SU1739225A1 - Емкостной датчик давлени - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным дл  измерени  давлени  с повышенной точностью в широком диапазоне температур и возможности одновремен- ного измерени  температуры, Поставленна  цель достигаетс  тем, что в емкостном датчике давлени , содержащем корпус 1, мембрану 2 с жестким центром 3, опорным основанием 4, диск 5, закрепленный с зазором относительно мембраны, преобразователь деформаций в виде двух пар противолежащих электродов с контактными площадками, перва  7 из которых расположена по центру мембраны и диска, а втора  8 - на опорном основании и периферии диска. Симметрично контактным площадкам размещены электрически соединенные с электродами дополнительные контактные площадки, а электроды выполнены из резистивного материала, характеристики которого удовлетвор ют представленному соотношению. Зна  сопротивлени  электродов первой и второй пар, можно определить и разность температур этих электродов, т.е. можно вводить термодинамическую поправку, учитывающую нестационарность температуры измер емой среды. 2 ил, (Л С

Description

Фи2.2

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Емкостной датчик давления, содержащий корпус, размещенные в корпусе мембрану с жестким центром и утолщенным периферийным основанием и закрепленный над мембраной с зазором диск, причем на жестком центре мембраны закреплен круглый электрод измерительного конденсатора, а на периферийном основании мембраны концентрично круглому электроду закреплен кольцевой электрод эталонного конденсатора, при этом на диске закреплены ответные аналогичные электроды измерительного и эталонного конденсаторов, причем каждый электрод измерительного и эталонного конденсаторов электрически соединен с соответствующей основной контактной площадкой, расположенной соответственно на периферийном основании мембраны и диска, отличающийся тем, что, с целью повышения точности за счет уменьшения температурной погрешности в широком диапазоне температур и расширения функциональных возможностей за счет дополнительного измерения температуры, в него введены соединенные электрически с соответствующим электродом измерительного и эталонного конденсаторов дополнительные контактные площадки, которые закреплены на периферийном основании и диске и расположены симметрично соответствующим основным контактным площадкам, причем электроды выполнены из резистивного материала, а величина удельного поверхностного сопротивления электродов Rss выбрана из соотношения ^IRs3l>,^<^RsKl где Rsk - удельное поверхностное сопротивление контактных площадок;

   Оз , ctk -соответственнотемпературный коэффициент сопротивления электродов и контактных площадок;

   Пэ, п_к - безразмерные величины, численно равные количеству квадратов в электродах и контактных площадках соответственно.