SU736214A1

SU736214A1 - Магниторазр дный насос

Info

Publication number: SU736214A1
Application number: SU772555732A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Игнатьевич Агафонов; Николай Парфентьевич Решетняк
Original assignee: Предприятие П/Я А-3634
Priority date: 1977-12-19
Filing date: 1977-12-19
Publication date: 1980-05-25

Description

1

Изобретение относитс к вакуумной технике , в частности к средствам высокого и сверхвысокого вакуума.

Известны магниторазр дные насосы, ъ которых с целью достижени высокой откачной способности путем более интенсивного использовани злектрического и магнитного полей, рассто ни между соседними элементами анода (витками спирали) выбрано соответствующим двойной толщине сло объемного разр да 1.

Однако такое соответствие может быть обеспечено (выбрано перед изготовлением) только дл определенного, узкого диапазона рабочих давлений в насосе.

Известны также магниторазр дные насосы, содержащие герметичный корпус, внутри которого размещены катоды и анод, выполненный в виде упругой спирали с перегородками, образующими чейки, причем один конец спирали жестко закреплен, а другой конец имеет возможность перемещатьс 2.

Недостатком данного насоса вл етс сложность конструкции и трудность обеспечивани при эксплуатации синхронности работы самого

насоса и механического устройства, измен ющего рассто ние между витками спирали при быстром изменении давлени в насосе.

Цель изобретени - улучшение условий зксплуатации и упрощение конструкции насоса..

Это достигаетс тем, что спираль анода выполнена из биметалла.

На фиг. 1 показан магниторазр дный насос, разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез. Насос состоит из герметичного корпуса 1,

10 изолированных от корпуса катодных пластин 2, анода 3, выполненного ъ виде спирали из биметалла.

Один конец спирали жестко прикреплен к

15 корпусу 1, насоса, другой - к ограничивающему кольцу 4, свободно вращающемус на оси 5.

Фланцем 6 насос крепитс к откачиваемому объему.

20

Claims

С помощью магнитов 7 в чейках анода 3 создаетс и поддерживаетс посто нное магнитное поле, перпендикул рное к плоскости катодов 2. 37 ХЬг обр1пон;1} и чеисгой cipyKiypiii спиРПЛЬНОГО анода 3 к виткам С 1ир;и1и ириварсн с определенным шагом перфорированные упругие перегородки 8. Насос работает следующим образом. При достижении предварительного разр жени , необходимого дл запуска насоса, подает с питание на электроды, анод 3 и катод 4 насоса. В результате возникающего меж/ду ними тлеющего разр да, усиленного магнитным полем, происходит распьш геттера, которьЕЙ Откачивает газы, наход щиес в зоне разр да. При работе на аноде выдел етс мощность в виде тепла, и анод разогреваетс до температуры пор дка 300°С. Температура анода находитс в определенно зависимости от давлени в насосе. Под вли нием этой температуры спираль анода, вьшолнениа из двух разнородных металлов с различными коэффициентами линейного расширени , будет закручиватьс (раскр чиватьс ) , измен , тем самым, автоматически рассто ние между витками и размер чеек в такой же зависимости от давлени , в какой измен етс температура анода. Такое исполнение насоса позвол ет использовать энергию, выдел емую н виде тепла во врем работы насоса, на изменение размера чеек анода. Формула изобретени Магниторазр дный насос, содержащий герметичный корпус, внутри которого размещены катоды и анод, выполненный в виде упругой спирали с перегородками, образующими чейки , причем один конец спирали жестко закреплен , а другой конец имеет возможность перемещатьс , отличающийс тем, что, с целью улучшени условий эксплуатации и упрощени конструкции насоса, спираль анода вьшолнена из биметалла. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент Францш № 1506644, кл. F 04 F, опублик. 1966.
2.Авторское свидетельство СССР по за вке № 2441082/18-25, кл. Н 01 J 41/12, 05.01.77 (прототип).