SU868377A1 - Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров - Google Patents

Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров Download PDF

Info

Publication number
SU868377A1
SU868377A1 SU802870372A SU2870372A SU868377A1 SU 868377 A1 SU868377 A1 SU 868377A1 SU 802870372 A SU802870372 A SU 802870372A SU 2870372 A SU2870372 A SU 2870372A SU 868377 A1 SU868377 A1 SU 868377A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
polarization element
polarization
oscilloscope
rotor
transformer
Prior art date
Application number
SU802870372A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Яковлевич Горбань
Петр Иосифович Дрозд
Леонид Владимирович Поперенко
Original Assignee
Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им. Т.Г.Шевченко
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им. Т.Г.Шевченко filed Critical Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им. Т.Г.Шевченко
Priority to SU802870372A priority Critical patent/SU868377A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU868377A1 publication Critical patent/SU868377A1/ru

Links

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЮУАЛЬНОЙ ИНДИКАЦИИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к фотоэлектри чесним оптико-пол ризационным устройствам и может быть использовано в оптической промышленности дл  быстрого анализа эллипсометрических параметров. Известно устройство, предназначе1П1ое дл  мгновенной индикации проекдионной картины в виде эллипса пол ризации све та на экране осциллографа. Работа устрой ства основана на использовании  влени  оптического гетеродинировани . 1. Недостатком устройства  вл етс  слож ность конструкции к настройки. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  устройство дл  визуальной индв, кации эллипсометрических параметров пол ризованных ) света, содержащее оптически св занные входную щель, компенсатор пол ризованный элемент фотоприемника и осциллограф Г2}. Недостатком известного устройства  в л ютс  сложность конструкции и мала  на дежность, обусловленные наличием в уст ройсгве двух идентичных каналов фотоэлектрической регисграцтш световых пучков и необходимостью, тщательной юстировки болыиого количества оптических yi3лов и деталей. Цель изобретени  - упрощение конструкции и повышение надежности устройства . Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  визуальной индикаоии эллнпсометрических параметров пол ризованного света, содержащем оптически св занные входную щель, пол ризадионный элемент, фотоприемник и осциллограф , после входной щели последова1ельно по ходу луча установлены модул тор интенсивности света, пол ризационный элемент с устройством дл  его вращени , синусно-косинусный вращающийс  трансформатор с охотками, ротор котрротч) кинематически соединен с пол ризационным элементом, а выводы роторной обмотки трансформатора подключены к выходу фотоприемника и выводы каждой из двух статорных обмоток трансформатора под38 ключены соответственно к горизонтально- му и вертикальному входам осциллографа, и фотоприемкик. Причем плоскость пропускани  пол ризационного элемента и его ось вращени  расположены в горизонтальной плоскости, а лини  полюсов ротора совмещена с линией полюсов одной из статорных обмоМодул тор интенсивности света ыо жет быть размещен между фотоприемником и пол ризационным элементом. На чертеже представлена схема предлагаемого устройства. В устройстве имеютс  входна  щель 1, пол ризационный элемент 2, фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) 3, модул тор 4 интенсивности света, устройство 5, вра щени  пол ризационного элемента, ротор)ка  обмотка 6 синусно-косинусного вращающегос  трансформатора (СКВТ), статорные обмотки 7 и 8 синусно-косинуоного вращающегос  трансформатора, -гори зонтальный 9 и вертикальный iO входы осциллографа. Устройство работает следующим образом . Пол ризованное излучение, поступающе через входную щель 1 от исследуемого объекта) прерываетс  модул тором 4 света . Модулированный световой сигнал проходит через пол ризованный элемент 2, приводимый во вращение устройством 5, и попадает на фотокатод ФЭУ 3. Сигнал с выхода ФЭУ подаетс  на роторную обмотку 6. Статорные обмотки 7 и 8 соответственно подключаютс  в горизонтальному 9 и вертикальному 10 входам осциллографа . Пол ризационньгй элемент и ро тор синусно-«осинусного вращающегос  трансформатора при вращении св заны меж ду собою посредством зубчатого редуктор с коэффициентом передачи 1:1 и первоначально установлены так, что плоскость пропускани  пол ризационного элемента и его ось вращени  расположены, например, в горизонтальной плоскости, а лини  полюсов рютора совпадает с линией полюсов одной из статорных обмоток синусно-коси нусного .вращающегос  трансформатора. Если пол ризационный элемент 2,зафйк сирован в произвольней положении, то на экране осциллографа высвечиваетс  отрезок пр мой, длина которого пр мо пропор циональна величине интенсивности светового потока, прошедщего через пол ризационный элемент в данном его азимуталь ном положении, а азимутальное положение высвечиваемого отрезка однозначно опреГ7 делено азимутальным положением пол ризационного элемента. При повороте пол ризационного элемента 2 вследствие его кинематической св зи с ротором СКВТ одновременно измен етс  величина высчевиваемого отрезка и его азимут. Поэтому при непрерывном вращении пол ризационного элемента концами высвечиваемого отрезка на экране осциллографа описываетс  фигура индикатрисы интенсивности пол$физованного света в зависимости от азимутальных положений плоскости пропускани  пол ризационного элемента. Дл  того, чтобы по осциллограмме индикатрисы интенсивности пол ризованного света . можно было определ ть отношение величин интенсивностей при различных азимутах пол ризационного элемента и эллипсометрические параметры, необходимо перед измерени ми расположить плоскость пропускани  пол ризационного элемента в одной из плоскости исследуемого объекта и совместить при этом линию полюсов ротора трансформатора с линией полюсов из статорных обмоток трансформатора. Предлагаемое устройство не нуждаетс  в тщательной юстировке оптических узлов и требует при эксплуатации меньщей квалификации обслуживающего персонала, а также по сравнению с известными устройствами  вл етс  более надежным, поскольку содержит значительно меньшее количество оптических деталей и электронных узлов. Формула изобретени  1-. Устройство дл  визуальной индикации эллипсометрических параметров пол ризованного света, содержащее оптически св занные входную щель, пол ризованный элемент, фотоприемник и осциллограф, отличающеес  тем, что, с целью упрощени  конструкции и повышени  надежности устройства, после входной щели в нем последовательно по ходу луча установлены модул тор интенсивности света, пол ризационный элемент с устройством дл  его вращени , синусно-косинусный вращающийс  трансформатор с обмотками, ротор которого кинематически соединен с пол ризационным элементом, а выводы роторной обмотки трансформатора подключены к выходу фотоприемника и выводы каждой из двух статорных обмоток трансформатора подключены соответственно к горизонтальному и вертикальному входам осциллографа и фотоприемник. 2. Устройство по п. .1, о т л и ч( а ю щ е е с   тем, что шюскость пропускани  пол ризационного элемента и его ось вращени  располо сены в горизонталь ной плоскости, а лини  полюсов ротора совмещена с линией .полюсов одной из статорных обмоток. , 3. Устройство по п. 1, о т л и ч аю щ е е с   тем, что модул тор интен7 сивности света размещен между фотопрть емником и пол ризационным элементом. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе. 1.Дмитриев А. Л, Оптика и спектро асопи , 1972, т. 32, с. 191-19S.
  2. 2.Дмитриев А. Л., Трофимов В. А. Приборы и техника эксперимента, 1973, № 6, с. 151-152.
SU802870372A 1980-01-10 1980-01-10 Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров SU868377A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802870372A SU868377A1 (ru) 1980-01-10 1980-01-10 Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802870372A SU868377A1 (ru) 1980-01-10 1980-01-10 Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU868377A1 true SU868377A1 (ru) 1981-09-30

Family

ID=20872536

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802870372A SU868377A1 (ru) 1980-01-10 1980-01-10 Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU868377A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19601727C1 (de) Optisches Meßverfahren und optische Meßanordnung zum Messen eines magnetischen Wechselfeldes mit erweitertem Meßbereich und guter Linearität
CN108957426A (zh) 一种激光雷达光电探测系统探测性能测试方法及装置
Howard et al. The Mount Wilson magnetograph
JPS63300971A (ja) 電圧検出装置
RU2135983C1 (ru) Способ измерения пропускания, кругового дихроизма, оптического вращения оптически активных веществ и дихрограф для его осуществления
KR0173672B1 (ko) 전류 세기를 측정하기 위한 광 파이버 장치
SU868377A1 (ru) Устройство дл визуальной индикации эллипсометрических параметров
US3438713A (en) Device for measuring or testing the image forming quality of lens systems
US3778619A (en) Input connections for differential amplifiers
US3192825A (en) Spectrally coded optical transmission of images
SU742805A1 (ru) Способ измерени тока
JPS6345519A (ja) 光弾性測定装置
SU1126882A1 (ru) Устройство дл измерени высокого напр жени
US3545865A (en) Spectropolarimeter
US3561873A (en) Recording spectropolarimeter with zero-level compensator
US2968736A (en) Cycling mechanism for photoelectrical devices
JPS62110162A (ja) 零相電流検出装置
SU1296854A1 (ru) Устройство дл измерени параметров двупреломлени
SU1323967A1 (ru) Магнитооптическое устройство дл измерени силы тока
SU728001A1 (ru) Пирометр
JPS58208672A (ja) 相判別装置
SU702245A1 (ru) Автоматический пол риметр
SU1337782A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени действующего значени переменного тока
SU1239626A1 (ru) Калибратор фазовых сдвигов
SU129039A1 (ru) Двухлучевой фотоэлектрический спектрофотометр с электронно-лучевой трубкой