SU762055A1 - ИМПУЛЬСНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР с? - Google Patents

Description

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к вакуумным затворам, и может быть использовано в устройствах дифференциальных откачных вакуумных систем.

Известны прямопролетные вакуумные затворы, в которых быстродействие (5-4-10 мс) для проходных сечений более 1 см достигается за счет использования в качестве источника энергии взведенной пружины [1].

Недостатком данного затвора является то, что применение пружины позволяет осуществлять ход клапана только в одну сторону, так как ход клапана в другую сторону происходит значительно дольше (время на обратный ход клапана примерно на порядок больше времени прямого хода). Большую сложность представляет регулировка времени срабатывания в связи с постоянно накапливающейся остаточной деформацией пружины и присутствием трения скольжения между промежуточной обоймой и внутренней поверхностью патрубка.

Известен также импульсный вакуумный затвор, содержащий установленный в корпусе вращающийся диск с отверстием для натекания газа и привод вращения [2].

Однако в описанной дифференциальной

системе диск используется только как средство увеличения спротивления натекающему через отверстие газу. В качестве же устройства, запирающего вакуумплотно входное отверстие объема на длительное время, его использовать нельзя/ так как в нем от5 сутствует вакуумное уплотнение. Этот затвор нельзя использовать в условиях, когда необходимо разово.е импульсное открытие клапана с длительной выдержкой в закрытом состоянии. '

θ Целью изобретения является повышение надежности вакуумного уплотнения.

Поставленная цель достигается тем, что затвор снабжен электромагнитным клапаном маятникового типа с рычажным звеном и фотодатчиками, установленными на корпусе напротив отверстия диска и электрически соединенными с электромагнитным клапаном.

На фиг. 1 изображен затвор, разрез; на фиг. 2 — затвор в «открытом» состоянии; на фиг. 3 — то же, вид в плане; на фиг, 4 — затвор в закрытом состоянии.

Предлагаемое устройство состоит из плиты 1, на которой смонтирован сплошной диск 2 с отверстием для прямопролетного сообщения вакуумного объема с атмосферой, клапана 3 маятникового типа, соединенного при помощи качалки 4 через вакуумный ввод движения 5- с электромагнитными приводами 6, вакуумного ввода дви762055

3

жения 7 для приведения диска 2 во вращение, крышки затвора 8, имеющей вакуумное уплотнение 9 с плитой 1 и снабженной патрубком 10 для промежуточной вакуумной откачки объема, образованного плитой 1 и крышкой затвора 8. Втулка 11 (фиг. 2) является седлом клапана, а втулки 12 обеспечивают вместе со средствами промежуточной вакуумной откачки бесконтактное щелевое уплотнение диска 2 с плитой 1 и крышкой затвора 8. Затвор присоединен к вакуумному объему через патрубок 13.

Зазоры между вращающимся диском 2 и втулками 12 имеют постоянную величину и регулируются поджатием втулок к диску гайками 14 через резиновые кольца 15.

На плите 1 и крышке затвора 8 установлены фотодатчики 16 и 17 (фиг. 3) для управления работой затвора и контроля открывания клапана. Клапан 3 через резиновый уплотнительный эл.емент 18 (фиг. 4) с помощью рычажного звена 19 обеспечивает вакуумплотное запирание отверстия втулки 11.

Затвор работает следующим образом.

Диск 2 вращается между втулками 12, укрепленными в плите 1 и крышке затвора 8. Отверстие диска периодически проходит между уплотнительными втулками 12 и через фотодатчики 16 и 17. Включение фотодатчика 17 служит командой на открывание затвора. Затвор открывается в два этапа. Первый этап заключается в том, что при подаче команды на открывание по сигналу фотодатчика 17, регистрирующего прохождение отверстия диска 2 через затвор фотодатчика, электромагнит 6 отводит клапан 3 в сторону и открывает отверстие втулки

11. Второй этап состоит в том, что отверстие диска 2 при вращении совмещается с отверстиями втулок 12, расположенными соосно с втулками 11.

Затвор находится в открытом состояний в течение времени, когда отверстие диска совмещено с отверстиями втулок 12. Согласование открытия клапана 3 и совмещения отверстия диска с отверстиями уплотнитель4 ^!

ных втулок 12 осуществляется командой клапану 3 с фотодатчика 16, расположенного на траектории перемещения отверстия диска таким образом, чтобы время перемещения отверстия диска 2 до отверстий во втулках 12 было не меньше времени срабатывания электромагнита 7, открывающего клапан 3. В момент перекрытия диском отверстий втулок 12 фотодатчиком 17 подается команда электромагниту 6 на закрытие клапана 3.

' Поток газов, натекающих через зазоры в объем затвора, откачивается промежуточными откачными средствами. Время срабатывания затвора пропорционально скорости вращения диска и может быть на порядок меньше времени срабатывания электромагнитных затворов для диаметров отверстий от 1 см и более.

Применение описанного затвора в больших дифференциальных системах приводит к снижению мощности откачных средств, к уменьшению производственных площадей, занимаемых этими откачными средствами.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Импульсный вакуумный затвор, содержащий установленный в корпусе вращающийся диск с отверстием для натекания газа и привод вращения, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности вакуумного уплотнения, затвор снабжен электромагнитным клапаном маятникового типа с рычажным звеном и фотодатчиками, установленными на корпусе напротив отверстия диска и электрически соединенными с электромагнитным клапаном.