SU974167A1 - Преобразователь давлени - Google Patents
Преобразователь давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU974167A1 SU974167A1 SU782666702A SU2666702A SU974167A1 SU 974167 A1 SU974167 A1 SU 974167A1 SU 782666702 A SU782666702 A SU 782666702A SU 2666702 A SU2666702 A SU 2666702A SU 974167 A1 SU974167 A1 SU 974167A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- circuit
- posistor
- pressure converter
- pressure
- membrane
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
(54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ
Изобретение относитс к устройствам измерени давлени . Известны устройства, в которых термокомпенсаци производитс применением методов схемной компенсации Ij Однако введение дополнительных пассивных элементов в схему измерени ведет к снижению чувствительности . Нсшболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению вл етс преобразователь давлени , содержащий полупроводниковую мембрану с размещенными на ней тензорезисторси1 и, образующую вместе с основанием вакуумную чейку 2. Недостатком известного устройства вл етс низка точность,. ограниченный температурный диапазон измерений и сложность в виду наличи контура автрматического регулировани температуры. Цель изобретени - повьааение точности и расширение рабочего температурного диапазона измереиий. Указанна цель достигаетс тем, что преобразователь давлени снабжен позистором, расположенным на мембране в месте размещени тензоре з и сторов. На чертеже изображен преобразователь давлени . Преобразователь содержит, полупроводниковую пластину 1,мембрану преобразовател давлени 2, тензометрическую схему 3, основание 4, вакуумную чейку 5, диэлектрическую пленку б, позистор 7, источник питани 8, схему обработки 9. Указанные элементы соединены следующим образом. Мембрана преобра:зовател 2 сформирована на полупроводниковой пластине 1. Полупроводникова пластина 1 соединена с основанием 4 и образует с ним вакуумную чейку 5. Тензометрическа схема 3 сформирована на мембране 2. Диэлектрическа пленка 6 покрывает полупроводниковую пластину 1 и прикреплена к ней, натфимер , электростатически. Поверх диэлектрической пленки 6 сформирован позистор 7 над тенэометрической схемой 3. Выход источника питани 8 соединен оо входом тензометрической схема 3 и с позистором 7. Выход измерительной I 3 соединен со входе схемы обработки 9.
Устройство работает следующим образом .
Напр жение пихани о выхода источника питани 8 подаетс на вход тензометрической схемы 3 и на поэистор 7. При .воздействии на мембрану 2 измер емого давлени на выходе тенэометрической схемы 3 по вл етс сигнал, пропорциональный величине измер емого давлени .
Ток протекающий через позисторный элемент, нагревает его. Это приводит к увеличению сопротивлени поэистора и. следовательно, уменьшению тока. Близка к релейной зависимость сопротивлени поэистора от температуры позвол ет стабилизировать температуру позистора и поверхности преобразовател , наход щегос под ним.
Использование предлагаемого датчика по сравнению с известным, обеспечивает повышение точности измерени в 3-4 раза, расширение рабочего температурного диапазона ( от -50 до +100С) , увеличение надежности
v4/z
М.
датчика за счет возможности замены .позисторного элемента, сформированного на диэлектрической пленке.
Claims (2)
1.Ааторское свидетельство СССР
226909 г кл. G 01 L 9/04, 13.05.66,
2.Патент ГДР 110343,
кл. 42 к 7/05, 1975 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782666702A SU974167A1 (ru) | 1978-09-25 | 1978-09-25 | Преобразователь давлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782666702A SU974167A1 (ru) | 1978-09-25 | 1978-09-25 | Преобразователь давлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU974167A1 true SU974167A1 (ru) | 1982-11-15 |
Family
ID=20786299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782666702A SU974167A1 (ru) | 1978-09-25 | 1978-09-25 | Преобразователь давлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU974167A1 (ru) |
-
1978
- 1978-09-25 SU SU782666702A patent/SU974167A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4013065A (en) | Moisture dermatometer | |
| KR880701362A (ko) | 기계적 변형 측정용 회로장치 | |
| US3540283A (en) | Temperature sensor | |
| SU974167A1 (ru) | Преобразователь давлени | |
| US3534809A (en) | Temperature measuring devices | |
| US2652727A (en) | Device for measuring absolute pressure | |
| US3447376A (en) | High accuracy temperature measuring devices | |
| JPS6147371B2 (ru) | ||
| SU121426A1 (ru) | Прибор посто нного контрол давлени металла на валки | |
| Mbacke et al. | Analog, compact and economical solution for the compensation of implantable piezoresistive blood pressure sensors for wireless medical monitoring | |
| SU1545115A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU1000804A1 (ru) | Термокомпенсированный интегральный датчик давлени (его варианты) | |
| SU445865A1 (ru) | Пневмоэлектрический измеритель нат жени | |
| SU1645862A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
| SU460463A1 (ru) | Способ калибровки мембранного емкостного манометра | |
| JPS61202151A (ja) | 湿度・温度検出装置 | |
| SU985719A1 (ru) | Полупроводниковый датчик давлени | |
| SU998883A1 (ru) | Теплоэлектрический вакуумметр | |
| SU654918A1 (ru) | Устройство дл измерени переменного магнитного пол | |
| US3383912A (en) | Force measuring apparatus | |
| SU787920A1 (ru) | Преобразователь давлени | |
| SU777406A1 (ru) | Тензометрический чувствительный элемент | |
| SU896382A1 (ru) | Тензорезистор | |
| SU1138748A1 (ru) | Тензоакселерометр | |
| SU934257A1 (ru) | Полупроводниковый тензопреобразователь |