SU1045024A1 - Емкостный датчик давлени - Google Patents

Емкостный датчик давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1045024A1
SU1045024A1 SU823454072A SU3454072A SU1045024A1 SU 1045024 A1 SU1045024 A1 SU 1045024A1 SU 823454072 A SU823454072 A SU 823454072A SU 3454072 A SU3454072 A SU 3454072A SU 1045024 A1 SU1045024 A1 SU 1045024A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
membrane
electrode
capacitive pressure
capacitive
sensor
Prior art date
Application number
SU823454072A
Other languages
English (en)
Inventor
Леонид Григорьевич Темник
Original Assignee
Харьковский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.В.И.Ленина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Харьковский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.В.И.Ленина filed Critical Харьковский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.В.И.Ленина
Priority to SU823454072A priority Critical patent/SU1045024A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1045024A1 publication Critical patent/SU1045024A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий изолированные друг от друга чувствительную к давлению мембрану , жестко закрепленную по периферии , и элзктрод, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности и упрощени  конструкции, электрод выполнен в виде диска, прилегающего к мембране со стороны, противоположной избыточному давлению, и срекпленного с ней в точке ее поверхности .

Description

//Л/УУУ/Т/ /////// ЧУ ЧУУХЧ Х Х Ч //77////7/7///7////. / ////////у Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к емкостным датчикам давлени  жидких и газообразных сред, и может быть ис пользовано в различных отрасл х про мышленности, например в машиностро НИИ при испытании тепловых двигате лей . Известен емкостный датчик.давле содержащий корпус и мембрану, на которых размей1ены соответственно неподвижный и подвижный электро,цы. Корпус и мембрана выполнены из монокристаллов , ориентированных так, что их оптические оси совпадают п этом оба монокристалла соединены неразъемно I. Однако указанный емкостный датчик имеет сложную конструкцию. Наиболее близким по техлической сущности и достигаемому результату к предлагаемому  вл етс  емкостный датчик давлени , содержащий корпус электрически изолированные друг от друга упругую мембрану, закрепленную в корпусе, и электрод. При этом электрод выполнен из ситалла имеет вогнутую сферическую поверхность , на которую нанесен слойьхро ма, поверх которого - слой моноокиси кремни . Начальное рассто ние м ду неподвижным электродом и мембра ной мало и выбираетс  из условий в можности полного прилегани  мембраны k электрически изолированной от нее поверхности неподвижного эл€ Ктрода .. . Однако известный датчик также имеет сложную конструкцию хот  и обеспечивает достаточно высокую чувствительность. Цель изобретени  - упрощение кон струкции емкостного датчика и повышение его чувствительности. Поставленна  цель достигаетс : тем что в емкостном датчике давлени , содержащем изолированные друг от друга чувствительную к давлению мембрану, жестко закрепленную по периферии, и электрод, последний выполнен в виде диска, прилегающего к мембране со стороны, противополож ной избытачному давлению, и скреп (Ленного с ней в точке ее поверхности . Полное прилегание электрически изолированных друг от друга мембраны и электрода в начальном положеНИИ и то, что изменение емкости определ етс  изменениемположени  практически всей поверхности мембра Н1Ы относительно электрода за исключением точки креплени  к нему обусловливают эффективное использование рабочей площади мембраны, что обеспечивает высокую чувствительность датчика. На фиг. 1 изображен емкостный дат-чик давлени  с недеформированной мембраной, общий вид; на фиг, 2 - то же, с выгнутой мембраной, общий вид. Емкостный датчик давлени  содержит корпус 1, на котором жестко закреплена по контуру мембрана 2; выполненна  в виде упругой пластины, например, из сплава 55БТЮ и образующа  с корпусом 1 герметичную камеру 3 дл  подачи среды, давление которой необходимо измерить, металлический электрод 4, выполненный в виде диска, электрически изолированный от мембраны 2,.например, нане сенной На его поверхность окиснойпленкой 5 и соединенный с мембраной 2 при помощи штифта 6f который подпружинен пружиной 7 и расположен, например, в центральных точках мембраны 2 и электрода 4. Штуцер 8 предназначен дл  подачи в камеру 3 среды , давление которой н« обходимо измерить , а электрические проводники 9 служат дл  подключени  мембраны и элб ктрода к измерительной схеме. Емкостный датчик давлени  работает следующим образом. Среду, давление которой необходимо измерить, подают в камеру 3, образованную корпусом 1 и мембраной 2, через штуцер 8. В результате этого мембрана 2 выгибаетс  и электрод 4, соединенный с ней при помощи штифта 6, подпружиненного пружиной 7, мен ет свое положение относительно нее и корпуса 1. Изменение взаимного положени  рабочих поверхностей мембраны 2 и электрода 4, электрически изолированных диэлектрической пленкой 5, приводит к изменению электрическойемкости датчика, которое измер етс  измерительной схемой (не показана, к которой датчик подключен при помощи элек-тричёских проводников 9. Измер емое изменение электрической емкости характеризует давление среды в камере 3. Изобретение обеспечивает значительное упрощение конструкции емкостного датчика давлени . При этом эффективно используетс  рабоча  площадь мембраны вследствие использовани  краевой поверхности элек трода и. мембраны, а не центральной как в г1эвестных конструкци х.

Claims (1)

  1. ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий изолированные друг от друга чувствительную к давлению мембрану, жестко закрепленную по периферии, и электрод, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и упрощения конструкции, электрод выполнен в виде диска, прилегающего к мембране со стороны, противоположной избыточному давлению, и срекплен-— ного с ней в точке ее поверхности.
    104502
SU823454072A 1982-06-17 1982-06-17 Емкостный датчик давлени SU1045024A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823454072A SU1045024A1 (ru) 1982-06-17 1982-06-17 Емкостный датчик давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823454072A SU1045024A1 (ru) 1982-06-17 1982-06-17 Емкостный датчик давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1045024A1 true SU1045024A1 (ru) 1983-09-30

Family

ID=21017033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823454072A SU1045024A1 (ru) 1982-06-17 1982-06-17 Емкостный датчик давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1045024A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР 823913, кл. G 01 L 9/12, 1981. 2. Осадчий Е.П. Проектирование датчиков дл измерени механических величин М. , Машиностроение., 1979, с. 345-346 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4785669A (en) Absolute capacitance manometers
US2999386A (en) High precision diaphragm type instruments
JP4187923B2 (ja) 圧力センサー
US4295376A (en) Force responsive transducer
EP0990885A2 (en) Capacitive pressure sensor
US7219551B2 (en) Differential pressure sensor
US2999385A (en) Pressure sensing instrument
US4229776A (en) Capacitive capsule for aneroid pressure gauge
US3232114A (en) Pressure transducer
SE7503078L (sv) Kapacitivt kraftavkenningsorgan.
US5559280A (en) Combustion chamber pressure transducer and method of making same
SU1045024A1 (ru) Емкостный датчик давлени
US5479716A (en) Capacitive based gravity sensor
JPH06323939A (ja) 静電容量式センサ
SU1675703A1 (ru) Емкостный датчик давлени
JPS62291533A (ja) 圧力検出器
SU1663461A1 (ru) Датчик давлени
RU2115897C1 (ru) Интегральный преобразователь деформации и температуры
SU1739225A1 (ru) Емкостной датчик давлени
SU1719940A1 (ru) Полупроводниковый тензопреобразователь
SU1765734A1 (ru) Емкостный датчик давлени
JPS6423121A (en) Weight detector
RU2060483C1 (ru) Датчик давления
CA1116428A (en) Pressure gauge
SU872990A1 (ru) Преобразователь давлени