SU800943A1

SU800943A1 - Проекционный объектив с увеличением-0,1

Info

Publication number: SU800943A1
Application number: SU792745066A
Authority: SU
Inventors: Евгений Евгеньевич Онегин; Игорь Александрович Кадомский; Элла Семеновна Гуревич; Светлана Станиславовна Черневич; Светлана Бахшиевна Манвелян
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6495
Priority date: 1979-04-04
Filing date: 1979-04-04
Publication date: 1981-01-30

Description

(54). ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ -0,1

Изобретение относитс к оптичесКИМ системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонировани .

Известен проекционный объектив, предназначенный .дл аналогичных целей. Объектив работает с увеличением - 0,1 , опертурой 0,3 и линейным полем зрени 85 мм 1.

Недостатком данного объектива вл етс малое поле зрени .

Известен также объектив, который работает с увеличением - 0,1, апертурой 0,3 и линейным полем зрени 60 мм 2.

Недостатком данного объекти.ва вл етс малое поле зрени .

Наиболее близким к пре.цлагаемому вл етс проекционный объектив, состо щий из семи компонентов, содержа1ЦИХ одиннадцать линз. Первый компонент положительна одиночна линза , второй - одиночный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий - двусклеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, п тый положительна дво ковыпукла линза,

шестой - отрицательный мениск и седьмой - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета . Объектив имеет апертуру 0,25 и линейное поле зрени 141 мм 3.

Недостатком объектива вл етс мала апертура.

Цель изобретени - увеличение апертуры объектива и уменьшение дис0 торсии.

Эта цель достигаетс тем, что в объектив введены положительный мениск , обращенный вогнутостью .к предмету , расположенный за четвертым ком5 понентом, и положительный двухлинзовый мениск, обращенный вогнутостью к изображению и расположенный за п тым компонентом, шестой компонент выполнен двухлинзовым, .а рассто ние между

0 вторым и третьим компонентом составл ет 0,2-0у4 фокусного рассто ни всего объектива.

На чертеже приведена оптическа схема объектива.

5

Первый компонент представл ет собой положительную одиночную линзу 1 с соотношением радиусов 1:1,15.

Второй компонент - одиночный отрицательный мениск 2, обращенный

0 вогнутостью к изображению.

Третий компонент - отрицательный мениск, склеенный из двух линз 3 и 4 обращенный вогнутостью к предмету, выполненный из т желого флинта и сверхт желого крана, рассто ние его от второго компонента составл ет 0,2-0/4 фокусного рассто ни всего объектива.

Четвертый компонент - положительный мениск 5, выполненный из сверхт желого крона,, обращенный вогнутостью к предмету. Позади него установлен положительный мениск 6, обращенный вогнутостью к предмету с соотношением радиусов 1:0,25.

П тый компонент - положительна дво ковыпукла линза 7, выполненна из сверхт желого крона, с соотношением радиусов 1:3,6, Позади него установлен положительный мениск, склеенный из двух линз 8 и 9, обращенный вогнутостью к изображению, выполненный из т желого флинта и сверхт желого крона, разность показателей не превышает 0,0006, а разность коэффициентов дисперсии равна 22.

Шестой компонент - отрицательный мениск, склеенный из двух линз 10 и 11, обращенный вогнутостью к изображению .

Седьмой компонент - положительный мениск, склеенный из двух линз 1 и 13, обращенный вогнутостью к изображению .

Применение объектива дает возможность получить на поле 141 мм минимальный элемент в 1 мм, что -увеличивает производительность труда при использовании объектива в проекционных системах экспонировани .

Claims

1.Авторское свидетельство СССР № 486298, кл. G 02 В 9/64, 1973.

2.Авторское свидетельство СССР № 333525, кл. G 02 В 9/64, 1972,

3.Авторское свидетельство СССР п за вке № 2613507/18-10,

кл. G 02 В 9/64, 1978 (прототип).

/ лоауегъ uja jfffftai