SU750238A1 - Plant for chemical-thermic treating by glow discharge - Google Patents

Plant for chemical-thermic treating by glow discharge Download PDF

Info

Publication number
SU750238A1
SU750238A1 SU772561574A SU2561574A SU750238A1 SU 750238 A1 SU750238 A1 SU 750238A1 SU 772561574 A SU772561574 A SU 772561574A SU 2561574 A SU2561574 A SU 2561574A SU 750238 A1 SU750238 A1 SU 750238A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
chambers
chamber
chemical
heat treatment
container
Prior art date
Application number
SU772561574A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виктор Николаевич Блинов
Владимир Иванович Филиппов
Николай Иванович Паршин
Игорь Владимирович Барабанов
Вячеслав Николаевич Дмитриев
Евгений Александрович Ширма
Валентин Евгеньевич Денисов
Анатолий Евгеньевич Крук
Михаил Петрович Анохин
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4696
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4696 filed Critical Предприятие П/Я Г-4696
Priority to SU772561574A priority Critical patent/SU750238A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU750238A1 publication Critical patent/SU750238A1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Description

(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ТЛЕЮЩИМ РАЗРЯДОМ(54) INSTALLATION FOR CHEMICAL-THERMAL TREATMENT BY GLUE DISCHARGE

1one

Изобретение относитс  к электротехнике, в частности электротермии, а именно к электротермическим установкам, использующим тлеющий разр д дл  химико-термической обработки изделий, например азотировани , цементировани  и т.п., а также дл  нанесени  упрочн ющих покрытий в станкостроительной, мащиностроительной, металлургической и др. отрасл х промышленности .The invention relates to electrical engineering, in particular electrothermal, in particular to electrothermal installations using a glow discharge for chemical-thermal treatment of products, for example, nitriding, cementing, etc., as well as for the application of reinforcing coatings in machine-tool, machine-building, metallurgical and other industries.

Известна установка дл  непрерывной химико-термической обработки тлеющим разр дом , содержаща  камеры предварительного нагрева, химико- термической обработки и выгрузки, механизм перемещени  и приспособление дл  перемещени  1.A known device for continuous chemical heat treatment with a glow discharge, comprising preheating chambers, chemical heat treatment and unloading chambers, a transfer mechanism and a moving device 1.

К недостаткам конструкции относ тс  недостаточна  производительность из-за длительности процесса, вызванна  необходимостью охлаждени  изделий в камере химико-термической обработки перед их выгрузкой , нестабильность результатов обработки , так как кажда  нова  парти  изделий обрабатываетс  при услови х, отличных от обработки предыдущей партии, что вли ет на качество готовых изделий и снижает процент выхода годных изделий.The disadvantages of the design are insufficient productivity due to the duration of the process caused by the need to cool the products in the chemical-heat treatment chamber before unloading them, the instability of the processing results, since each new batch of products is processed under conditions different from the previous batch that em on the quality of finished products and reduces the percentage of yield of products.

Цель изобретени  - повышение производительности и улучщение качества изделий .The purpose of the invention is to increase productivity and improve product quality.

Указанна  цель достигаетс  снабжением установки камерой загрузки, соединенной с камерой предварительного нагрева, и установленной между камерами предварительного нагрева и химико- термической обработки , камерой ионной очистки и холодильником , размещенны.м между камерами химико-термической обработки и выгрузки, при This goal is achieved by supplying the installation with a loading chamber connected to the preheating chamber and installed between the preheating chambers and the chemical heat treatment chamber, the ion cleaning chamber and the cooler located between the chemical heat treatment and discharge chambers,

10 этом камеры загрузки и ионной очистки и холодильник имеют механизм перемещени , приспособление дл  перемещени  выполнено в виде поддона со стойкой и укрепленной на ней подвеской, на которой размещен троллей взаимодействующий с одним из полюсов ис15 точника питани , камер ионной очистки и химико-термической обработки; приспособление дл  перемещени  выполнено в виде контейнера и крыщки с укрепленными на ней подвеской и контактом, взаимодействую20 щим с одним из полюсов источника питани  камер ионной очистки и химико-термической обработки.10 of this loading and ion cleaning chamber and the refrigerator have a moving mechanism; the device for movement is made in the form of a pallet with a rack and a suspension mounted on it, on which are placed trolls interacting with one of the poles of the power supply source, ion cleaning and chemical heat treatment chambers; the device for movement is made in the form of a container and a lid with a suspension bracket fixed on it and a contact interacting with one of the poles of the power source of the ion-cleaning and chemical-thermal treatment chambers.

Claims (3)

На фиг. 1 изображена установка непрерывного действи  дл  химико-термической на фиг. 2 - обработки тлеющим разр дом разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - вариант выполнени  поддона. Установка непрерывного действи  дл  химико-термической обработки тлеющим разр дом состоит из последовательно расположенных камеры загрузки, камеры 2 предварительного нагрева, камеры 3 ионной очистки , камеры 4 химико-термической обработки с холодильнико.м 5, камеры 6 разгрузки , причем все камеры разделены технологическими затворами 7 соедин ютс  они устройством 8 дл  транспортировани  изделий 9, включающим толкатели 10 и приспособление дл  перемещени . Кажда  камера снабжена автономной системой 11 вакуумировани , а камеры 3 ионной очистки и 4 химико-термической обработки имеют источники 12 питани  и систему 13 подачи газа. Приспособление дл  перемещени  выполнено в виде контейнера 14 и крыщки 15 с закрепленными на ней контактом 16, взаимодеиствующим с одним из полюсов источника 12 питани  через токоподвод 17. Приспособление дл  перемещени  может быть также выполнено в виде поддона 18 со стойкой 19, на которой укреплены подвеска 20 и троллей 21, взаимодействующий с токоподводом 17. Подвеска 20 электроизолирована от стойки 19 с помощью диэлектрика 22. Установка работает следующим образом . Изделие 9 закрепл етс  в крышке 15 контейнера 14, который загружаетс  в камеру 1 загрузки. По окончании загрузки камера 1 вакуумируетс  до давлени , соответствующего рабочему давлению камеры 2 предварительного нагрева, котора  представл ет собой, например, электропечь сопротивлени  и на.ходитс  при температуре 600- 1000°С и вакууме до ЫО мм рт. ст. При пере.мещении издели  9 из камеры 1 загрузки в камеру 2 предварительного нагрева , технологический затвор 7 открываетс . По окончании перегрузки затвор 7 закрываетс , изделие 9 разогреваетс  и происходит вакуумна  очистка его поверхности, а в камеры 1 загрузки напускаетс  воздух и производитс  загрузка следующего. По окончании вакуумной очиетки издели  9 технологический затвор 7 между камерами 2 и 3 открываетс  и устройство 8 дл  транспортировани  перемещаетс  соответствующими толкател ми 10 в ка.меру ионной очистки 3, при этом крышка 15 подвешиваетс  на токоподвод 17, соединенный с минусом источника 12 питани , а контейнер 14 опускаетс  вниз механизмом 23, образу  зазор между крышкой 15 и контейнером 14, и соедин етс  через корпус установки с плюсом источника 12 питани . Технологический затвор 7 закрываетс  и в камере производитс  ионна  очистка изделий 9 катодным 75 распылением при давлении до 1-10 мм рт. с и напр жении до 3000 В. По окончании ионной очистки технологический затвор 7 -между камерами 3 и 4 открываетс . Крышка 15 соедин етс  с контейнером 14 при помощи механизма 23 и устройство дл  транспортировани  8 перемещаетс  в камеру 6 химикотермической обработки, где происходит разъединение крыщки 15 с контейнером 18 таким же образом, как и в камере 3 ионной очистки . Технологический затвор 7 закрываетс . В камере 4 .химико-термической обработки изделие 9 подвергаетс  ионному азотированию в плазме сильноточного тлеющего разр да при давлении 1 -10 мм рт.ст. и напр жении 400-1200 В. По окончании ионного азотировани  устройство 8 дл  транспортировани  соответствующим толкателем 10 перемещает контейнер 14 в холодильник 5. После охлаждени  изделий 9 затвор 7 между камерами .6 открываетс  и устройство дл  транспортировани  перемещаетс  соответствующим толкателем 10 в камеру б разгрузки. Затвор 7 закрываетс , в камеру 6 разгрузки напускаетс  воздух и производитс  разгрузка. В случае выполнени  приспособлени  дл  перемещени  в виде поддона 18 со стойкой 19 изделие 9 закрепл етс  в подвеске 20, установленной и электрически изолированной от стойки 19 с помощью диэлектрика 22 с щелевой защитой, технологический процесс осуществл етс  так же, а подвеска 20 подключаетс  к токоподводу через троллей 21. Щелева  защита предохран ет возникновение дугового разр да в .местах соединени  проводника с диэлектриком. Выполнение установки по предлагаемой схеме с устройством дл  транспортировани  позвол ет производить непрерывную обработку изделий. Принцип непрерывного проведени  химико-термической обработки (в ходе транспортировки изделий вдоль технологической линии) обуславливает получение более высокой производительности нар ду со стандартностью свойств обработанных изделий, получаемой вследствие устранени  необходимости охлаждени  издели  перед выгрузкой в той же камере, как это делаетс  в печах периодического действи . Формула изобретени  I. Установка дл  химико-термической обработки тлеющим разр дом, содержаща  камеры предварительного нагрева, химикотермической обработки и выгрузки, механизм перемещени  и приспособление дл  перемещени , отличающа с  тем, что, с целью увеличени  производительности и улучшени  качества издели , она снабжена соединенной с камерой предварительного нагрева камеройFIG. Figure 1 shows the continuous chemical installation in FIG. 2 shows glow treatment of section A-A in FIG. one; in fig. 3 - an embodiment of the pallet. The continuous glow chemical treatment unit consists of consecutive loading chambers, pre-heating chambers 2, ion cleaning chambers 3, chemical heat chambers 4 with refrigeration meter 5, discharge chambers 6, all chambers separated by process gates 7, they are connected by a device 8 for transporting articles 9, including pushers 10 and a moving device. Each chamber is equipped with an autonomous evacuation system 11, and the ion cleaning chambers 3 and 4 heat treatment plants have power supply sources 12 and a gas supply system 13. The moving device is made in the form of a container 14 and a lid 15 with a contact 16 fixed on it, which interacts with one of the poles of the power supply 12 via a current lead 17. The moving device can also be made in the form of a pallet 18 with a stand 19 on which the suspension 20 is fixed and trolls 21, interacting with the current lead 17. Suspension 20 is electrically insulated from the rack 19 with the help of dielectric 22. The installation works as follows. The product 9 is fixed in the lid 15 of the container 14, which is loaded into the loading chamber 1. Upon completion of loading, chamber 1 is evacuated to a pressure corresponding to the working pressure of the preheating chamber 2, which is, for example, an electric resistance furnace and is at a temperature of 600-1000 ° C and vacuum up to NO mm Hg. Art. When moving the product 9 from the loading chamber 1 to the preheating chamber 2, the process shutter 7 opens. At the end of the overload, the shutter 7 is closed, the product 9 is heated and vacuum cleaning of its surface occurs, and air is fed into the loading chambers 1 and the next is loaded. When the vacuum cleaner of the product 9 is completed, the technological shutter 7 between chambers 2 and 3 is opened and the transport device 8 is moved by the corresponding pushers 10 into ion cleaning 3, while the cover 15 is suspended from the current lead 17 connected to the minus of the power source 12, and the container 14 is lowered down by the mechanism 23, forming a gap between the lid 15 and the container 14, and is connected through the housing of the installation with the plus of the power supply 12. The technological shutter 7 is closed and in the chamber ion cleaning of the products 9 by cathode 75 is performed by spraying at a pressure of up to 1-10 mm Hg. with a voltage of up to 3000 V. At the end of the ion cleaning process shutter 7 - between chambers 3 and 4 opens. The cover 15 is connected to the container 14 by means of the mechanism 23 and the transport device 8 is transferred to the chemical heat treatment chamber 6, where the cover 15 is disconnected from the container 18 in the same way as in the ion cleaning chamber 3. Technological shutter 7 closes. In the chemical-thermal treatment chamber 4, the product 9 is subjected to ion nitriding in the plasma of a high-current glow discharge at a pressure of 1-10 mm Hg. and a voltage of 400-1200 V. Upon completion of the ion nitriding, the transport device 8 with an appropriate pusher 10 moves the container 14 to the refrigerator 5. After cooling the products 9, the shutter 7 between the chambers .6 opens and the transport device is moved with the corresponding pusher 10 into the unloading chamber b. The shutter 7 is closed, air is injected into the unloading chamber 6 and discharge is performed. In the case of a device for moving in the form of a pallet 18 with a rack 19, the product 9 is fixed in the suspension 20 installed and electrically isolated from the rack 19 by means of a dielectric 22 with slot-hole protection, the process is carried out in the same way, and the suspension 20 is connected to the electrical power supply through trolls 21. A slit protection prevents the occurrence of an arc discharge in the junction of a conductor with a dielectric. Performing the installation of the proposed scheme with a device for transportation allows for continuous processing of products. The principle of continuous chemical heat treatment (during transportation of products along the process line) results in higher performance, along with the standard properties of the processed products, obtained by eliminating the need to cool the product before unloading in the same chamber as it does in batch furnaces. Claim I. An installation for chemical-heat treatment with a glow discharge, comprising preheating, chemical heat treatment and discharge chambers, a transfer mechanism and a moving device, characterized in that, in order to increase productivity and improve the quality of the product, it is equipped with pre-heating chamber загрузки и камерой ионной очистки, размещенной между камерами предварительного нагрева и химико-термической обработки, и холодильником, установленным между камерами химико-термической обработки и выгрузки при этом камеры загрузки и ионной очистки и холодильник имеют механизмы перемещени .the loading and ion cleaning chamber placed between the preheating and chemical heat treatment chambers, and the cooler installed between the chemical thermal treatment chambers and unloading while the loading and ion cleaning chambers and the refrigerator have moving mechanisms. 2. Установка по п. 1, отличающа с  тем, что приспособление дл  перемещени  выполнено в виде поддона со стойкой и укрепленной на ней подвеской, на которой размещен тролллей, имеющей возможность взаимодействи  с одним из полюсов источника питаВИЯ камер ионной очистки и химико-термической обработки.2. Installation under item 1, characterized in that the device for movement is made in the form of a pallet with a stand and a suspension mounted on it, on which is placed a troll that has the ability to interact with one of the poles of the source of ionic ion cleaning and heat treatment chambers . 3. Установка по п. 1, отличающа с  тем, что приспособление дл  перемещени  выполнено в виде контейнера и крышки с подвеской и. с контактом, взаимодействующим с одним из полюсов источника питани  камер ионной очистки и химико-термической обработки .3. Installation under item 1, characterized in that the device for movement is made in the form of a container and a cover with a suspension and. with contact interacting with one of the poles of the power source of the chambers of ion cleaning and chemical heat treatment. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент Швейцарии № 427073, кл. 21 h 16/60, 1967.Sources of information taken into account during the examination 1. Swiss patent number 427073, cl. 21 h 16/60, 1967. /3 Ь 10./ 3 Ь 10. 16sixteen i5i5 Фи9.ЪFi9.Ъ
SU772561574A 1977-12-29 1977-12-29 Plant for chemical-thermic treating by glow discharge SU750238A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772561574A SU750238A1 (en) 1977-12-29 1977-12-29 Plant for chemical-thermic treating by glow discharge

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772561574A SU750238A1 (en) 1977-12-29 1977-12-29 Plant for chemical-thermic treating by glow discharge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU750238A1 true SU750238A1 (en) 1980-07-25

Family

ID=20740910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772561574A SU750238A1 (en) 1977-12-29 1977-12-29 Plant for chemical-thermic treating by glow discharge

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU750238A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016517916A (en) Process and apparatus for thermochemically strengthening a workpiece
EP0811697B1 (en) Method and apparatus for carburizing, quenching and tempering
US4455177A (en) Method and apparatus for chemical heat treatment of steel parts utilizing a continuous electric furnace
US4109157A (en) Apparatus for ion-nitriding
SU1487818A3 (en) Method and apparatus for heat treatment of metal billets in furnace
SU750238A1 (en) Plant for chemical-thermic treating by glow discharge
JPH0141684B2 (en)
US3866891A (en) Vacuum furnace equipment for heat treatment, hardening and brazing working parts
JPS6035428B2 (en) Multiple cathode thermal ionization furnace
JPH0456707A (en) Continuous type vacuum furnace
GB1171017A (en) Apparatus for Carrying Out Metallurgical Treatment.
JPH09111309A (en) Continuous sintering furnace
US3014708A (en) Process and apparatus for subjecting materials in the solid state to high temperatures at sub-atmospheric pressures
US3846574A (en) Method of heating objects and device for the performance of the method
RU2060298C1 (en) Plant for vacuum-plasma treatment of products in working gas medium
SU267667A1 (en) Vacuum electric furnace
JPS61285381A (en) Vacuum furnace with partial section heating chamber
JPH0544713Y2 (en)
JPH09184685A (en) In-line type vacuum heat treatment furnace
SU731243A1 (en) Furnace for heat treating of ferrite articles
SU1076724A1 (en) Continuous electric furnace for chemical and heat treatment
JPS56129201A (en) Continuous solid-phase polymerization of synthetic resin chip and apparatus therefor
JPH04309786A (en) Vacuum continuous heat treating furnace
SU558065A1 (en) Gas phase coater
SU973237A1 (en) Installation for sintering ferrites