SU1321948A1 - Электрическа вакуумна ловушка - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к устройствам дл  улавливани  паров масла при применении вакуумных паромасл - ных диффузионных насосов и механических насосов с масл ным уплотнением. Цель изобретени  - повышение защитных свойств ловушки в широком диапазоне рабочих давлений. Разр дные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток 6 и 7 с общим центром кривизны. Сетки 6 и 7 вогнутой стороной обращены внутрь корпуса 1 Магнитное устройство вьшолнено в виде набора посто нньпс магнитов, которые расположены по окружности с образованием концентричных секций, размещены над сетками и соединены между собой по одноименным полюсам при помощи магнитопроводов. В центре кривизны сеток расположен эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питани . Ловушка работает в диапазоне рабочих давлений -от 1 до . Магнитное устройство служит дл  увеличени  в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов, имитируемых электродом-4, 2 ил. Q & (Л с 00 to ( 4 00 Фиг. 1

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к устройствам дл  улавливани  паров масла при применении вакуумных паромасл ньк диЛфузион HfeK насосов .и механических насосов с масл ным уплотнением.

Целью изобретени   вл етс  повьппе ние защитных свойств ловушки в широком диапазоне рабочих давлений,

.На фиг,1 представлена электричес ка  ловушка, общий вид; на фиг, 2 - магнитное устройство электрической ловушки.

Электрическа  вакуумна  ловушка содержит корпус 1 с входным отверстием 2, расположенные в корпусе 1 разр дные электроды, подключенные к источнику 3 питани „ магнитное устройство , и эмиссионный электрод 4 с блоком 5 питани . Разр дные электроды выполнены в виде перекрывающих входное отверстие 2 двух криволинейных сеток 6 и 7 с общим центром кривизны обращенных вогнутой стороной внутрь корпуса , а магнитное устройство - в виде набора посто нных магнитов 8,, расположенных по окружности с образованием концентричных секций 9 и 10 размещенных над сетками и соединенных между собой по одноименным полюсам при помощи магнитопроводов 11 , причем эмиссионный электрод 4 расположен в центре кривизны сеток.

Кроме того, ловушка содержит высоковакуумный затвор 12, низкотемпературную охлаждаемую ловушку 13 и откачиваемый объем 14, К ловушке подсоединен механический насос 15,

В диапазоне рабочих давлений 1 - 10 Па ловушка работает следующим об- разом.

При подаче разности потенциалов от источника 3 питани  разр да между электродом,  вл ющимс  катодом, и

электродом-анодом, згшигаетс  тлеющий разр д. При попадании паров масла из механического насоса 15 с мас- л ньВ -i уплотнением в разр дный промежуток молекулы углеводородов ионизируютс  в дрейфуют под действием электрического пол , осажда сь на поверхности катода, корпуса 1 и высоковакуумного затвора 12, и полимери- зуютс . Дл  более эффективной ионизации молекул предусмотрено магнитное устройство, позвол ющее пол учить распределенное по площади анода и ка-, тода посто нное магнитное поле, перo

15

пендикул рное электрическому. При этом прот женность траектории элект,- ронов увеличиваетс , соответственно увеличиваетс  количество содержаний электронов с молекулами углеводородов и остаточных газов, т.е. увеличиваетс  степень ионизации,

В диапазоне рабочих давлений - 10- Па между электродом,  вл ющимс  анодом, и электродом-катодом, а также эмиссионным электродом 4,  вл ющимс  термокатодом, подаетс  разность потенциалов от источника 3 питани  разр да и блока 5 питани  эмиссионного электрода.

Магнитное устройство служит дл  увеличени  в области ионизации эффективной длины свободного пробега электронов5 эмиттируемых эмиссионным электродом 4, В результате соударений с электронами происходит ионизаци  молекул остаточных газов и углеводородов , Под действием высокого положительного потенциала, приложенного к аноду, происходит ускорение и фокусировка ионов остаточных газов и углеводородов. Последние осаждаютс  на жалюз х низкотемпературной охлаждаемой ловушки I3 и полимеризуют с . Выпукла  форма анода и. катода

позвол ет ионизировать молекулы углеводородов и остаточных газов во всем объеме электрической ловушки.

Таким образом, в электрической ва5 куумной ловушке благодар  наличию эмиссионного электрода, конструкции разр дного и магнитного устройств достигаетс  широкий диапазон рабочих давлений от 1 до

0

5

.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Электрическа  вакуумна  ловуш1са, содержаща  корпус с входным отверстием , расположенные в корпусе разр д45 ные электроды, подключенные к источнику питани , и магнитное устройство, отличающа с  тем, что, с целью повышени  защитных свойств в широком диапазоне рабочих давлений,

   50 она дополнительно содержит эмиссионный электрод с блоком питани , разр дные электроды выполнены в виде пе- рекрьшающих входное отверстие двух криволинейных сеток с обш;им центром

   55 кривизны, обращенных вогнутой стороной внутрь корпуса, а магнитное устройство - в Bi-ще набора посто нных магнитовJ расположенных по окружное313219484

   ти с образованием концентричных сек- лосам при помощи.магнитопроводов,при- ций, размещенных над сетками и соеди- чём эмиссионный электрод расположен ненных между собой по одноименным по- в центре кривизны сеток.

   10

   Редактор И.Николайчук

   Составитель Э.Могильницка  Техред А.Кравчук

   Заказ 2740/29Тираж 574Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д.4/5

   „Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4

   Фм.2

   Корректор В.Бут га