Claims (3)
Формула изобретенияClaim
1. Способ приготовления образцов оксидных пленок для электронной микроскопии, включающий нанесение на подложку металлического подслоя по форме отделяемых образцов, металлической пленки, электролитическое анодирование металлической пленки и последующее отделение оксидной пленки путем растворения подслоя, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса отделения и качества оксидной пленки, в качестве металлического подслоя осаждают пленку переходного металла, а процесс электролитического анодирования проводят в водных электролитах, растворяющих оксид металлического подслоя.1. The method of preparation of samples of oxide films for electron microscopy, comprising applying to the substrate a metal sublayer in the form of detachable samples, a metal film, electrolytic anodizing of a metal film and subsequent separation of the oxide film by dissolving the sublayer, characterized in that, in order to increase the efficiency of the separation process and oxide film, a transition metal film is deposited as a metal underlayer, and the electrolytic anodization process is carried out in a electrolytes, dissolving the oxide of the metal sublayer.
2. Способ по π. 1, отличающийся тем, что в качестве переходного металла используют медь, а в качестве электролита — 0,1—2%ный водный раствор лимонной кислоты.2. The method according to π. 1, characterized in that copper is used as a transition metal, and 0.1-2% aqueous solution of citric acid is used as an electrolyte.
3. Способ по π. 1, отличающийся тем, что в качестве переходного металла используют ваннадий, а в качестве электролита 0,1—5%-ный водный раствор перекиси водорода и сульфата натрия.3. The method according to π. 1, characterized in that bathdium is used as a transition metal, and 0.1–5% aqueous solution of hydrogen peroxide and sodium sulfate is used as an electrolyte.