 5 измерительного преобразовател . Полость в полупроводниковой пластине 1 с мембраной компенсационного преобразовател  заполнена св зующим веществом 11, образу   чейку 6 компенсащюнного преобразователен. На мембране 2 измерительного преобразовател  размещен измерительный преобразователь 7 деформации в злектрический сигнал, а на мембране 3 компенсащ1онного преобразовател  давлени  размещен компенсационный преобразователь 8 деформации в электрически) сигнал. Выход источника 9 питани  соединен со входами измерительного и компенсационного преобразователей деформации в электрический сигнал, выходы которых, в свою очередь, соединены со входом схемы 10 обработки. Устройство работает следующим образом. Напр жение с выхода источника 9 питани  подаетс  на вход измерительного 7 и компен сационного 8 преобразователей деформации в электрический сигнал. При воздействии на мембрану 2 измер емого давлени  на выходе измерительного преобразовател  7 деформации в электрический сигнал по вл етс  сигнал, завис щий от величины измер емого давлени  и температуры преобразовател  7. Сигнал с ко пенсационного преобразовател  8. деформации в, электрический сигнал зависит только от его температурь и не. зависит от величины измер емого давлени , так как мембрана 3 компен сационного преобразовател  деформирована во врем  формировани   чейки 6 компенсационного преобразовател  и жестко зафиксирована например св зующим веществом 11. Так как измерительный и компенсационный преобразо ватель деформации расположены на одной плас тине I, то температура их близка друг другу. Сигналы с выхода измерительного 7 и компенсационного 8 преобразователей деформации 7 4 поступают на вход схемь} 10 обработки, ги. из сигнала с измерительного преобразовател  7 исключаетс  температурна  составл юща . ПредПредлагаемое изобретение обеспечивает точность измерени , расшир ет рабочий температурный диапазон прибора, высокую технологичность изготовлени  преобразовател . Формула изобретени  Преобразователь давлени , содержащий основание и соединенную с ним профилированную полупров никовую пластину с выполненными в ней мембранами с размещенными на них тензорезисторами измерительного и деформированного компенсационного преобразователей, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  точности измерени , полость, образованна  основанием и профилем мембраны , компенсационного преобразовател , заполнена материалом, коэффициент температурного расщирени  которого равен коэффициенту температурного расщиренн  материала- пластин. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент ГДР № Л10343, кл. 42 К 7/05, 1975.
  2. 2.Авторское свидете. СССР по за вке № 2497514/18-10, кл. G 01 L 9/06, 17.06.77.
    фиг f
SU772541141A 1977-11-02 1977-11-02 Преобразователь давлени SU787920A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772541141A SU787920A1 (ru) 1977-11-02 1977-11-02 Преобразователь давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772541141A SU787920A1 (ru) 1977-11-02 1977-11-02 Преобразователь давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU787920A1 true SU787920A1 (ru) 1980-12-15

Family

ID=20731970

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772541141A SU787920A1 (ru) 1977-11-02 1977-11-02 Преобразователь давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU787920A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3517999A (en) Optical strain gauge
US3088323A (en) Piezoresistive transducer
ATE34613T1 (de) Wandlerelement, verfahren zu seiner herstellung sowie verwendung fuer einen druckaufnehmer.
EP0198695A3 (en) Fluid pressure sensor with temperature indicator
US2966057A (en) Apparatus for measuring attenuation of ultrasonic energy
SU787920A1 (ru) Преобразователь давлени
US3332285A (en) Fast precision temperature sensing thermocouple probe
ES460838A1 (es) Transductor compuesto para la medicion de condiciones fisi- cas.
US3252325A (en) Fluid pressure gauge
US3280628A (en) High precision capacitive strain gage
SU960559A2 (ru) Датчик давлени
JPS6147371B2 (ru)
US2882731A (en) Double diaphragm electrical pressure gage
US3917936A (en) Method and apparatus for measuring the cross-correlation of two dynamic mechanical quantities
SE7610151L (sv) Elektronisk vermemengdmetare
SU741060A1 (ru) Датчик механических величин
SU987417A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
SU543825A1 (ru) Тензотелеметрическое устройство
SU974167A1 (ru) Преобразователь давлени
Massey et al. A miniature pressure transducer
SU815538A1 (ru) Датчик давлени
SU1545115A1 (ru) Датчик давлени
SU1569627A1 (ru) Теплоэлектрический преобразователь давлени
SU626376A2 (ru) Датчик давлени
SU900139A2 (ru) Датчик давлени