SU815485A1 - Способ определени толщиныпОКРыТи - Google Patents

Способ определени толщиныпОКРыТи Download PDF

Info

Publication number
SU815485A1
SU815485A1 SU792783516A SU2783516A SU815485A1 SU 815485 A1 SU815485 A1 SU 815485A1 SU 792783516 A SU792783516 A SU 792783516A SU 2783516 A SU2783516 A SU 2783516A SU 815485 A1 SU815485 A1 SU 815485A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
coating
thickness
substance
foil
spectral
Prior art date
Application number
SU792783516A
Other languages
English (en)
Inventor
Виталий Александрович Агеев
Александр Тихонович Градюшко
Сергей Григорьевич Комиссаров
Адам Рышардович Мороз
Геннадий Александрович Панютин
Юрий Васильевич Хлопков
Иван Федорович Языченко
Валерий Михайлович Братковский
Original Assignee
Витебское Отделение Института Физикитвердого Тела И Полупроводникован Белорусской Ccp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Витебское Отделение Института Физикитвердого Тела И Полупроводникован Белорусской Ccp filed Critical Витебское Отделение Института Физикитвердого Тела И Полупроводникован Белорусской Ccp
Priority to SU792783516A priority Critical patent/SU815485A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU815485A1 publication Critical patent/SU815485A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к технике измерени  и контрол  толщин покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной и машиностроительной промышленности. Известен способ определени  толщины покрыти , заключагадийс  в том что лазерное излучение с определенной длительностью импульса и с заданной мощностью фокусируют на поверхность исследуемого покрыти , определ ют пороговую плотность потока энергии, привод щую к разрушен покрыти  и определ ют то.гацину покрыти  l. Недостаток способа - низка  точ ность определени  толщины покрыти  обусловленна  погрешност ми фокусировки лазерного излучени  на поверхность исследуемого покрыти . Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому  вл етс  способ определени  толщины покрыти , заключающ с  в том, что на исследуемое покрытие нанос т вещество с известными спектральными характеристиками, про извод т одновременное локальное испарение вещества с известными спект ральными характеристиками исследуемого покрыти  и части подложки, определ ют относительную интенсивность свечени  пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками,а втора  - веществу подложки, и определ ют толщину покрыти  2. Недостаток способа - низка  точность контрол , обусловленна  плохой воспроизводимостью характеристик электрического разр да, с помощью которого осуществл етс  локальное испарение , а также необходимость построени  градуировочных графиков дл  каждого типа измер емых покрытий, что значительно удлин ет процесс контрол . Цель изобретени  - повышение точности и сокращение времени определени  толщины. Указанна  цель достигаетс  тем, что в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной, а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрыти . . Определение то.пщины покрыти  согласно способу осуществл етс  следую щим образом. Фольгу известной толщины, изготов ленную из материала с известными спектральными характеристиками, накл дывают на исследуемое покрытие. Осуществл ют одновременное локально испарение вещества фольги, покрыти  и части подложки, например с помощью сфокусированного на поверхность фоль ги излучени  импульсного лазера. Регистрируют спектр излучени  образовавшейс  плазмы, например, с помощью спектрографа. Определ ют относительную интенсивность свечени  пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу фольги, а втора  - веществу покрыти , при этом относительна  интенсивность свечени  выбранной пары спектральных линий, при данных материала и толщин фольги, зависит только от толщины исследуемого покрыти . Определ ют то щину покрыти  по известному значению относительной инт.еисивности свечени  спектральных линий. Применение изобретени  повышает точность определени  толщины покрыти благодар  исключению вли ни  источни ков возможные: погрешностей, а также сокращает врем  определени  толщины покрыти  за счет того, что отпадает необходимость построени  градуировочных графиков,охватывающих весь диапазон примен емых толщин покрыти  данного типа. Формула изобретени  Способ определени  толщины покрыти , заключающийс  в том, что на исследуемое покрытие нанос т вещество с известными спектральными характеристиками , производ т одновременное локальное испарение вещества с известными спектральными характеристиками исследуемого покрыти  и части подложки, определ ют относительную интенсивность свечени  пары спектральных линий, одна из которых принадлежит веществу с известными спектральными характеристиками, и определ ют толщину покрыти , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и сокращени  времени определени  толщины, в качестве вещества с известными спектральными характеристиками используют фольгу с известной толщиной,а в качестве второй спектральной линии в паре спектральных линий выбирают линию, принадлежащую веществу исследуемого покрыти . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Левинсон Г. Р. и др,- Физика и хими  обработки материалов 1971, № 4, с. 124. ,
  2. 2. Авторское свидетельство СССР 99388, кл. G 01 В 11/06, 1952 (прототип).
SU792783516A 1979-06-25 1979-06-25 Способ определени толщиныпОКРыТи SU815485A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792783516A SU815485A1 (ru) 1979-06-25 1979-06-25 Способ определени толщиныпОКРыТи

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792783516A SU815485A1 (ru) 1979-06-25 1979-06-25 Способ определени толщиныпОКРыТи

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU815485A1 true SU815485A1 (ru) 1981-03-23

Family

ID=20835220

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792783516A SU815485A1 (ru) 1979-06-25 1979-06-25 Способ определени толщиныпОКРыТи

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU815485A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5446538A (en) Process and device for emission spectorscopy
US4645342A (en) Method of laser emission spectroscopic analysis of steel and apparatus therefor
Pakhomov et al. Laser-induced breakdown spectroscopy for detection of lead in concrete
Lopez-Moreno et al. Quantitative analysis of low-alloy steel by microchip laser induced breakdown spectroscopy
Sdorra et al. Basic investigations for laser microanalysis: IV. The dependence on the laser wavelength in laser ablation
EP1223423A2 (en) Method and apparatus for enhanced laser-induced plasma spectroscopy using mixed-wavelength laser pulses
González et al. Determination of sulfur content in steel by laser-produced plasma atomic emission spectroscopy
Balzer et al. Online coating thickness measurement and depth profiling of zinc coated sheet steel by laser-induced breakdown spectroscopy
Balzer et al. New approach to online monitoring of the Al depth profile of the hot-dip galvanised sheet steel using LIBS
JPS5987307A (ja) 表面被膜の膜厚測定装置
GB2065300A (en) Eccentricity measurement
Meissner et al. Analysis of trace metals in comparison of laser-induced breakdown spectroscopy with LA-ICP-MS
SU815485A1 (ru) Способ определени толщиныпОКРыТи
WO2002001169A8 (en) Apparatus and method for substantially simultaneous measurement of emissions
Rabasović et al. Evaluation of laser-induced thin-layer removal by using shadowgraphy and laser-induced breakdown spectroscopy
Millard et al. Time-resolved laser-induced breakdown spectrometry for the rapid determination of beryllium in beryllium-copper alloys
US4128336A (en) Spectroscopic apparatus and method
JPS5665973A (en) Vapor depositing method
Alvisi et al. Influence of the assisting-ion-beam parameters on the laser-damage threshold of SiO2 films
US11607750B2 (en) Analysis apparatus and analysis method
SU970201A1 (ru) Способ определени скорости лазерной эрозии веществ
SU1233208A1 (ru) Способ измерени толщины многослойной полимерной пленки
Lee et al. Shielding effect of laser-induced plasma in glass: pulse-to-pulse evolution of nitrogen and analyte emission lines
Human et al. Analysis of metals using a glow-discharge source with a fluorescent atomic vapour as spectral-line isolator
JPS57108704A (en) Measuring method of thickness of film coated on metallic plate