SU728108A1 - Водорастворима фотополимеризующа с композици - Google Patents
Водорастворима фотополимеризующа с композици Download PDFInfo
- Publication number
- SU728108A1 SU728108A1 SU772541922A SU2541922A SU728108A1 SU 728108 A1 SU728108 A1 SU 728108A1 SU 772541922 A SU772541922 A SU 772541922A SU 2541922 A SU2541922 A SU 2541922A SU 728108 A1 SU728108 A1 SU 728108A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- case
- oxide
- ethanol
- inhibitor
- weight
- Prior art date
Links
Landscapes
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Description
Изобретение относитс к водорастворимым фотопопимеризующимс компози ш м и может быть использовано в полиграфии и электронной технике дл изготовлени рельефных полимерных масок. Известна водорастворима фотополимеризуюша с композици , включающа полиакрилат йатри , -капролактам, этиленгликольдиметакри лат, акриловую кислоту, ишгибитор (не указан какой именно), этанол и фотоинициатор - про изводное феназина-бензфеназин, 9, 10-диметилбензфеназин или 2-диметиламинфеназин 1. Недостатком композиции вл етс низка чувствительность к свету с длиной волн 430520 им. - ,:.„. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности известной композиции к свету длиной волн 430-520 км. Поставленна цель достигаетс тем, что водорастворима фотополимеризующа с комш зици , включаютца полиакрилат натри , -капролактам , этилеигликольдиметакрштат, акриловую кислоту, ингибитор, этанол и фотоинициатор - производное феназииа. в качестве ингибитора содержит гидрохинон, а в качестве дфоизводного феназина - IO-N-окись 1,4-диметоксифеназина , lO-N-окись 2-хлорфеназина или 9-N-окись 2-йодфеназина при следующем соотношении компонентов, вес .ч.: Полиакрилат натри ;9,8 - 14,2; Этиленгликольдиметакрнлат 0,2 - 10,0 Акрилова кислота1,0 - 12,0 -Капролактам0,1 - 5,0 Гидрохинон. 0,01 - 1,0 lO-N-окись 1,4-диметоксифеназина , lO-N-окись 2-хлорфеназина или 9-Ы-окись 2-йодфетзина0,05-0,5 Этанол48 - 95 Пример 1. К 66,0 вес.ч. 15%-ного этэ вольного раствора полиакрилата натри при тщательном перемешивании добавл ют 0,15 вес.ч. lO-N-окиси 2-хлорфеназина, предварительно растворенных в 5 вес.ч этанола. К этой смеси добавл ют 0,01 вес.ч. гидрохинона и 0,1 вес.ч. ,-капролактама, также предварительно растворенных в 7 вес.ч. этанола. После тиительного .
перемешивани приливают 0,2 вес.ч. этиленгликольдиметакрилата и 1,0 вес.ч. акриловой кислоты . Композицию гомогенизируют и нанос т фильерой из оргстекла на предварительно обезжиренную капроновую сетку, нат нутую на рам- j ку. После высушивани сло в термостате при , 30-40°С на нем аналогичйо формируют еще один слой.
Экспонирование сло (довод т через фотошаблон и фильтр ЖС-4 в течение 12 мин све- ю том лампы ПРК-7, наход щейс на рассто нии 40 см от сло . Рельеф сло про вл ют вымыванием необлученных участков струей воды. После высушивани рельефного сло получают трафаретную печатную форму с хорошей передачей 15 всех элементов модельной фотоформы.
Пример 2. 12,75 вес.ч. полиакрилата натри (мол-вес. 15000-30000) раствор ют в 72,26 вес.ч. зтанола. К полученному раствору добавл ют ОД вес.ч. 10-N-окиси 1,4-диметок- 20 сифеназина, 0,25 вес.ч. гидрохинона и 0,5 вес.ч. -капролактама, предварительно растворенных в12 вес.ч. этанола. К этой смеси при тщательном переме1пивании приливают 1,7 вес.ч. акриловой кислоты и 10 вес.ч. этиленгликоль- 25 диметакрилата. После гомогенизации композицию одним тонким слоем нанос т, как в примере 1, на предварительно обезжиренную поерхность силикатного стекла. Высушивание ло (исходного и рельефного), экспонирование ло , и про вление рельефа в нем осу7иествл т , как в примере 1.
Пример З.В один сосуд сливают 94 вес.ч. 15%-ного этанольного раствора полиакрилата натри , 1,00 вес.ч. гидрохинона, 0,5 вес.ч. .-капролактама, предварительно растворенного в 7 вес.ч. зтанола, 1,4 вес.ч. этиленгликольдиметакрилра и 12 вес.ч. акриловой кислоты и 0,5 вес.ч. 9-N-oкиcи 2-йодфеназина . После гомогенизации композицию одним слоем нанос т, как в примере 1, на медную подложку.
Пример 4. Композицию-прототип готов т аналогично примеру 1, но без гидрохинона и с заменой 10-N-окиси 2-хлорфеназина 2-диметиламинофеназином. Высушивание сло (исходного и рельефного), его экспонирование и про вление рельефа в нем осуществ.п ют , как в примере 1. .,
Сравнительные данные, з арактеризующие, i описанные в примерах 1-4 композиции, приведены в таблице. Светочувствительность предложенной композиции и два раза выше светочувствительности композиции-прототипа.
Claims (1)
- (прототип) Формула изобретени Водорастворима фотополимеризукпца с ко позици , включающа полиакрилат натри , .-ка1фолактам, этиленгликольдиметакрилат, акриловую кислоту, ингибитор, этанол и фотоинициатор - производное феназина, отлич юща с тем, что, с целью повышени чувствительности в области длин волн 430520 нм, в качестве ингибитора она содержит8-10 8-10 8-1018-208-10 гидрохинон, а в качестве троизводного феназина lO-N-окись 1,4-диметоксифеназина, 10- -N-окись 2-хлорфеназина или 9- М-окись 2-йодфеназина при следующем соотношении компонентов , вес.ч.: Полиакрилат натри 9,8-14,2 Этиленгликольдиметакрилат 0,2 - 10,0 Акрилова кислота1,0 - 12,0 -КапролактамО, - 5.0 Гидрохинон0,01 - 1.0 5 10-N-Окись 1,4-диметоксифеназина , -окись 2-хлорфеназина или 9-N-окись 2-йодфеназина0,05 - 0,5 Этанол48-95 728108 6 Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе {. Патент СССР N 505383, кл. G 03 С 1/6, j 04.06.70 (прототип).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772541922A SU728108A1 (ru) | 1977-11-10 | 1977-11-10 | Водорастворима фотополимеризующа с композици |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772541922A SU728108A1 (ru) | 1977-11-10 | 1977-11-10 | Водорастворима фотополимеризующа с композици |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU728108A1 true SU728108A1 (ru) | 1980-04-15 |
Family
ID=20732298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772541922A SU728108A1 (ru) | 1977-11-10 | 1977-11-10 | Водорастворима фотополимеризующа с композици |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU728108A1 (ru) |
-
1977
- 1977-11-10 SU SU772541922A patent/SU728108A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5474728A (en) | Photosensitive composition | |
DE2327513B2 (de) | Lichtempfindliches gegebenenfalls auf einen Schichtträger aufgebrachtes Gemisch | |
DE2361041A1 (de) | Photopolymerisierbare kopiermasse | |
JPS5532070A (en) | Photosensitive resin composition | |
CH504022A (de) | Lichtempfindliches Material | |
ES437454A1 (es) | Un procedimiento para tratar un sustrato. | |
DE2602409A1 (de) | Photopolymerisierbare masse und deren verwendung | |
MX168017B (es) | Composiciones dielectricos adecuadas para formar un patron con luz, metodo para su formacion y uso | |
TWI231408B (en) | Resist composition and method for manufacturing semiconductor device | |
JPH0425847A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
DE102005060061A1 (de) | Polymer für die Immersionslithographie, Photoresistzusammensetzung, die selbiges enthält, Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und Halbleitervorrichtung | |
DE1597614A1 (de) | Lichtempfindliche Kopierschicht | |
SU728108A1 (ru) | Водорастворима фотополимеризующа с композици | |
EP0103218B1 (de) | 10-Phenyl-1,3,9-triazaanthracene und diese enthaltendes photopolymerisierbares Gemisch | |
SU741227A1 (ru) | Водорастворима фотополимеризующа с композици | |
JP3393919B2 (ja) | カラーフィルター形成用ポジ型レジスト組成物 | |
CN107085356B (zh) | 一种uv感光负性纯丙光刻胶及其制备方法 | |
EP0102586B1 (de) | 1,3-Diaza-9-thia-anthracen-2,4-dione und diese enthaltendes photopolymerisierbares Gemisch | |
SU640236A1 (ru) | Фотополимеризующа с композици | |
SU523381A1 (ru) | Фотополимеризующа с композици | |
JPH04116558A (ja) | 螢光体パターンを形成する方法 | |
SU763838A1 (ru) | Водорастворима жидка фотополимеризующа с композици | |
SU724540A1 (ru) | Фотополимеризующа с композици дл изготовлени полимерных печатных форм | |
SU672601A1 (ru) | Фотополимеризующа с композици | |
JPS59154440A (ja) | 光硬化性樹脂組成物 |