SU930432A1 - Магниторазр дна чейка газоразр дных приборов дл измерени давлени или откачки газов - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике , в частности к средствам получени  и измерени  высокого вакуума с помощью га зового разр да в магнитном поле.

Известны магниторазр дные  чейки Пеннинга , содержащие катодные пластины из геттерного материала и расположенный между ними  чеистый анод, помещенный в продольное магнитное поле 1.

Недостатком данной конструкции, используемой в качестве насоса,  вл етс  мала  быстрота откачки, больща  удельна  масса и относительно больщие габариты.

Известна также магниторазр дна   чейка магнетронного типа, содержаща  полый цилиндрический анод и размещенный внутри него катод, выполненный в виде двух дисков, соединенных между собой стержнем 2.

Недостатком известной  чейки, используемой чаще всего как манометр,  вл етс  мала  интенсивность разр да.

Известна также магниторазр дна   чейка инверсно-магнетронного типа, содержаща  катод, выполненный в виде полого цилиндрического магнита, закрытого с торцов крышками в виде полюсных наконечников

из магнитом гкого материала с центральными отверсти ми, и стержневой анод, размещенный на оси катода 3.

Недостатком известной  чейки, используемой обычно дл  измерени  вакуума,  в5 л етс  малый разр дный ток.

Известна также магниторазр дна   чейка разр дных приборов дл  измерени  давлени  или откачки газов, содержаща  анод, выполненный в виде полого цилиндра, аксиально расположенный в полости анода катод, выполненный в виде полого цилиндра , соединенного по торцам с охватывающими его металлическими кольцами, и расположенный по оси  чейки цилиндрический стержневой электрод 4.

15 Недостатком этой  чейки  вл етс  малый ток разр да, равный сумме токов работающих независимо наружной и внутренней камер. Поэтому быстрота откачки такой  чейки также мала.

2Q Цель изобретени  - увеличение быстроты откачки магниторазр дной  чейки.

Claims (4)

1. Эта цель достигаетс  тем, что в магниторазр дной  чейке разр дных приборов дл  измерени  давлени  или откачки газов, содержащей анод, выполненный в виде полого цилиндра, коаксиально расположенный в полости анода катод, выполненный в виде полого цилиндра, соединенного по торцам с охватывающими его металлическ11ми кольцами , и расположенный по оси  чейки цилиндрический стержневой электрод, катодный цилиндр выполнен сетчатым, а торцы его закрыты металлическими крышками. При этом, цилиндрический стержневой электрод соединен с анодом, а торцовые крышки - с катодом. Кроме того, торцовые крышки электрически соединены с цилиндрическим стержневым электродом и изолированы от катодного цилиндра, а стержневой электрод изолирован от анода В такой конструкции катод  вл етс  проницаемым дл  ионов, в результате чего ионы могут переходить из одной камеры в другую и многократно использоватьс  дл  ионизации газа. При этом крышки предотвращают потери зар жаемых частиц через торцы цилиндра. Оба эти фактора способствуют повышению скорости откачки. Возможны два варианта режима внутренней камеры: стержневой электрод электрически соединен с анодом, а крышки - с катодом и  чейка снабжена дополнительным источником питани , отрицательна  клемма которого соединена с стержневым электродом и изолированными крышками, а положительна  клемма - с катодом. В первом случае внутренн   камера работает как инверсный магнетрон, а во втором - как магнетрон. На фиг. 1 приведена схема магниторазр дной  чейки, первый вариант; на фиг. 2 - то же, второй вариант. Ячейка содержит цилиндрический анод 1, размещенный внутри него катод, выполненный в виде двух колец 2 и 3, соединенных проход щим внутри их сетчатым полым цилиндром 4, и изолированный стержневой электрод 5, установленный на оси анода 1. Полость цилиндра 4 закрыта крышками 6 и 7, которые соединены с кольцами 2 и 3 соответственно, цилиндром 4 и отрицательной клеммой источника 8 разр дного напр жени , положительна  клемма которого соединена с анодом 1 и стержневым электроВ  чейке (фиг. 2) в отличие от первого варианта, крышки 6 и 7 соединены с стержневым электродом 5 и отрицательной клеммой дополнительного источника 9 питани , положительна  клемма которого соединена с кольцами 2 и 3, цилиндром 4, и отрицательной клеммой источника 8 разр дного напр жени . Выполнен опытный образец  чейки со следующими размерами, диаметр анода 100 мм, диаметр полого сетчатого цилиндра 75 мм, диаметр стержневого электрода 55 мм, рассто ние между кольцами 30 мм. При разр дном напр жении 2 кВ, магнитной индукции 0,09 Т, давлении 1-10 Па получены следуюшие результаты: ток разр да наружной камеры 30 мкА, ток внутренней камеры 50 мкА, ток при совместной работе камер 300 мкА - в первом варианте, ток разр да наружной камеры 25 мкА, ток внутренней камеры 180 мкА - во втором варианте . При изготовлении катодов из геттерного материала (например, из титана)  чейка может работать как высоковакуумный насос , эффективность которого почти в четыре раза выше, чем у известных аналогов. При использовании  чейки в качестве манометра можно работать при пониженных разр дных напр жени х с целью уменьшени  рассеиваемой мощности и откачивающего эффекта. Увеличение числа концентрически расположенных разр дных камер должно приводить к повышению быстроты откачки. Формула изобретени  1. Магниторазр дна   чейка разр дных приборов дл  измерени  давлени  или откачки газов, содержаща  анод, выполненный в виде полого цилиндра, коаксиально расположенный в полости анода катод, выполненный в виде полого цилиндра, соединенного по торцам с охватывающими его металлическими кольцами, и расположенный по оси  чейки цилиндрический стержневой электрод, отличающа с  тем, что, с целью Увеличени  быстроты откачки, катодный цилиндр выполнен сетчатым, а торцы его закрыты металлическими крышками, 2. Ячейка по п. 1, отличающа с  тем, что цилиндрический стержневой электрод соединен с анодом, а торцовые крышки - с катодом. 3. Ячейка по п. 1, отличающа с  тем, что торцовые крышки электрически соединены с цилиндрическим стержневым электроДОм и изолированы от катодного цилиндра, стержневой электрод изолирован от анода. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Васильев Г. А. Магниторазр дные насосы . М., «Энерги , 1970, с. 41.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 152113, кл. G 01 L 21/34, опублик. 1962.
3. 3.Авторское свидетельство СССР № 359561, кл. G 01 L 21/34, опублик. 1972.
4. 4.Авторское свидетельство СССР № 515952, кл. G 01 L 21/34, опублик. 1976 (прототип).

   /

   г

   Л