SU823459A1 - Катодный узел - Google Patents

Description

( 54) К АТОД НЫ И УЗЕЛ

Claims (2)

1. Изобретение относитс  к иаготовлен{1Ю устрсЛств ап  катодного распыпени а более к жкретно к катоаам планерной магметрикой системы ионного распылени  и межетбыть использовано в установках вл  нанесени  пленок на подложки ионным распылением. Известно устройство, гда катоо выполнен в випе осн юани , к которому С помощью винтов прикреплены магниты, полюс- тле наконечники И средства охлаждени :.. Мишень в виое пластины прикреплена к основанию катода с помснпью уплотнитель- шлх. так, что между обратной стороной мишени и детал ми катода имеетс  полость, внутри которс аир- купирует вода Y. Недостатками данн конструкции аовп ютс  низка  производитега ность вследс1 еав саогююй опершгии смены мишеш и ма- поб надежности герметичности уппотнитель юа. колец и сложность ксккструкции и креп йвни  мишени. Из известных технических решений наболее близким по технической сущности предлагаемому  вл етс  катодный узел л  установок нанесени  покрытий в вакуме , содержащий анод, П«юбразное основаие с полостью дл  хладагента, на торах которс  о закреплен катод-мишень 2 Недостатком известного устройства  вл ютс  низкие :9ффективность охлаждени  производительность. Цель изобретени  - повышение эффективности охлаждени  и прсшзводительност Указанна  цель достигаетс  благодар  тому, что катодный узел дл  установок нанесени  покрытий в вакууме, содержащий анод, П-обрааное основание с полостью дл  хладагента, на терцах которото закреплен катод - мишень, снабжен мембраной , закрепленной на выступах, которые выполнены на внутренней бсжовой поверхности основани . На чертеже изображена конструкци  устройства. 38 Устройство содержит П-образное OCHO-I вание 1 с полостью дл  хладагента, пред- ставл кшее собой корпус цилиндрической или другой формы, изготовленное из немагнитного материала - меди или нержавеющей стали, 0 анод (на чертеже не показан ) в виде замкнутой петли, изготов- иный из меди. Магнитные средства включают множество пр моугольных посто нных магнитов 2, расположенных под полюсным наконечником 3 по периметру внутри корпуса П-юбразного основани  1, и магнитопровод 4 с полюсным наконечником 5. Вода подаетс  через полость между двум  коаксиапьными трубками 6 и 7 и выводитс  через трубу 7, расположенную в отверстии магнитсшровода 4. Трубка 6,. приваренна  к П-обрааному основанию 1, служит также дл  подачи на него потенциала от источника питани  {на чертеже не показан). На торцах П-образного основани  1 за креплен катод-мишень 8, выполненный в виде диска или пластины, который вклады ваетс  в полость полюснс О наконечника 3 и фиксируетс  с помощью зажима 9, прикрепленного к полюсному наконечнику 3 с помощью винтов 1О. Мембрана 11 закреплена на выступах, выполненных на внутренней боковой поверхности П-образного основани  1. Под давлением воды мембрана 11 прижимаетс  всей полостью .к поверхности катода - мишени 8, создава  хороший тепловой контакт. Изол ци  П-образного основани  1 катода от стенки вакуумной камеры 12 осу ществл етс  с помощью диэлектрических прокладок 13 и 14. Локализаци  плазмы над катодом - мишенью достигаетс  с по мощью заземленного экрана 15, расположенного в непосредственной близости от П-образного основани  1. Экран изготавливаетс  обычно из нержавеющей стали . . Предлагаемый катодный узел опробова поп чением титановых и алюминиевых по крытий на диэлектрических подложках. Испытани  катодного узла показали высокую эффективность охлаждени  катоца - мишени. Так, в случае катода - ми шени из титана 1ОО мм при посто нной мощности КВТ тё мпература на повер ности катода - мишени в 2 раза ниже, чем в известных устройствах (см. табл.1). 9 Т а б лица емпература а мишени, ®С 650-700 200-250 емпература ЗОО-35О 1OO-1SO а подложке, 0 В случае катода - мищени из алюмини , меюцего низкую температуру плавлени , редельна  допустима  мощность, а,слеовательно , и предельна  скорюсть осажени  покрыти  может быть увеличена не енее, чем в 2 раза (см. табл. 2). Таблица 2 редельно допустима  мошность , КВТо, 9-1, о 1,8-2,0 Скорость осаждени , А/сек.35-4070-80 Увеличение скорости осаждени  покрыти  позвол ет в конечном итого увеличить производительность процесса металлизации. Кроме того, снижение температуры катода - мишени решает проблему перегрева подложки, что особенно важно при получении толстых ппенок на полупроводниковых пластинах. Формула изобретени  Катодный узел дл  установок нанесеки  покрытий в вакууме, содержащий анод, П-образное основание с полостью дл  хлад , агента, на торцах которого закреплен ка«. тод-мишень, отличающийс  тем, что, с целью повышени  эффективности охлаждени  и повышени  производительности , он снабжен мембраноЛ, закрепленной на выступах, выполненных на внутренней боковой поверхности основани . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент США №3956093, кл.. 204-192, 1976.
2. 2.Патент США № 3878085, к . 204-192, 1975 (прототип).