SU801141A1 - Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи - Google Patents
Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи Download PDFInfo
- Publication number
- SU801141A1 SU801141A1 SU792738713A SU2738713A SU801141A1 SU 801141 A1 SU801141 A1 SU 801141A1 SU 792738713 A SU792738713 A SU 792738713A SU 2738713 A SU2738713 A SU 2738713A SU 801141 A1 SU801141 A1 SU 801141A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrodes
- films
- quadrupole
- mass spectrometer
- sensor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к масс-спектрометрии и может быть использовано при создании квадрупольных массспектрометров с высокой разрешающей способностью и большим сроком службы .
Известны трехмерные квадрупольные масс-спектрометры, в которых ионизаци газа осуществл етс электронным потоком, вводимым в рабочий объем датчика 1.
Однако в таких масс-спектрометрах срок службы датчиков ограничиваетс искажени ми пол в их рабочем объеме , возникающими из-за образовани диэлектрических углеводородных пленок на электродах при бомбардировке их электронным потоком. Как правило , наибольшее вли ние оказывают пленки, образующиес за-за засе ни электродов датчика вторичными электронами. Дл уменьшени вторичного электронного потока в выходном торцовом электроде обычно выполн етс отверстие дл вывода больщей части первичного потока за пределы рабочего объема датчика.
Известен датчик трехмерного квадрупольного-масс-спектрометра с электродами в виде гиперболоидов, содержащий каналы дл ввода и вывода ионизирующего электронного потока 2
Хот вывод большей части ионизирующего потока за пределы рабочего объема и уменьшает скорость образовани пленок на поверхности электродов , все же полностью избавитьс от вли ни пленок не удаетс из-за неfl совершенства фокусировки электронного потока. В результате на электродах датчика образуютс диэлектрические пленки, причем из-за неравномерного рассе ни вторичного элект5 ронного потока пленки образуютс на отдельных област х поверхностей электродов в тем местах, на которые приходитс наибольша интенсивность вторичного электронного потока. Та0 ким образом, в рабочем состо нии на рабочих поверхност х электродов известного датчика в некоторых местах имеютс области, покрытые диэлектрическими пленками углеводородов,
5 образующимис под действием электронного потока. Это обуславливает низкие чувствительность и разрешающую способность масс-спектрометра и, соответственно, малый срок службы датчика.
Цель изобретени - увеличение увствительности, раз решающей ..способности и срока службы масс-спектрометра .
Указанна цель достигаетс тем, то вс рабоча поверхность электродов датчика покрываетс диэлектрическими пленками углеводородов. Эти пленки образуют путем бомбардировки рабочих поверхностей электро-дов датчика электронным потоком в парах углеводородов с энергией электронов 100-150 эВ при плотности 1-3-Ю А/см в течение 2-3 ч при давлении в вакуумной камере 10 мм рт.ст.
Исследование физических свойств пленок и их вли ние на срок службы датчика показывают, что срок службы в основном определ етс изменетнием работы выхода пленок. Поскольку пленки имеют работу выхода отличную от работы выхода металлов, обычно используемых дл электродов датчика , при образовании пленок возникает контактна разностьпотенциалов , и поверхность электрода стано-: витс неэквипотенциальной. Это и приводит к по влению искажений пол и, как следствие этого, к уменьшению и чувствительности, и разрешени прибора. При бомбардировке поверхности нержавеющей стали электрон ным потоком плотностью работа выхода образуемой пленки стабилизируетс через 1,5-3 ч. Плотность вторичного потока в датчике на пор док меньше, и это объ сн ет тот факт, что обычно датчики таких анализаторов имеют срок службы 20-30 ч, после чего требуют проведени чистки электродов.
Если до монтажа датчика рабочие оверхности электродов покрыть такими пленками, то в процессе работы массспектрометра работа выхода мест, бомбардируемых электронным потоком, не измен етс и, таким образом, искажени пол в рабочем объеме минимальны . Другими словами, датчик трехмерного квадрупольного-масс-спектро метра с электродами, вс поверхность которых покрыта пленками углеводородов , образуемыми под действием электронной бомбардировки, обладают большим сроком службы.
Использование .в датчиках трехмерных квадрупольных масс-спектрометров электродов,. вс рабоча поверхность которых покрыта диэлектрическими пленками углеводородов, обраsyeivffiix при бомбардировке поверхностей электронами, позвол ет в 20-30 раз увеличить срок службы датчиков таких приборов.
Claims (3)
1.Квадрупольный трехмерный масс;:пектрометр с электродами в виде гиперболои.цов, отличающ йс тем, что, с целью увеличени чувствительности, разрешающей способности и срока службы, вс рабоча поверхность э.пектродов покрыта пленками углеводородов.
2.Способ изготовлени устройства по п. 1, отличающийс тем, что пленки нанос тс путем бомбардировки рабочих поверхностей электродов электронным потоком в парах углеводородов.
3.Способ По п. 2, отличающийс тем., то рабочие поверхности электродов облучают электронным потоком с энергией 100-150эВ при плотности 1-3-Ю -А/см в течение 2-3 ч при давлении в вакуумной камере рт.ст.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе
1.Шеретов Э.П. и др.- Приборы
и техника эксперимента, 1971, № 1.
2.Авторское свидетельство СССР по за вке № 25899712,кл.Н 01 J 39/50 1978 (прототип),
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792738713A SU801141A1 (ru) | 1979-03-19 | 1979-03-19 | Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792738713A SU801141A1 (ru) | 1979-03-19 | 1979-03-19 | Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU801141A1 true SU801141A1 (ru) | 1981-01-30 |
Family
ID=20816096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792738713A SU801141A1 (ru) | 1979-03-19 | 1979-03-19 | Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU801141A1 (ru) |
-
1979
- 1979-03-19 SU SU792738713A patent/SU801141A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5111042A (en) | Method and apparatus for generating particle beams | |
US5146088A (en) | Method and apparatus for surface analysis | |
JP3676298B2 (ja) | 化学物質の検出装置および化学物質の検出方法 | |
US3579270A (en) | Energy selective ion beam intensity measuring apparatus and method utilizing a scintillator to detect electrons generated by the beam | |
US7875857B2 (en) | X-ray photoelectron spectroscopy analysis system for surface analysis and method therefor | |
SU801141A1 (ru) | Квадрупольный трехмерный масс- СпЕКТРОМЕТР и СпОСОб ЕгО изгО-ТОВлЕНи | |
EP0003659A3 (en) | Apparatus for and method of analysing materials by means of a beam of charged particles | |
US5034605A (en) | Secondary ion mass spectrometer with independently variable extraction field | |
Gersch et al. | Postionization of sputtered neutrals by a focused electron beam | |
JP2707097B2 (ja) | スパッタ中性粒子のイオン化方法およびその装置 | |
Almen et al. | Fast rise time, high sensitivity MCP ion detector for low-energy ion spectroscopy | |
KR950703786A (ko) | 전자 에너지 분광계 | |
Matveev et al. | A low pressure mercury vapor resonance ionization image detector | |
Wallin et al. | Field ionization of cesium atoms diffusion out from an iridium foil, studied by time-of-flight mass spectrometry | |
JP3664976B2 (ja) | 化学物質検出装置 | |
JPH04303Y2 (ru) | ||
Murakami et al. | A simple X-ray emitter | |
Mizutani et al. | Mass analysis of negative ions in etching plasma | |
JP3055159B2 (ja) | 中性粒子質量分析装置 | |
JP3664974B2 (ja) | 化学物質検出装置 | |
JP3055160B2 (ja) | 中性粒子質量分析装置 | |
JPS63190299A (ja) | プラズマ装置 | |
Oechsner | Electron Gas SNMS | |
Reidelbach et al. | Investigation of space charge compensation of Pulsed Ion beams | |
WO2005001465A1 (ja) | 化学物質の検出装置および化学物質の検出方法 |