SU637749A1

SU637749A1 - Магниторазр дный манометр

Info

Publication number: SU637749A1
Application number: SU772497346A
Authority: SU
Inventors: Валерий Николаевич Пакулин
Original assignee: Агрофизический научно-исследовательский институт
Priority date: 1977-06-13
Filing date: 1977-06-13
Publication date: 1978-12-15

Description

Это достигаетс тем. что и ир ллагаемом ма( ниторазр дном манометре, содержаикм магнитную систему и коаксиально расположенные анод и катод, магнитна система выполнена в виде набора плоских магнитов, разделенных между собой шайбами из магнитом гкого материала и обращенных одноименными полюсами друг к другу, при этом магнитна система примыкает к цилиндрическому катоду с противоположной or анода стороны.

В таком магниторазр дном манометре при размещении анода снаружи катода анод выполн етс сетчатым.

При размещении анода внутри катода анод выполн етс стержневым. Кроме того, в таком магниторазр дном манометре цилиндрический катод может быть закрыт с торца крышкой. В этом случае он будет служить границей вакуум - атмосфера.

На фиг. 1 изображена схема предложенного манометра-нормального типа; на фиг. 2то же, обращенного (инверсного) типа.

Манометр состоит из цилиндрического катода i, выполиениого в виде стакана, кра которого вварены в несущий фланец 2. К катоду со стороны атмос.феры-пр 1мыкают кольцевые магниты 3, обращенные одноименными полюсами друг к другу. Вместе с раздел ющими их шайбами 4 из магнито-м гкого материала, например сплава «Армко, ОЛИ образуют магнитную систему манометра. Со стороны вакуума, т. е. противоположной магнитной системе, соосио с катодом 1 укреплен анод 5. Если магниты 3 расположены внутри катода I, то анод 5 выполн ют в виде сетки (фиг. I), а если магниты 3 охватывают катод 1 снаружи, то анод 5 выполнен в виде стержн , проход щего по оси катода 1 (фиг. 2).

Манометр работает следующим образом. При подаче на 1 и анод 5 высокого напр жени в несколько киловольт между ними возникает электрический разр д, ток которого служит мерой давлени . При низких давлени х разр д локализуетс в узких кольцевых сло х, прилегающих к аноду 5 в плоскости магнитов 3. Электроны, осциллирующие вдоль силовых линий магнитного пол (они показаны на рисунках кривыми лини ми) и дрейфующие вокруг оси, двигаютс к аноду 5 лищь в результате редких ионизирующих столкновений с молекулами газа. Образовавщиес положительные ионы ускор ютс к катоду 1. Электроны, потер вшие часть своей энергии на -ионизацию, начииают двигатьс по новым орбитам, пока не попадают на анод 5. При низком дав пении пространственный зар д имеет отрицательный знак, столкнонсни редки, и разр дный ток мал. С увеличением давлени электронный разр д переходит в обычный тлеющий с характерными дл него приэлектродными част ми и малым сопротивлением разр дного промежутка.

Предложенный манометр имеет периодическую структуру: его чейка образована двум магнитами 3, и на длине каждой чейки магнитное поле дважды мен ет знак. Число чеек неограниченно, так как их работа не зависит друг от друга. Манометр можно отнести к манометрам открытого типа: сетчатый анод S, окружающий катод 1 на фиг. 1, практически не создает сопротивлени газовому потоку, а с другой стороны, не ухудщает характеристики разр да между катодами I и анодом 5. Отсутствие,торца в катоде 1 на фиг. 2 также сильно уменьшает сопротивление газовому потоку из откачи-ваемого объема в разр дную камеру по сравнению с известным манометром. Конструктивно манометр в обоих вариантах выполнен так, что.магниты 3 наход тс в атмосфере и при прогреве камеры могут быть легко удалены без нарущени вакуума.

Манометр имеет линейную характеристику в рабочем диапазоне 10 -10 тор.

Claims

Формула изобретени

. Магниторазр дный манометр, содержащий магнитную систему и коаксиально расположенные анод и катод, отличающийс тем, что, с целью повыщени точности и упрощени конструкции, в нем магнитна система выполнена в виде набора плоских магнитов, разделенных между собой шайбами из магнитом гкого материала и обращенных одноименными полюсами друг к другу , при этом магнитна система примыкает к цилиндрическому катоду с противоположной от анода стороны.
2.Манометр по п. 1, отличающийс тем, что в нем анод, размещенный снаружи катода , выполнен сетчатым.
3.Манометр по п. 1, отличающийс тем, что в нем анод, размещенный внутри катода , выполнен стержневым.
4.Манометр по п. 1, отличающийс тем, что h нем катод закрыт с торца .

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе:

1.ЛеккДж. «Измерение давлени в вакуумных системах. М., 1966, с. 122.

2.Авторское свидетельство СССР № 152113, кл. G 01 L 21/34, I960..

/