SU728108A1 - Водорастворима фотополимеризующа с композици - Google Patents

Водорастворима фотополимеризующа с композици Download PDF

Info

Publication number
SU728108A1
SU728108A1 SU772541922A SU2541922A SU728108A1 SU 728108 A1 SU728108 A1 SU 728108A1 SU 772541922 A SU772541922 A SU 772541922A SU 2541922 A SU2541922 A SU 2541922A SU 728108 A1 SU728108 A1 SU 728108A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
case
oxide
ethanol
inhibitor
weight
Prior art date
Application number
SU772541922A
Other languages
English (en)
Inventor
Марина Николаевна Усачева
Татьяна Ивановна Викторова
Иосиф Иосифович Дилунг
Валентин Петрович Чернецкий
Валентин Петрович Шерстюк
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Физической Химии Им. Писаржевского Ан Украинской Сср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Физической Химии Им. Писаржевского Ан Украинской Сср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Физической Химии Им. Писаржевского Ан Украинской Сср
Priority to SU772541922A priority Critical patent/SU728108A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU728108A1 publication Critical patent/SU728108A1/ru

Links

Landscapes

  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Description

Изобретение относитс  к водорастворимым фотопопимеризующимс  компози ш м и может быть использовано в полиграфии и электронной технике дл  изготовлени  рельефных полимерных масок. Известна водорастворима  фотополимеризуюша с  композици , включающа  полиакрилат йатри , -капролактам, этиленгликольдиметакри лат, акриловую кислоту, ишгибитор (не указан какой именно), этанол и фотоинициатор - про изводное феназина-бензфеназин, 9, 10-диметилбензфеназин или 2-диметиламинфеназин 1. Недостатком композиции  вл етс  низка  чувствительность к свету с длиной волн 430520 им. - ,:.„. Целью изобретени   вл етс  повышение чувствительности известной композиции к свету длиной волн 430-520 км. Поставленна  цель достигаетс  тем, что водорастворима  фотополимеризующа с  комш зици , включаютца  полиакрилат натри , -капролактам , этилеигликольдиметакрштат, акриловую кислоту, ингибитор, этанол и фотоинициатор - производное феназииа. в качестве ингибитора содержит гидрохинон, а в качестве дфоизводного феназина - IO-N-окись 1,4-диметоксифеназина , lO-N-окись 2-хлорфеназина или 9-N-окись 2-йодфеназина при следующем соотношении компонентов, вес .ч.: Полиакрилат натри ;9,8 - 14,2; Этиленгликольдиметакрнлат 0,2 - 10,0 Акрилова  кислота1,0 - 12,0 -Капролактам0,1 - 5,0 Гидрохинон. 0,01 - 1,0 lO-N-окись 1,4-диметоксифеназина , lO-N-окись 2-хлорфеназина или 9-Ы-окись 2-йодфетзина0,05-0,5 Этанол48 - 95 Пример 1. К 66,0 вес.ч. 15%-ного этэ вольного раствора полиакрилата натри  при тщательном перемешивании добавл ют 0,15 вес.ч. lO-N-окиси 2-хлорфеназина, предварительно растворенных в 5 вес.ч этанола. К этой смеси добавл ют 0,01 вес.ч. гидрохинона и 0,1 вес.ч. ,-капролактама, также предварительно растворенных в 7 вес.ч. этанола. После тиительного .
перемешивани  приливают 0,2 вес.ч. этиленгликольдиметакрилата и 1,0 вес.ч. акриловой кислоты . Композицию гомогенизируют и нанос т фильерой из оргстекла на предварительно обезжиренную капроновую сетку, нат нутую на рам- j ку. После высушивани  сло  в термостате при , 30-40°С на нем аналогичйо формируют еще один слой.
Экспонирование сло  (довод т через фотошаблон и фильтр ЖС-4 в течение 12 мин све- ю том лампы ПРК-7, наход щейс  на рассто нии 40 см от сло . Рельеф сло  про вл ют вымыванием необлученных участков струей воды. После высушивани  рельефного сло  получают трафаретную печатную форму с хорошей передачей 15 всех элементов модельной фотоформы.
Пример 2. 12,75 вес.ч. полиакрилата натри  (мол-вес. 15000-30000) раствор ют в 72,26 вес.ч. зтанола. К полученному раствору добавл ют ОД вес.ч. 10-N-окиси 1,4-диметок- 20 сифеназина, 0,25 вес.ч. гидрохинона и 0,5 вес.ч. -капролактама, предварительно растворенных в12 вес.ч. этанола. К этой смеси при тщательном переме1пивании приливают 1,7 вес.ч. акриловой кислоты и 10 вес.ч. этиленгликоль- 25 диметакрилата. После гомогенизации композицию одним тонким слоем нанос т, как в примере 1, на предварительно обезжиренную поерхность силикатного стекла. Высушивание ло  (исходного и рельефного), экспонирование ло , и про вление рельефа в нем осу7иествл т , как в примере 1.
Пример З.В один сосуд сливают 94 вес.ч. 15%-ного этанольного раствора полиакрилата натри , 1,00 вес.ч. гидрохинона, 0,5 вес.ч. .-капролактама, предварительно растворенного в 7 вес.ч. зтанола, 1,4 вес.ч. этиленгликольдиметакрилра и 12 вес.ч. акриловой кислоты и 0,5 вес.ч. 9-N-oкиcи 2-йодфеназина . После гомогенизации композицию одним слоем нанос т, как в примере 1, на медную подложку.
Пример 4. Композицию-прототип готов т аналогично примеру 1, но без гидрохинона и с заменой 10-N-окиси 2-хлорфеназина 2-диметиламинофеназином. Высушивание сло  (исходного и рельефного), его экспонирование и про вление рельефа в нем осуществ.п ют , как в примере 1. .,
Сравнительные данные, з арактеризующие, i описанные в примерах 1-4 композиции, приведены в таблице. Светочувствительность предложенной композиции и два раза выше светочувствительности композиции-прототипа.

Claims (1)

  1. (прототип) Формула изобретени  Водорастворима  фотополимеризукпца с  ко позици , включающа  полиакрилат натри , .-ка1фолактам, этиленгликольдиметакрилат, акриловую кислоту, ингибитор, этанол и фотоинициатор - производное феназина, отлич юща с  тем, что, с целью повышени  чувствительности в области длин волн 430520 нм, в качестве ингибитора она содержит
    8-10 8-10 8-10
    18-20
    8-10 гидрохинон, а в качестве троизводного феназина lO-N-окись 1,4-диметоксифеназина, 10- -N-окись 2-хлорфеназина или 9- М-окись 2-йодфеназина при следующем соотношении компонентов , вес.ч.: Полиакрилат натри 9,8-14,2 Этиленгликольдиметакрилат 0,2 - 10,0 Акрилова  кислота1,0 - 12,0 -КапролактамО, - 5.0 Гидрохинон0,01 - 1.0 5 10-N-Окись 1,4-диметоксифеназина , -окись 2-хлорфеназина или 9-N-окись 2-йодфеназина0,05 - 0,5 Этанол48-95 728108 6 Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе {. Патент СССР N 505383, кл. G 03 С 1/6, j 04.06.70 (прототип).
SU772541922A 1977-11-10 1977-11-10 Водорастворима фотополимеризующа с композици SU728108A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772541922A SU728108A1 (ru) 1977-11-10 1977-11-10 Водорастворима фотополимеризующа с композици

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772541922A SU728108A1 (ru) 1977-11-10 1977-11-10 Водорастворима фотополимеризующа с композици

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU728108A1 true SU728108A1 (ru) 1980-04-15

Family

ID=20732298

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772541922A SU728108A1 (ru) 1977-11-10 1977-11-10 Водорастворима фотополимеризующа с композици

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU728108A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5474728A (en) Photosensitive composition
DE2327513B2 (de) Lichtempfindliches gegebenenfalls auf einen Schichtträger aufgebrachtes Gemisch
DE2361041A1 (de) Photopolymerisierbare kopiermasse
JPS5532070A (en) Photosensitive resin composition
CH504022A (de) Lichtempfindliches Material
ES437454A1 (es) Un procedimiento para tratar un sustrato.
DE2602409A1 (de) Photopolymerisierbare masse und deren verwendung
MX168017B (es) Composiciones dielectricos adecuadas para formar un patron con luz, metodo para su formacion y uso
TWI231408B (en) Resist composition and method for manufacturing semiconductor device
JPH0425847A (ja) ポジ型感光性樹脂組成物
DE102005060061A1 (de) Polymer für die Immersionslithographie, Photoresistzusammensetzung, die selbiges enthält, Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und Halbleitervorrichtung
DE1597614A1 (de) Lichtempfindliche Kopierschicht
SU728108A1 (ru) Водорастворима фотополимеризующа с композици
EP0103218B1 (de) 10-Phenyl-1,3,9-triazaanthracene und diese enthaltendes photopolymerisierbares Gemisch
SU741227A1 (ru) Водорастворима фотополимеризующа с композици
JP3393919B2 (ja) カラーフィルター形成用ポジ型レジスト組成物
CN107085356B (zh) 一种uv感光负性纯丙光刻胶及其制备方法
EP0102586B1 (de) 1,3-Diaza-9-thia-anthracen-2,4-dione und diese enthaltendes photopolymerisierbares Gemisch
SU640236A1 (ru) Фотополимеризующа с композици
SU523381A1 (ru) Фотополимеризующа с композици
JPH04116558A (ja) 螢光体パターンを形成する方法
SU763838A1 (ru) Водорастворима жидка фотополимеризующа с композици
SU724540A1 (ru) Фотополимеризующа с композици дл изготовлени полимерных печатных форм
SU672601A1 (ru) Фотополимеризующа с композици
JPS59154440A (ja) 光硬化性樹脂組成物