Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к технике измерени и контрол толщин покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной и машиностроительной промышленности. Известен способ определени толщины покрыти , заключагадийс в том что лазерное излучение с определенной длительностью импульса и с заданной мощностью фокусируют на поверхность исследуемого покрыти , определ ют пороговую плотность потока энергии, привод щую к разрушен покрыти и определ ют то.гацину покрыти l. Недостаток способа - низка точ ность определени толщины покрыти обусловленна погрешност ми фокусировки лазерного излучени на поверхность исследуемого покрыти . Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому вл етс способ определени толщины покрыти , заключающ с в том, что на исследуемое покрытие нанос т вещество с известными спектральными характеристиками, про извод т одновременное локальное испарение вещества с известными спект ральными характеристиками исследуемого покрыти и части подложки, определ ют относительную интенсивность свечени пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками,а втора - веществу подложки, и определ ют толщину покрыти 2. Недостаток способа - низка точность контрол , обусловленна плохой воспроизводимостью характеристик электрического разр да, с помощью которого осуществл етс локальное испарение , а также необходимость построени градуировочных графиков дл каждого типа измер емых покрытий, что значительно удлин ет процесс контрол . Цель изобретени - повышение точности и сокращение времени определени толщины. Указанна цель достигаетс тем, что в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной, а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрыти . . Определение то.пщины покрыти согласно способу осуществл етс следую щим образом. Фольгу известной толщины, изготов ленную из материала с известными спектральными характеристиками, накл дывают на исследуемое покрытие. Осуществл ют одновременное локально испарение вещества фольги, покрыти и части подложки, например с помощью сфокусированного на поверхность фоль ги излучени импульсного лазера. Регистрируют спектр излучени образовавшейс плазмы, например, с помощью спектрографа. Определ ют относительную интенсивность свечени пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу фольги, а втора - веществу покрыти , при этом относительна интенсивность свечени выбранной пары спектральных линий, при данных материала и толщин фольги, зависит только от толщины исследуемого покрыти . Определ ют то щину покрыти по известному значению относительной инт.еисивности свечени спектральных линий. Применение изобретени повышает точность определени толщины покрыти благодар исключению вли ни источни ков возможные: погрешностей, а также сокращает врем определени толщины покрыти за счет того, что отпадает необходимость построени градуировочных графиков,охватывающих весь диапазон примен емых толщин покрыти данного типа. Формула изобретени Способ определени толщины покрыти , заключающийс в том, что на исследуемое покрытие нанос т вещество с известными спектральными характеристиками , производ т одновременное локальное испарение вещества с известными спектральными характеристиками исследуемого покрыти и части подложки, определ ют относительную интенсивность свечени пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками, и определ ют толщину покрыти , отличающийс тем, что, с целью повышени точности и сокращени времени определени толщины, в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной,а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрыти . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Левинсон Г. Р. и др,- Физика и хими обработки материалов 1971, № 4, с. 124. ,