SU558065A1 - Gas phase coater - Google Patents

Gas phase coater

Info

Publication number
SU558065A1
SU558065A1 SU2110736A SU2110736A SU558065A1 SU 558065 A1 SU558065 A1 SU 558065A1 SU 2110736 A SU2110736 A SU 2110736A SU 2110736 A SU2110736 A SU 2110736A SU 558065 A1 SU558065 A1 SU 558065A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas phase
workpiece
coater
phase coater
metal plate
Prior art date
Application number
SU2110736A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Игорь Петрович Дашкевич
Константин Степанович Игнатьев
Александра Александровна Холмушина
Борис Дмитриевич Воронин
Александр Михайлович Цирлин
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3602
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3602 filed Critical Предприятие П/Я А-3602
Priority to SU2110736A priority Critical patent/SU558065A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU558065A1 publication Critical patent/SU558065A1/en

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)

Description

крыти  снабжена подвижной металлической пластиной с регулирующим механизмом угла наклона и рассто ни  до оси обрабатываемого издели , при этом металлические пластины подключены к источнику питани .The roof is equipped with a movable metal plate with a tilt angle and distance control mechanism to the axis of the workpiece, while the metal plates are connected to a power source.

На фиг. 1 схематично изображено устройство , общий вид; на фиг. 2-поперечный разрез по А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - принцнпиальна  электрическа  схема включени  двух зон нагрева обрабатываемого издели .FIG. 1 schematically shows a device, a general view; in fig. 2 is a cross-sectional view along A-A in FIG. one; in fig. 3 - a basic electrical circuit for switching on two heating zones of the workpiece.

Устройство дл  нанесени  покрытий из газовой фазы содержит рабочую камеру с секци ми отжига-очистки 1, нанесени  покрыти  2, охлаждени  3 и приема обработанного издели  4. Все секции рабочей камеры отделены друг от друга шлюзовыми приспособлени ми 5.The gas phase coating apparatus comprises a working chamber with annealing-cleaning sections 1, applying coatings 2, cooling 3 and receiving the treated product 4. All sections of the working chamber are separated from each other by sluice devices 5.

В секции 1 отжига-очистки расположены подающа  кассета 6 и направл ющие ролики 7 и 8, которые образуют между собой зону 9 нагрева. В секции 3 охлаждени  расположен направл ющий ролик 10, между которым и направл ющим роликом 8 образована зона 11 нагрева. Секци  4 приема обработанного издели  снабжена перемоточным механизмом 12. Параллельно направл ющим роликам 7, 8 и 10 в изол торах 13 установлены неподвижные металлические пластины 14, которые совместно с указанными роликами образуют емкости 15, 16 и 17 (см. фиг. 3), нодключенные к источнику 18 тока высокой частоты.In the annealing-cleaning section 1, the feeding cassette 6 and the guide rollers 7 and 8 are located, which form between them the heating zone 9. In the cooling section 3, a guide roller 10 is disposed, between which and the guide roller 8 a heating zone 11 is formed. The received product receiving section 4 is provided with a winding mechanism 12. Parallel metal guide rollers 7, 8 and 10, fixed metal plates 14 are installed in insulators 13, which together with the specified rollers form containers 15, 16 and 17 (see Fig. 3), which are connected to source 18 of the high frequency current.

Снаружи вдоль секции 2 нанесени  покрыти , выполненной в виде стекл нного цилиндра , расположена подвижна  металлическа  пластина 19, снабженна  регулирующим механизмом угла наклона и рассто ни  до оси обрабатываемого издели  (на фигурах не показаны ). Подвижна  металлическа  пластина 19 с обрабатываемым изделием в процессе работы образуют неременную емкость 20 дл  регулировки температуры в зоне 11 нагрева.Outside, along the coating section 2, made in the form of a glass cylinder, is a movable metal plate 19, equipped with a tilt angle and distance control mechanism to the axis of the workpiece (not shown in the figures). The movable metal plate 19 with the article being processed during operation forms a non-permanent container 20 for adjusting the temperature in the heating zone 11.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Обрабатываемое изделие, например токонровод щую проволоку, с подающей кассеты 6 подают, огиба  направл ющие ролики 7, 8 и 10, через шлюзовые приспособлени  5 на перемоточный механизм 12. Включают источникThe workpiece, for example, the current-carrying wire, is fed from the feed cartridge 6 by bending the guide rollers 7, 8 and 10 through the lock devices 5 to the rewinding mechanism 12. Turn on the source

тока высокой частоты (от 0,5 Мгц до 20 Мгц) и систему газоснабжени  (на фигурах не показана ). Температура нагрева обрабатываемого издели  определ етс  технологическим режимом осаждени  и зависит от величины электрического тока, нроход щего по нагреваемому материалу.high frequency current (from 0.5 MHz to 20 MHz) and the gas supply system (not shown in the figures). The heating temperature of the processed product is determined by the technological mode of deposition and depends on the amount of electric current flowing through the heated material.

Равномерный нагрев обрабатываемого издели  с осаждением материала в зоне 11 нагрева достигаетс  регулированием угла наклона и рассто ни  металлической пластины 19 до оси обрабатываемого издели .Uniform heating of the workpiece with the deposition of material in the heating zone 11 is achieved by adjusting the angle of inclination and the distance of the metal plate 19 to the axis of the workpiece.

Устройство позвол ет получать издели  высокого качества и значительно расшир ет ассортимент обрабатываемых изделий, позвол   обрабатывать длинномерные профили толщиной до 0,01 мм.The device allows to obtain high-quality products and significantly expands the range of processed products, allowing processing of lengthy profiles with thickness up to 0.01 mm.

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР № 95013, кл. Н 05Ь 5/08, 1952.1. USSR author's certificate number 95013, cl. H 05/08, 1952. 2.Патент США № 3452711, кл. 118-49,5; 1967.2. US patent number 3452711, cl. 118-49.5; 1967. 4four
SU2110736A 1975-02-18 1975-02-18 Gas phase coater SU558065A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2110736A SU558065A1 (en) 1975-02-18 1975-02-18 Gas phase coater

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2110736A SU558065A1 (en) 1975-02-18 1975-02-18 Gas phase coater

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU558065A1 true SU558065A1 (en) 1977-05-15

Family

ID=20611876

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2110736A SU558065A1 (en) 1975-02-18 1975-02-18 Gas phase coater

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU558065A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5062508A (en) Cvd coating process for producing coatings and apparatus for carrying out the process
US2545370A (en) Method and machine for making rubber coated steel belts
US3471682A (en) Radiant heating apparatus
US4409455A (en) Dielectric heating section for blow molding machine
US4455177A (en) Method and apparatus for chemical heat treatment of steel parts utilizing a continuous electric furnace
US3845739A (en) System for vapor deposition of thin films
JPS6242970B2 (en)
SE7412329L (en)
SU558065A1 (en) Gas phase coater
US3745034A (en) Electrostatic coating of metal powder on metal strip
US3044438A (en) Means and methods for metalizing films and sheet materials
US2779848A (en) Machine for electronic processing of dielectric articles
US3005894A (en) Cartridge case hardening apparatus
US3861353A (en) System for vapor deposition of thin films
US2423051A (en) Selenium depositing machine
US3001328A (en) Glass bending lehrs and conveyors therefor
US1833347A (en) Method of casting
US3253945A (en) Method and apparatus for coating strip material by vapor deposition
US3057325A (en) Carbon deposition apparatus
US2902525A (en) Apparatus for vaporisation of metals and metalloids
US2937017A (en) Apparatus for heating metal articles of irregular shape
US4012217A (en) Bending silicon rods into U-shapes
US20220074042A1 (en) Apparatus and method for controlling coating layer in pvd plating process
US2372118A (en) Coating apparatus
US3575132A (en) Vapor deposition apparatus